尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种尾气处理装置，至少包括一个阻流罐，阻流罐的罐体侧壁上连通一个进气管口，在阻流罐的罐体内的下部设有加热器组件和冷却组件，加热器组件在罐体内部延伸出加热丝，在加热丝上设有若干根阻流条，冷却组件向罐体内部延伸出冷却管道，冷却管道上设有若干根阻流条，在阻流罐的罐体内的上部设置多层阻流板，包括间隔设置的底层阻流板、顶层阻流板和中间阻流板，中间阻流板上开设有错位分布的通气区域，气流在多层阻流板之间迂回曲折上升流动，在各个阻流板的下表面设置若干根阻流条。本实用新型专利技术将绝大部分反应物粉尘颗粒捕捉在尾气处理装置内部，大幅降低进入真空泵的尾气中粉尘含量，有效延长真空泵的正常使用时间和使用寿命。间和使用寿命。间和使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
尾气处理装置


[0001]本技术涉及光伏电池制造设备领域，尤其是一种尾气处理装置。

技术介绍

[0002]太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。目前较为成熟的钝化膜材料包括氧化铝、氧化硅、氮氧化硅、氮化硅等，这些镀膜沉积工艺往往会生成尾气，而尾气通常需要先进行过滤净化处理后再排入外排管道。以ALD为例，ALD原子层沉积设备是一种用于硅片表面镀膜的专用工艺设备，其工作原理是：通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器，在沉积基体上化学吸附并反应，而形成沉积膜。由于通入的工艺气体TMA具有极强的易燃易爆性，遇空气会发生剧烈反应，所以在尾气排入尾排管道之前需要对尾气进行处理，将尾气中残留的TMA反应掉再排入外排管道。目前ALD原子层沉积设备中采用的尾气处理装置分为上下两层处理罐，通过向下处理罐中通入饱和水蒸气，与尾气中残留的TMA发生反应，将尾气中的TMA消耗掉，反应过程中生成的Al2O3经过上处理罐中的过滤装置，对生成的Al2O3颗粒进行捕捉，最后经过真空泵排入尾排管道。
[0003]现有的尾气处理装置中只有加热器，而没有冷却水组件，反应生成的Al2O3很难完全被过滤装置捕捉，尾气中过多的Al2O3粉尘颗粒进入真空泵，导致真空泵频繁卡死，降低了真空泵的使用寿命，从而影响了设备整体的稳定性和产能，存在过滤净化效果差等问题。

