含有无机粉体的树脂组合物、转印膜和等离子体显示屏的制造方法技术

本发明专利技术提供适合同时形成黑底和电极的遮光层、且制造效率优良的等离子体显示屏的制造方法，以及适用于该制造方法的含有无机粉体的树脂组合物和转印膜。本发明专利技术使用含有无机粉体的树脂组合物，通过光刻法同时形成黑底和电极，所述含有无机粉体的树脂组合物含有包括选自铜、铁、镍中的至少一种金属的无机粉体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。详细地涉及在构成等离子体显示屏的黑底和电极的形成中，制造效率高、可使图案形成性优良的等离子体显示屏的制造方法和适合用于其制造方法的组合物和转印膜。
技术介绍
等离子体显示屏(PDP)由于是大型的面板，制造工艺容易，视角宽，自发光型的显示质量高等理由，在平板面板显示技术中备受注目，特别是人们期待彩色等离子体显示屏作为20英寸以上的壁挂电视用显示装置成为主流。彩色PDP通过对荧光体照射由彩色放电产生的紫外线可以进行彩色显示。这样，通常彩色PDP的构成为，通过在基板上形成红色发光用荧光体部位、绿色发光用荧光体部位和蓝色发光用荧光体部位，形成各种颜色的发光显示单元整体上均匀混合的状态。具体地说，在由玻璃等构成的基板的表面上设置被称为バリアリブ的绝缘材料构成的隔壁，用该隔壁划分多个显示单元，该显示单元内部形成等离子体作用空间。这样，在该等离子体作用空间设置荧光体部位，同时在该荧光体部位设置发挥等离子体作用的电极，以各显示单元为单位构成等离子体显示屏。该电极通常由含有银等白色导电层和在该白色导电层的下层有具有遮光层作用的黑色层的积层图案构成。而且，通常，为了提高PDP的对比度，在电极图案之间设置黑底和彩色滤光片。作为这样的等离子体显示屏中的面板材料的制造方法，人们知道的有(1)根据离子测射法和电子束蒸镀法等的制造方法，(2)其通过光刻法和丝网印刷法等而形成的含有无机粉体的树脂层图案烧结，除去有机物质的方法等。其中，作为制造效率高的方法优选的是通过光刻法对含有无机粉体的树脂层进行图案化的方法。专利文献1特开平11-162339号公报专利文献2特开2001-84833号公报专利文献3特开2002-245932号公报专利文献4特开2003-51250号公报
技术实现思路
在现有技术中，在形成黑底时，形成电极图案之后，必须使用与该电极图案的黑色导电层的组成不同的含有黑色无机粉体的树脂在电极图案之间形成黑底。因此，由于在形成黑底和电极图案时需要显像和烧结两个工序，所以正在寻找制造效率更好的制造方法。本专利技术的第1目的是提供适合于同时形成黑底和电极中的遮光层的含有无机粉体的树脂组合物。本专利技术的第2目的是形成适合于同时形成黑底和电极中的遮光层的转印膜。本专利技术的第3目的是提供在形成黑底和电极时制造效率优良的等离子体显示屏的制造方法。本专利技术的含有无机粉体的树脂组合物的特征在于含有(a)含有选自铜、铁、镍中的至少一种金属的无机粉体，(b)粘结树脂，(c)光聚合性单体和(d)光聚合引发剂。本专利技术转印膜的特征在于在支撑膜上形成由本专利技术的含有无机粉体的树脂组合物构成的层。本专利技术的等离子体显示屏的制造方法(下面称为PDP的制造方法(I))的特征在于通过包括下面的(i)～(vi)的工序的方法同时形成黑底和电极(i)在基板上使用第一专利技术所记载的含有无机粉体的树脂组合物形成含有无机粉体的树脂层A的工序。(ii)对该含有无机粉体的树脂层A进行曝光，形成含有无机粉体的树脂层A的图案的潜像的工序。(iii)在该含有无机粉体的树脂层A上形成感光性的含有导电性无机粉体的树脂层B的工序。(iv)对该含有导电性无机粉体的树脂层B进行曝光，形成含有导电性无机粉体的树脂层B的图案的潜像的工序。(v)使含有无机粉体的树脂层A和含有导电性无机粉体的树脂层B显像，同时形成含有无机粉体的树脂层A的图案和含有无机粉体的树脂层A/含有导电性无机粉体的树脂层B积层图案的工序。(vi)烧结含有无机粉体的树脂层A的图案和含有无机粉体树脂层A/含有导电性无机粉体的树脂层B积层图案的工序。