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本发明提供一种用于气体分流模组的拆除治具及方法,利用气缸自身的升降功能,在上升时将所述拆除治具放置在支撑柱和圆盘的分支角之间,在下降过程中,由于所述拆除治具的存在,使得所述圆盘无法下降到原来的位置,因此所述气体分流板将会在气缸的下降命令下被...该专利属于晶芯成(北京)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶芯成(北京)科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种用于气体分流模组的拆除治具及方法,利用气缸自身的升降功能,在上升时将所述拆除治具放置在支撑柱和圆盘的分支角之间,在下降过程中,由于所述拆除治具的存在,使得所述圆盘无法下降到原来的位置,因此所述气体分流板将会在气缸的下降命令下被...