技术实现思路

[0004]本申请人针对上述现有沉积设备尾气处理装置存在的尾气生成物很难被过滤装置捕捉、过滤效果差、易造成真空泵卡塞等问题，提供了一种结构合理的尾气处理装置，能够实现先加热使尾气和反应气体发生充分反应，生成的反应物粉尘颗粒再经过冷却水组件和阻流板时，凝结在温度较低的阻流板上，从而将绝大部分反应物粉尘颗粒捕捉在尾气处理装置内部，显著提高过滤净化效果。
[0005]本技术所采用的技术方案如下：
[0006]一种尾气处理装置，至少包括一个阻流罐，阻流罐的罐体侧壁上连通一个进气管口，在阻流罐的罐体内的下部设有加热器组件和冷却组件，加热器组件在罐体内部延伸出加热丝，在加热丝上设有若干根阻流条，冷却组件向罐体内部延伸出冷却管道，冷却管道上设有若干根阻流条，在阻流罐的罐体内的上部设置多层阻流板，包括间隔设置的底层阻流板、顶层阻流板和中间阻流板，中间阻流板上开设有错位分布的通气区域，气流在多层阻流板之间迂回曲折上升流动，在各个阻流板的下表面设置若干根阻流条。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进：
[0008]加热器组件在罐体侧面进气管口的对应位置设有加热器，加热器从侧壁上向罐体内部延伸出空间二维度分布的加热丝，构成横向和纵向的空间二维分布网络，加热丝的开始端和最终端均与加热器连接。
[0009]所述空间二维度分布的加热丝包括：加热丝从俯视的角度看呈N排，N为大于等于2的偶数，第一排的加热丝最上层的开始端连接到加热器，每排加热丝在竖直方向上弯曲成一个蛇形管路，第一排加热丝最下层的尾端在水平方向呈U字形拐到第二排的加热丝，第二排的加热丝向上弯曲成一个蛇形管路；当N等于2时，第二排的加热丝最上层的一端连接到加热器，形成一个完整的单线回路；当N大于2时，第二排的加热丝最上层的一端呈U字形拐到第三排的加热丝，第三排的加热丝重复蛇形弯曲，以此类推，第N排的加热丝最上层的最终端连接到加热器，形成一个完整的单线回路。
[0010]冷却组件在罐体的加热器组件相对侧侧壁上设置进水管口和出水管口，冷却组件的进水管口向罐体内部延伸出冷却管道，冷却管道在罐体内形成单线循环后与出水管口连通，冷却管道在空间上采用蛇形管延伸出竖直区域和水平区域，竖直区域位于空间二维分布加热丝的相对侧，水平区域位于空间二维分布加热丝的上方。
[0011]在加热丝上的阻流条为板状，阻流条在加热丝上水平成排分布，每排阻流条等距倾斜设置。
[0012]各个阻流板的下表面设置的阻流条为板状，阻流条等距倾斜设置，相邻层的阻流板上的阻流条倾斜朝向相反。
[0013]顶层阻流板上的通气区域位于中央位置，气流通过顶层阻流板中央进入上方的过滤罐内。
[0014]在底层阻流板的外沿竖直固定支撑柱，中间阻流板和顶层阻流板通过支撑柱固定在底层阻流板的上方，构成一个多层支架结构。
[0015]还包括过滤罐，过滤罐的罐体底部与阻流罐的罐体顶部固定连接且罐体内相互连通，过滤罐的内部设有过滤组件。
[0016]过滤组件由若干层圆筒状的过滤网同心且间隔设置构成，最内层的过滤网位于顶层阻流板中央的通气区域的外围，形成上下贯通的的气流通道，且顶部设置有实心的阻流盘封闭，使阻流罐内的气体穿过最内层的过滤网，经过多层过滤网之间的空隙向上流出。
[0017]本技术的有益效果如下：
[0018]本技术采用的阻流罐设有加热器组件和冷却组件，在加热丝上设有若干根阻流条，冷却管道上设有若干根阻流条，在各个阻流板的下表面设置若干根阻流条，且阻流条的倾斜朝向相反。尾气先被加热器加热到适合尾气和反应气体反应的温度后发生充分反应，生成反应物粉尘颗粒，再经过冷却水组件和阻流板时，凝结在温度较低的阻流板上，从而将绝大部分反应物粉尘颗粒捕捉在尾气处理装置内部，大幅降低进入真空泵的尾气中粉尘含量，有效延长了真空泵的正常使用时间和使用寿命。本技术增加了冷却水组件，使温度较高的反应物粉尘颗粒凝结在温度较低的阻流板上，且冷却水组件在空间上采用蛇形管延伸出竖直区域和水平区域，巧妙地利用空间位置，对反应后的粉尘颗粒进行充分冷却，效果极佳。
[0019]本技术的中间阻流板上开设有错位分布的通气区域，各个阻流板的下表面设置的阻流条为板状，阻流条等距倾斜设置，相邻层的阻流板上的阻流条倾斜朝向相反，气流在多层阻流板之间迂回曲折上升流动，增加了尾气流经的路径长度，增加气体被阻流板捕捉沉积的概率，能够凝结更多粉尘颗粒，提高过滤效果。本技术的加热器组件采用空间二维度分布的加热丝，构成横向和纵向的空间二维分布网络，提高加热效果。本技术采
用过滤罐的内部设有过滤组件，气体通过多层过滤网的过滤净化，进一步提高过滤效果。
附图说明
[0020]图1为本技术的立体图。
[0021]图2为本技术的截面图。
[0022]图3为本技术阻流罐的内部结构图。
[0023]图4为本技术阻流罐的内部结构图。
[0024]图中：1、阻流罐；2、过滤罐；3、进气管口；4、加热器组件；5、冷却组件；6、加热器；7、加热丝；8、阻流条；9、进水管口；10、出水管口；11、冷却管道；12、底层阻流板；13、顶层阻流板；14、中间阻流板；15、支撑柱；16、通气区域；17、过滤组件；18、过滤网；19、排气管。
具体实施方式
[0025]下面结合附图，说明本技术的具体实施方式。
[0026]如图1至图4所示，本技术所述的尾气处理装置包括下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于：至少包括一个阻流罐（1），阻流罐（1）的罐体侧壁上连通一个进气管口（3），在阻流罐（1）的罐体内的下部设有加热器组件（4）和冷却组件（5），加热器组件（4）在罐体内部延伸出加热丝（7），在加热丝（7）上设有若干根阻流条（8），冷却组件（5）向罐体内部延伸出冷却管道（11），冷却管道（11）上设有若干根阻流条（8），在阻流罐（1）的罐体内的上部设置多层阻流板，包括间隔设置的底层阻流板（12）、顶层阻流板（13）和中间阻流板（14），中间阻流板（14）上开设有错位分布的通气区域（16），气流在多层阻流板之间迂回曲折上升流动，在各个阻流板的下表面设置若干根阻流条（8）。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：加热器组件（4）在罐体侧面进气管口（3）的对应位置设有加热器（6），加热器（6）从侧壁上向罐体内部延伸出空间二维度分布的加热丝（7），构成横向和纵向的空间二维分布网络，加热丝（7）的开始端和最终端均与加热器（6）连接。3.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于：所述空间二维度分布的加热丝（7）包括：加热丝（7）从俯视的角度看呈N排，N为大于等于2的偶数，第一排的加热丝（7）最上层的开始端连接到加热器（6），每排加热丝（7）在竖直方向上弯曲成一个蛇形管路，第一排加热丝（7）最下层的尾端在水平方向呈U字形拐到第二排的加热丝（7），第二排的加热丝（7）向上弯曲成一个蛇形管路；当N等于2时，第二排的加热丝（7）最上层的一端连接到加热器（6），形成一个完整的单线回路；当N大于2时，第二排的加热丝（7）最上层的一端呈U字形拐到第三排的加热丝（7），第三排的加热丝（7）重复蛇形弯曲，以此类推，第N排的加热丝（7）最上层的最终端连接到加热器（6），形成一个完整的单线回路。4.根据权利要求2所述的尾气处理装置，其特征在于：冷却组件（5...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆敏，李丙科，孙志宇，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：