一种单晶硅片研磨机的研磨盘制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工技术领域，且公开了一种单晶硅片研磨机的研磨盘，包括槽盘，所述槽盘内部设置有转轴，所述转轴上固定连接有基板和内齿环，所述槽盘内还设置有安装环，所述安装环底部固定连接有拉簧，所述拉簧底端与槽盘内底壁固定连接，所述安装环外边缘开设有限位槽，所述限位槽内壁设置有第一斜面。该单晶硅片研磨机的研磨盘，在第二外齿环损坏时可以拧动羊角螺栓，羊角螺栓转动可以带动方螺纹套管移动，进而可以通过与限位槽内壁的挤压使安装环向上移动，将第一外齿环推动至顶部，此时模具可与第一外齿环匹配，进而不影响研磨作业，同时还可以在线拧动第二螺栓将第二外齿环拆除，方便了维护。方便了维护。方便了维护。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片研磨机的研磨盘


[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种单晶硅片研磨机的研磨盘。

技术介绍

[0002]单晶硅片在加工过程中需要对表面进行研磨，一般采用双面研磨机实现，在操作时先将单晶硅片放在研磨机的下研磨盘内的模具中，然后控制上研磨盘下移并且给予压力，最后通过上研磨盘的转动实现研磨，而下研磨盘内一般设置有固定的外齿环和可转动的内齿环，模具边缘设置有同时与内齿环和外齿环啮合，因此在研磨过程中模具也可实现自转的同时围绕内齿环转动。
[0003]目前研磨机的下研磨盘内的外齿环产生磨损时影响内部模具的转动，需要将其拆卸后重新安装新的外齿环，此时会影响研磨机的加工效率。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种单晶硅片研磨机的研磨盘，具备使用方便等优点，解决了目前研磨机的下研磨盘内的外齿环产生磨损时影响内部模具的转动，需要将其拆卸后重新安装新的外齿环，此时会影响研磨机的加工效率的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片研磨机的研磨盘，包括槽盘，所述槽盘内部设置有转轴，所述转轴上固定连接有基板和内齿环，所述槽盘内还设置有安装环，所述安装环底部固定连接有拉簧，所述拉簧底端与槽盘内底壁固定连接，所述安装环外边缘开设有限位槽，所述限位槽内壁设置有第一斜面，所述安装环顶部设有第一外齿环，所述第一外齿环通过第一螺栓与安装环固定连接，所述第一外齿环顶部设有第二外齿环，所述第二外齿环与第一外齿环结构相同，所述第二外齿环通过第二螺栓与第一外齿环固定连接，所述槽盘外边缘设置有控制装置。
[0008]优选的，所述控制装置包括L形板，所述L形板上设置有羊角螺栓，所述羊角螺栓贯穿L形板并且与L形板螺纹连接，所述羊角螺栓一端螺纹连接有方螺纹套管，所述方螺纹套管一端贯穿槽盘侧壁并且延伸至限位槽内。
[0009]优选的，所述方螺纹套管位于限位槽内部一端设置有第二斜面，所述第二斜面与第一斜面角度匹配。
[0010]优选的，所述第一外齿环包括圆环和齿块，所述齿块通过第三螺栓与圆环固定连接，所述圆环外边缘开设有环形槽，所述圆环内边缘开设有安装槽，所述齿块上固定连接有安装块，所述安装块插入安装槽内。
[0011]优选的，所述槽盘内底壁开设有出水孔。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种单晶硅片研磨机的研磨盘，具备以下有益效果：
[0013]1、该单晶硅片研磨机的研磨盘，在第二外齿环损坏时可以拧动羊角螺栓，羊角螺栓转动可以带动方螺纹套管移动，进而可以通过与限位槽内壁的挤压使安装环向上移动，将第一外齿环推动至顶部，此时模具可与第一外齿环匹配，进而不影响研磨作业，同时还可以在线拧动第二螺栓将第二外齿环拆除，方便了维护。
[0014]2、该单晶硅片研磨机的研磨盘，通过将第一外齿环设置为圆环和多个可拆卸的齿块，当部分齿块磨损严重时更换该齿块即可，无需将整个第一外齿环更换，节省了成本。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术图1的A部放大图；
[0017]图3为本技术第一外齿环的结构示意图；
[0018]图4为本技术图3的B部放大图。