本专利技术的等离子体显示屏的制造方法(下面称为PDP的制造方法(II))的特征在于通过包括下面的(vii)～(xii)的工序的方法同时形成黑底和电极(vii)在基板上使用第一专利技术所述的含有无机粉体的树脂组合物形成含有无机粉体的树脂层A的工序。(viii)对该含有无机粉体的树脂层A进行曝光，形成含有无机粉体的树脂层A的图案的潜像的工序。(ix)在该含有无机粉体的树脂层A上形成非感光性的含有导电性无机粉体的树脂层C，在该含有导电性无机粉体的树脂层C上形成抗蚀剂层的工序。(x)对抗蚀剂层进行曝光、显像处理，在含有导电性无机粉体的树脂层C上形成抗蚀剂层的图案的工序。(xi)进行含有无机粉体的树脂层A的显像处理和含有导电性无机粉体的树脂层C的蚀刻处理，同时形成含有无机粉体的树脂层A的图案和与抗蚀剂层图案对应的含有无机粉体的树脂层A/含有导电性无机粉体的树脂层C积层图案的工序。(xii)烧结含有无机粉体的树脂层A的图案和含有无机粉体树脂层A/含有导电性无机粉体的树脂层C积层图案的工序。附图说明图1是表示用于形成在本专利技术的PDP的制造方法(I)中黑底和电极的一连串工序的截面示意图。具体实施例方式下面对本专利技术进行详细的说明。<含有无机粉体的树脂组合物> 本专利技术的含有无机粉体的树脂组合物以(a)含有选自铜、铁、镍的至少一种金属的无机粉体，(b)粘结树脂，(c)光聚合性单体和(d)光聚合引发剂为必须成份，通常具有感光性。(a)无机粉体作为本专利技术的含有无机粉体的树脂组合物使用的无机粉体，可举出铜、铁、镍粒子。在将本专利技术的含有无机粉体的组合物用于本专利技术的PDP的制造方法中时，通常，无机粉体在烧结工序被氧化，但是，通过使用上述金属粒子，能够使所制备的黑底和电极的遮光层中含有的无机粉体的氧化程度(氧化的进行状况)不同，能够同时形成不具有导电性的黑底和具有导电性的电极的遮光层。作为该无机粉体的平均粒径优选为0.01～10微米，更优选为0.05～5微米。无机粉体的平均粒径不足0.01微米时，无机粉体的比表面积大，因此，组合物中粒子容易发生凝聚，难以获得稳定的分散状态。另一方面，无机粉体的平均粒径在10微米以上时，难以获得高精度的图案。而且，在本专利技术的含有无机粉体的树脂组合物中，除了上述各无机粉体之外，还可以含有玻璃料。作为上述玻璃料的组成，例如可举出1.氧化铅、氧化硼、氧化硅(PbO-B2O3-SiO2系)的混合物，2.氧化锌、氧化硼、氧化硅(ZnO-B2O3-SiO2系)的混合物，3.氧化铅、氧化硼、氧化硅、氧化铝(PbO-B2O3-SiO2-Al2O3系)的混合物，4.氧化铅、氧化锌、氧化硼、氧化硅(PbO-ZnO-B2O3-SiO2系)的混合物。作为这些玻璃料的软化点优选在400～600℃的范围内。本专利技术的含有无机粉体的树脂组合物中玻璃料含量相对于无机粉体的总量为80质量％以下，优选50质量％以下。(b)粘结树脂作为构成本专利技术含有无机粉体的树脂组合物的粘结树脂，可以使用各种树脂，优选使用以30～100质量％的比例含有碱可溶性树脂的树脂。这里，“碱可溶性”是指具有被碱性的显像液溶解并且进行所要的显像处理程度的溶解性的性质。作为这种碱可溶性树脂的具体例可举出例如(甲基)丙烯酸系树脂、羟基苯乙烯树脂、线型酚醛树脂、聚酯树脂等。在这种碱可溶性树脂中，特别优选的可举出下面的单体(a)和单体(c)的共聚物、单体(a)和单体(b)和单体(c)的共聚物等丙烯酸树脂。单体(a)含有羧基的单体类丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、富马酸、巴豆酸、依康酸、焦柠檬酸、中康酸、桂皮酸、琥珀酸一(2-(甲基)丙烯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含有无机粉体的树脂组合物，其中含有（ａ）含有选自铜、铁、镍中的至少一种金属的无机粉体，（ｂ）粘结树脂，（ｃ）光聚合性单体和（ｄ）光聚合引发剂。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：内山克博，岩本聪，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]