一种Ｘ射线装置，Ｘ射线管壳（１）将从阴极（１８）照射的电子束向靶（３６）进行冲撞，从而射出Ｘ射线。在Ｘ射线管壳（１）工作时，每隔一定时间转动磁铁部（４０），定位在规定的转动位置上。通过磁铁部（４０）的旋转，使永久磁铁（４２）形成的磁场发生变化，电子束在靶（３６）上的照射位置进行移动。由此，电子束向靶（３６）上的新的位置进行照射，产生与初期性能相等的Ｘ射线量。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将电子束向靶进行照射产生X射线的X射线装置。
技术介绍
以往，作为X射线装置，比如已知有一种微焦点(マイクロフオ一カス)X射线发生装置中使用的透过型微焦点X射线发生管壳(以下简称为X射线管壳)。该X射线管壳小型，可将检查物与X射线源接近地配设，能增大放大倍率，可进行超紧密的X射线透过检查。但是，此类X射线管壳中，是将电子束朝靶照射产生X射线的，靶的微小面积上照射大的电力的电子束，该电子束的能量几乎都变为热，故靶劣变，而靶存在寿命的问题。为此，在透过型微焦点X射线发生装置中，将装置做成可开放的结构，需要将靶定期地进行更换，导致结构复杂、大型且高价。近年来，开发了小型、结构简单的密封的X射线管壳。但是，由于靶的热劣变而寿命变短，焦点尺寸为5μm的场合，2W左右的输入是靶的极限。为此，比如作为延长靶的寿命的结构，已知有一种在真空容器内配设有将电子束进行照射的阴极及将来自该阴极的电子束进行照射而产生X射线的靶，将该靶朝与电子束的轴向正交的方向可移动地进行配设，将该靶通过真空容器外部的磁铁进行移动，使靶上电子束照射的位置不同，当靶的电子束照射的某一位置寿命到了的场合，通过磁铁使靶移动，以恢复初期的性能的结构(比如，参照日本专利特开平3-22331号公报(第2页-第3页，图1))。但是，如上所述，将真空容器内的靶进行移动的场合，在将靶本身做成可移动的同时，需要配设用于移动靶的磁铁等，存在结构复杂的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种以简单的结构实现长寿命化的X射线装置。本专利技术的实施例的X射线装置，包括将电子束进行照射的阴极；被该电子束照射而产生X射线的靶；使该靶上被电子束照射的照射位置移动的磁铁部。因此，曾将电子束照射产生X射线的靶上的照射位置即使到了寿命，也可通过旋转磁铁部，将电子束的照射位置移动至靶的其他位置，因而可得到初期的性能，实现长寿命化。附图说明图1是表示本专利技术的实施例的微焦点X射线发生管壳的剖视图。图2是表示图1的X射线管壳的俯视图。图3是将图1的X射线管壳的真空管壳的卡止孔放大表示的剖视图。图4是将其他实施例的X射线管壳的外装金属件放大表示的剖视图。图5是表示其他实施例的X射线管壳的俯视图。图6是表示又一实施例的X射线管壳的俯视图。具体实施例方式以下，作为本专利技术的实施例的X射线装置，参照附图对微焦点X射线发生装置的透过型的微焦点X射线发生管壳(以下简称为X射线管壳)进行说明。图1表示的是X射线管壳1的剖视图。X射线管壳1具有作为保持真空气密的真空容器的真空管壳2。该真空管壳2具有圆筒状的筒状部3，在该筒状部3上形成用于安装真空排气用的排气管(未图示)的排气管安装部4。该排气管安装部4将真空管壳2进行真空排气后，进行密封。在筒状部3的基端侧(图中下端侧)安装有圆环凸缘状的管壳安装构件5。该管壳安装构件5具有多个螺钉插通孔6。将用于固定管壳安装构件5的螺钉插通螺钉插通孔6。在管壳安装构件5的背面侧(图中下面侧)形成用于安装防止冷却用的油漏出的O形环(未图示)的环状的安装槽7。在成为筒状部3的基端侧的管壳安装构件5的背面侧安装有使基端侧封闭的双层筒状的玻璃容器11。在玻璃容器11的开放的外筒的前端，金属性的圆环状的外筒连接体12通过熔接等一体地安装在玻璃容器11上。该外筒连接体12被焊接在管壳安装构件5上，从而气密地封固。另外，在玻璃容器11的内筒的内周侧形成有封闭内筒的封闭部13。而且，在玻璃容器11的内筒的前端，金属性的圆环状的内筒连接体14通过熔接等一体地安装在玻璃容器11上。该内筒连接体14的前端连接有支承体15。在支承体15的前端安装有圆环板状的保持体16。该保持体16的内部安装有阴极保持体17。并且，该阴极保持体17上安装有阴极18。该阴极18内置有未图示的灯丝，对该灯丝加热，以放出热电子束。另外，阴极18，在其基端侧具有灯丝支承部21。在该灯丝支承部21上连接有以气密状态贯通玻璃容器11的封闭部13的灯丝端子22。并且，来自外部的电力从该灯丝端子22借助灯丝支承部21供给阴极18。