【技术实现步骤摘要】
钴铁硼靶材制备加工装置
[0001]本技术涉及钴铁硼靶材
，尤其涉及钴铁硼靶材制备加工装置。
技术介绍
[0002]钴铁硼靶材是工业常用的一种原材，包含有钴、铁、硼等三种金属元素，强度较高，对其进行生产制备时需要使用加工装置（磨具）对其进行熔融灌模。
[0003]现有的加工装置（模具）在具体使用过程中存在以下不足之处：1、磨具的上模与下模需要人工手动掀开，存在一定的安全风险；2、脱模采用气动脱模，脱模成本高，且高压气体会使成品表面出现不同深度的凹孔，影响成品表面的光滑程度。
[0004]因此可采用一种新型的钴铁硼靶材制备加工装置来解决现有技术的不足之处。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中脱模成本高一级存在一定的安全风险的问题，而提出的钴铁硼靶材制备加工装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]钴铁硼靶材制备加工装置，包括盖模以及底模，所述盖模上固定安装有滑套，所述底模上固定安装有固定板，所述固定板上通过滑动机构安装...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.钴铁硼靶材制备加工装置，包括盖模（1）以及底模（2），其特征在于：所述盖模（1）上固定安装有滑套（3），所述底模（2）上固定安装有固定板（4），所述固定板（4）上通过滑动机构安装有转板（5），所述转板（5）上固定安装有滑杆（7），所述滑杆（7）与滑套（3）之间为贯穿滑动连接，所述转板（5）上固定安装有一个弹簧杆一（6），所述弹簧杆一（6）远离转板（5）的一端上固定安装有垫片，所述垫片与滑套（3）之间为滑动连接，所述滑套（3）上开设有与垫片相配合的环轨，所述盖模（1）与底模（2）之间安装有卡合机构，所述底模（2）上开设有多个通孔，每个所述通孔上均滑动安装有一个抵杆（13），每个所述抵杆（13）上端均固定安装有一个抵块（12），多个所述抵杆（13）之间共同固定安装有一个连杆（14），所述连杆（14）与底模（2）之间安装有抵压机构，所述底模（2）上固定安装有若干个弹簧杆二（16），每个所述弹簧杆二（16）上均固定安装有一个垫块（17）。2.根据权利要求1所述的钴铁硼靶材制备加工装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，赵泽良，王伟涛，郭薛可，任慧芳，孙清博，李伟，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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