[0019]其中：1、槽盘；2、转轴；3、基板；4、内齿环；5、安装环；6、拉簧；7、限位槽；8、第一外齿环；81、圆环；82、齿块；83、第三螺栓；84、安装槽；85、安装块；86、环形槽；9、第一螺栓；10、第二外齿环；11、第二螺栓；12、L形板；13、羊角螺栓；14、方螺纹套管。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，一种单晶硅片研磨机的研磨盘，包括槽盘1，槽盘1内部设置有转轴2，转轴2上固定连接有基板3和内齿环4，转轴2、基板3和内齿环4均与现有技术相同，在研磨机工作时可在上研磨盘的带动下实现转动，槽盘1内还设置有安装环5，安装环5底部固定连接有拉簧6，实际操作中，当安装环5上移后可拉长拉簧6，拉簧6对安装环5产生一定的拉力，当反向拧动羊角螺栓13后，在拉力作用下可使安装环5自动复位，拉簧6底端与槽盘1内底壁固定连接，安装环5外边缘开设有限位槽7，限位槽7内壁设置有第一斜面，安装环5顶部设有第一外齿环8，第一外齿环8通过第一螺栓9与安装环5固定连接，实际应用时安装环5顶部设置有与第一螺栓9匹配的螺纹孔，第一螺栓9贯穿环形槽86内底壁并且延伸至螺纹孔内，以此实现连接，第一外齿环8顶部设有第二外齿环10，第二外齿环10与第一外齿环8结构相同，第二外齿环10通过第二螺栓11与第一外齿环8固定连接，实际应用时，第一外齿环8顶部设置有与第二螺栓11匹配的螺纹孔，第二螺栓11贯穿第二外齿环10的环形槽86内底壁并且延伸至螺纹孔内，以此实现连接，槽盘1外边缘设置有控制装置。
[0022]控制装置包括L形板12，L形板12上设置有羊角螺栓13，羊角螺栓13贯穿L形板12并且与L形板12螺纹连接，羊角螺栓13一端螺纹连接有方螺纹套管14，方螺纹套管14上设置有与羊角螺栓13匹配的螺纹孔，以此实现与羊角螺栓13的连接，方螺纹套管14一端贯穿槽盘1侧壁并且延伸至限位槽7内，方螺纹套管14位于限位槽7内部一端设置有第二斜面，第二斜面与第一斜面角度匹配，实际应用时第二斜面和第一斜面均设置为光滑面。
[0023]第一外齿环8包括圆环81和齿块82，齿块82通过第三螺栓83与圆环81固定连接，圆
环81外边缘开设有环形槽86，圆环81内边缘开设有安装槽84，齿块82上固定连接有安装块85，安装块85插入安装槽84内，实际应用中齿块82的数量设置为多个，且均匀安装在圆环81内壁上，安装块85上设置有与第三螺栓83匹配的螺纹孔，第二螺栓11贯穿环形槽86内侧壁并且延伸至安装块85上的螺纹孔内，以此实现连接。
[0024]槽盘1内底壁开设有出水孔。
[0025]在使用时，使用中第二外齿环10与模具啮合，当第二外齿环10损坏无法继续使用时，以此拧动多个羊角螺栓13，羊角螺栓13转动可以带动方螺纹套管14向槽盘1内部移动，通过方螺纹套管14端部的第二斜面与限位槽7内壁的第一斜面之间的挤压，可以向上抬升安装环5，进而带动第一外齿环8和第二外齿环10向上移动，将第一外齿环8替换第二外齿环10工作，不会影响研磨工作，可以在研磨工作进行时对第二外齿环10进行拆卸，具体拆卸方法为依次将第二螺栓11拧除，拆除第二外齿环10后可对第二外齿环10上的各个齿块82进行检查，若某些齿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片研磨机的研磨盘，包括槽盘(1)，其特征在于：所述槽盘(1)内部设置有转轴(2)，所述转轴(2)上固定连接有基板(3)和内齿环(4)，所述槽盘(1)内还设置有安装环(5)，所述安装环(5)底部固定连接有拉簧(6)，所述拉簧(6)底端与槽盘(1)内底壁固定连接，所述安装环(5)外边缘开设有限位槽(7)，所述限位槽(7)内壁设置有第一斜面，所述安装环(5)顶部设有第一外齿环(8)，所述第一外齿环(8)通过第一螺栓(9)与安装环(5)固定连接，所述第一外齿环(8)顶部设有第二外齿环(10)，所述第二外齿环(10)与第一外齿环(8)结构相同，所述第二外齿环(10)通过第二螺栓(11)与第一外齿环(8)固定连接，所述槽盘(1)外边缘设置有控制装置。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片研磨机的研磨盘，其特征在于：所述控制装置包括L形板(12)，所述L形板(12)上设置有羊角螺栓(13)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈锋，沈国君，陆勇，赖锦香，
申请(专利权)人：浙江众晶电子有限公司，
类型：新型
国别省市：