在保持体16上安装有一体形成的成为电子透镜的静电型的聚焦电极体23。并且，利用该聚焦电极体23及阴极18形成微小焦点电子枪。聚焦电极体23具有安装在保持体16上的棒状的电极保持绝缘体24，沿着该电极保持绝缘体24从阴极侧依次具有第1聚焦电极25、第2聚焦电极26及第3聚焦电极27。第1聚焦电极25外加负的数百V的电压。第2聚焦电极26外加正的数kV的电压。第3聚焦电极27相对于第2聚焦电极26，被隔着稍大的间隙配置，外加正的数kV的电压。另外，在第1聚焦电极25、第2聚焦电极26的中心，开口形成有未图示的电子束穿通孔。并且，在第3聚焦电极27的中心形成有在第1聚焦电极25及第2聚焦电极26的电子束穿通孔的延长线上直线连通的电子束穿通孔28。在筒状部3的前端侧安装有朝着前端直径减小的盖体31。在盖体31的前端形成具有开口33的安装部32。具有开口35的靶保持体34保持在安装部32上。成为窗的透过型的靶36作为真空管壳2的一部分气密地安装在靶保持体34上。靶36通过第1聚焦电极25的电子束穿通孔、第2聚焦电极26的电子束穿通孔及第3聚焦电极的电子束穿通孔28与阴极18相对配设着。另外，靶36具有作为真空气密的隔壁的作用，故由厚度为数百μm的铍薄板或Al基板等的X射线透过损失少的板材形成。并且，在该板材的真空侧形成比如厚度为5μm至10μm的钨等成为X射线源的薄膜。钨薄膜的厚度根据电子束潜入深度和发生的X射线的衰减量进行设计。而且，图2所示，在真空管壳2的外周安装有磁铁部40。磁铁部40具有与真空管壳2之间隔着间隙配设的圆环状的磁铁保持体41。磁铁保持体41相对于真空管壳2比如可手动旋转地进行安装。在与磁铁保持体41的径向相对的位置安装有永久磁铁42、42。永久磁铁42、42，将相互不同的极以相对的状态带有方向性地配设，以使电子束通过的路径上形成约10高斯至50高斯的强度的磁通。如图3所示，在真空管壳2的外周比如在每18°共20处形成圆锥状的卡止孔43。另一方面，在磁铁保持体41的内周上每90°共4处形成槽孔44，该槽孔44内插入推球弹簧45，在该推球弹簧45的前端安装有可插入槽孔44内的大小的定位用的球46。并且，磁铁保持体41的球46被推球弹簧45朝真空管壳2的中心方向施力而与真空管壳2的卡止孔43卡止，由此，磁铁保持体41定位在规定的旋转位置上。另外，相互相对的永久磁铁42，连接两者的朝径向延伸的线与通过靶36的中心的轴线交叉，且沿轴向的位置处于包含在从阴极18的前端至最靠近靶36侧的第3聚焦电极27为止的图1中的L的范围内的位置上。下面，对上述X射线管壳1的工作原理进行说明。首先，对内置于阴极18的灯丝进行通电加热，从阴极18放出热电子束。电子束通过聚焦电极体23向靶36进行照射。具体地说，从阴极18放出的电子束由第1聚焦电极25的负的数百V的电压引起的电子透镜聚焦，由第2聚焦电极26及第3聚焦电极27的正的数kV的电压进一步聚焦，对靶36外加大约100kV的电压，成为2μm至5μm比如约为5μm的直径的电子束，在靶36的真空侧面上成像。此时，电子束在磁铁部40的永久磁铁42本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种Ｘ射线装置，其特征在于，包括：将电子束进行照射的阴极；被该电子束照射而产生Ｘ射线的靶；使该靶上被电子束照射的照射位置移动的磁铁部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2003-1-10 004674/20031.一种X射线装置，其特征在于，包括将电子束进行照射的阴极；被该电子束照射而产生X射线的靶；使该靶上被电子束照射的照射位置移动的磁铁部。2.如权利要求1所述的X射线装置，其特征在于，所述靶相对于所述阴极固定地配置。3.如权利要求2所述的X射线装置，其特征在于，所述磁铁部产生横切所述电子束的磁场。4.如权利要求1所述的X射线装置，其特征在于，所述磁铁部设置成能以电子束的轴向为中心旋转，通过该旋转改变电子束的照射位置。5.如权利要求4所述的X射线装置，其特征在于，所述磁铁部具有一对使在其旋转的径向分开并不相同的磁极相对的磁铁。6.如权利要求4所述的X射线...
【专利技术属性】
技术研发人员：下野隆，清水克则，
申请(专利权)人：东芝电子管件株式会社，株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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