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本实用新型公开了钴铁硼靶材制备加工装置，包括盖模以及底模，所述盖模上固定安装有滑套，所述底模上固定安装有固定板，所述固定板上通过滑动机构安装有转板，所述转板上固定安装有滑杆，所述滑杆与滑套之间为贯穿滑动连接，所述转板上固定安装有一个弹簧杆一...
该专利属于河南东微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南东微电子材料有限公司授权不得商用。

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