【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于平板显示
、电子科学与
、真空科学与
、集成电路科学与
以及纳米科学与
的相互交叉领域,涉及到平板场致发射显示器的器件制作,具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容,特别涉及到带有双向环型调节结构的、碳纳米管阴极的场致发射平板显示器件的器件制作及其制作工艺。
技术介绍
碳纳米管是一种小管状结构,属于碳同素异构体家族中的一个新成员,其直径的范围大致在4~30nm左右,而其长度却在几个微米的数量级,所以碳纳米管具有非常小的尖端曲率半径。由于都有独特的结构和优异的性能,因此关于碳纳米管的研究已经引起了一股热潮,尤其在电学应用领域的影响更加明显。碳纳米管具有优良的场致发射特性,可以用来制造新一代场致发射显示器件。这种显示器件具有体积小、亮度高、视角大、功耗低等优点,将来有望在显示市场占据比较大的份额。制作大面积的平板显示器件,这已经是一种不可逆转的发展趋势。随着显示器件种显示面积的增大,相对应的碳纳米管阴极的数量也就随之而成倍的增加。当在控制栅极上施加适当电压的时候,在碳纳米管顶端形成的强大电场强度就会迫使碳纳米管发射出大量的电子;在阳极高电压的作用下加速向阳极运动,轰击荧光粉层而发出可见光。那么在数量众多的碳纳米管阴极中,很难保证所有的碳纳米管阴极都具有相同的场致发射能力,也就是说,可能有的碳纳米管阴极发射的电子多一些,而有的碳纳米管阴极发射的电子少一些;由此看来,用于轰击荧光粉层的电子就会有所区别,也就造成了各个像素点的发光亮度有所区别,引起显示图像质量的下降。由此可以看出,还需要对碳纳米管 ...
【技术保护点】
一种双向环型调节结构的平板显示器,包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[17]和四周玻璃围框[22]所构成的密封真空腔;在阳极玻璃面板上有阳极导电层[18]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[20];位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[21]以及消气剂[23]附属元件,其特征在于:在阴极玻璃面板上有栅极[15]、碳纳米管阴极[16]以及双向环型调节结构。
【技术特征摘要】
1.一种双向环型调节结构的平板显示器,包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[17]和四周玻璃围框[22]所构成的密封真空腔;在阳极玻璃面板上有阳极导电层[18]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[20];位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[21]以及消气剂[23]附属元件,其特征在于在阴极玻璃面板上有栅极[15]、碳纳米管阴极[16]以及双向环型调节结构。2.根据权利要求1所述的一种双向环型调节结构的平板显示器,其特征在于所述的带有双向环型调节结构的衬底材料为玻璃,也就是阴极玻璃面板[1];阴极玻璃面板上刻蚀后的二氧化硅层形成阻塞层[2];阻塞层的上面存在一个n型掺杂硅一层[3],刻蚀后的n型掺杂硅一层的下表面为一个平面,和阻塞层相接触,而其上表面为一个凹面;n型掺杂硅一层的上面存在一个二氧化硅层,刻蚀后的n型掺杂硅一层上面的二氧化硅层构成绝缘一层[4],用于门极层[5]和n型掺杂硅一层[3]之间的相互绝缘;绝缘一层[4]的上面存在一个掺杂多晶硅层,刻蚀后的掺杂多晶硅层形成门极层[5],位于n型掺杂硅一层[3]的中间凹陷位置;掺杂多晶硅层上面的刻蚀后的二氧化硅层构成绝缘二层[6];绝缘一层[4]和绝缘二层[6]是相互接触的,共同形成一个环型结构,将门极层包围在中间;刻蚀后的绝缘二层的两侧要暴露出下面的n型掺杂硅一层;在绝缘二层[6]的上面存在一个n型掺杂硅二层[7],刻蚀后的n型掺杂硅二层[7]的两侧要和暴露的n型掺杂硅一层[3]相互接触;阴极玻璃面板[1]上存在一个n型重掺杂硅层,刻蚀后的n型重掺杂硅层分为两部分,即源极[8]和漏极[9]部分,分别位于门极层[5]的两侧;源极[8]和漏极[9]是互不接触的,但是都与n型掺杂硅一层[3]和n型掺杂硅二层[7]相互接触;阴极玻璃面板上存在一个金属层,刻蚀后的金属层分为两部分,用于形成源极引线层[10]和漏极引线层[11];源极引线层[10]位于源极[8]部分的上面,漏极引线层[11]位于漏极[9]部分的上面;源极引线层和漏极引线层是互不连通的;阴极玻璃面板上存在一个二氧化硅层,刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘三层[12],要覆盖住源极及源极引线层,漏极及漏极引线层,以及暴露的n型掺杂硅二层;绝缘三层旁侧的刻蚀后的金属层形成阴极引线层[13];阴极引线层和漏极引线层是相互连通的;阴极引线层上刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘隔离层[14];绝缘隔离层[14]的中间存在一个电子通道孔,暴露出底部的阴极引线层[13];绝缘隔离层的上面存在一个栅极层[15];碳纳米管阴极16]制备在电子通道孔中的阴极引线层上。3.根据权利要求2所述的一种双向环型调节结构的平板显示器,其特征在于所述的带有双向环型调节结构的固定位置为安装固定在阴极玻璃面板上,门极层的掺杂类型可以为n型或p型,阴极玻璃面板上存在一个金属层,为金属金、银、铝、锡、铬、镍、钴,刻蚀后的金属层分为两部分,用于形成源极引线层和漏极引线层,栅极层为金属金、银、钼、铝、铬。4.一种双向环型调节结构的平板显示器的制作工艺,其特征在于,其制作工艺如下1)阴极玻璃面板[1]的制作对整体平板玻璃进行划割,制作出阴极玻璃面板;2)阻塞层[2]的制作在阴极玻璃面板上制备出一层二氧化硅层,刻蚀后形成阻塞层;3)n型掺杂硅一层[3]的制作在阻塞层的上面制备出一个n型掺杂硅一层,刻蚀后形成n型掺杂硅一层[3],其下表面为一个平面,和阻塞层相接触,而其上表面为一个凹面;4)绝缘一层[4]的制作在n型掺杂硅一层的上面制备出一个二氧化硅层,刻蚀后形成的绝缘一层[4];5)门极[5]的制作在绝缘一层[4]的上面制备出一个n型掺杂...
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