一种钴铁硼靶材制备用混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种钴铁硼靶材制备用混合装置，包括机体，所述机体内部开设有拌料腔，所述拌料腔顶部垂直转动套设有通心转轴，所述通心转轴内部垂直转动套设有转动轴，所述机体上表面一侧固定安装有支架，所述转动轴顶端转动安装在支架内，所述通心转轴外表面垂直固定安装有多个第一搅拌叶，所述转动轴底部伸出通心转轴的外表面垂直固定安装有多个第二搅拌叶，所述通心转轴顶部伸出机体且固定套接有第二齿轮,所述转动轴靠近支架下表面固定套接有第三齿轮，所述机体顶部固定安装有使第二齿轮和第三齿轮转动方向相反的驱动机构，此新型通过第二齿轮和第三齿轮反向转动，带动第一搅拌叶和第二搅拌叶反向转动，从而使混合效果更好。更好。更好。

【技术实现步骤摘要】
一种钴铁硼靶材制备用混合装置


[0001]本技术靶材
，尤其涉及一种钴铁硼靶材制备用混合装置。

技术介绍

[0002]靶材主要由靶坯、背板等部分组成：其中，靶坯是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下制成，其中钴铁硼靶材就是用溅射的工艺方法进行制造，在溅射之前通常将合金粉末进行搅拌混合均匀，然后进行熔炼，最后溅射制成靶材。
[0003]合金粉末混合是否均匀对靶材质量有着很大影响，目前大多数混合装置内的搅拌叶进能进行一个方向的转动，这就使得被混合的粉末仅能受到一个方向上的搅拌，混合不充分且速度较慢，造成混合效果不理想。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中，大多数混合装置内的搅拌叶进能进行一个方向的转动，这就使得被混合的粉末仅能受到一个方向上的搅拌，混合不充分且速度较慢，造成混合效果不理想的缺点，而提出的一种钴铁硼靶材制备用混合装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种钴铁硼靶材制备用混合装置，包括机体,所述机体内部开设有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种钴铁硼靶材制备用混合装置，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）内部开设有拌料腔（2），所述拌料腔（2）顶部垂直转动套设有通心转轴（3），所述通心转轴（3）内部垂直转动套设有转动轴（4），所述机体（1）上表面一侧固定安装有支架（5），所述转动轴（4）顶端转动安装在支架（5）内，所述转动轴（4）底端转动安装在机体（1）底部，所述通心转轴（3）外表面垂直固定安装有多个第一搅拌叶（6），所述转动轴（4）底部伸出通心转轴（3）的外表面垂直固定安装有多个第二搅拌叶（7），所述通心转轴（3）顶部伸出机体（1）且固定套接有第二齿轮（10）,所述转动轴（4）靠近支架（5）下表面固定套接有第三齿轮（11），所述机体（1）顶部固定安装有使第二齿轮（10）和第三齿轮（11）转动方向相反的驱动机构，所述机体（1）顶部和底部分别垂直开设有多个进料口和多个出料口。2.根据权利要求1所述的一种钴铁硼靶材制备用混合装置，其特征在于：所述驱动机构包括电动机（8），所述电动机（8）固定安装在机体（1）...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，赵泽良，郭利乐，张艳红，王天会，杨志刚，李洋洋，李伟，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：