平板显示器件、其阳极面板、以及其各自的制造方法技术

本发明专利技术涉及平板显示器件、其阳极面板、以及其各自的制造方法，具体公开了一种阳极面板的制造方法，该阳极面板包括基底、单元荧光区域、格子状阻挡肋、阳极单元和用于使阳极单元彼此电连接的电阻层，该方法包括下述步骤：通过在基底上形成阻挡肋和单元荧光区域，从而得到阳极单元，接下来在整个表面上形成导电材料层，然后将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉；然后形成电阻层；其中将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉的步骤包括将剥离层贴附在导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分上，然后将该剥离层机械地剥离掉的步骤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于平板显示器件的阳极面板的制造方法、平板显示器件的制造方法、用于平板显示器件的阳极面板和平板显示器件。
技术介绍
作为替代当前主流阴极射线管(CRT)的图像显示器件，研究了各种扁平型(平板)显示器件。这种平板显示器件包括液晶显示器件(LCD)、电致发光显示器件(ELD)和等离子体显示器件(PDP)。此外，正在对结合了具有电子发射元件的阴极面板的平板显示器件进行开发。已知的电子发射元件有冷阴极场电子发射元件、金属-绝缘体-金属元件(也称作MIM器件)和表面传导型电子发射元件。结合了具有由这些冷阴极电子源形成的电子发射元件的阴极面板的平板显示器件因高分辨率、高亮度颜色显示和低功耗而引起了人门的注意。图23为日本专利特开No.2004-158232中专利技术的第二实施例中公开的冷阴极场电子发射显示器件(此后简称为显示器件)中阳极的示意平面图。图24A、24B和24C分别为沿图23中箭头线A-A、B-B和C-C的阳极面板AP的局部示意端视图。图25为该显示器件的局部示意端视图。图26为阳极面板AP和阴极面板CP的局部示意透视图。顺便提及，在图26中，为了简化附图，未示出阳极单元，并且未示出阻挡肋。该显示器件是通过将包括多个冷阴极场电子发射元件(以下简称为场致发射元件)的阴极面板CP和阳极面板AP在其周边部分彼此连接在一起而形成的。图25中示出的场致发射元件是具有锥形电子发射部分的所谓Spindt型场致发射元件。该场致发射元件包括形成在支座10上的阴极11；形成在支座10和阴极11上的绝缘层12；形成在绝缘层12上的栅极13；形成在栅极13和绝缘层12中的开口部分14(形成在栅极13中的第一开口部分14A和形成在绝缘层12中的第二开口部分14B)；形成在位于第二开口部分14B底部的阴极上的锥形电子发射部分15。通常，阴极11和栅极13沿着这两个电极的投影图像彼此正交的方向形成为条纹。通常，多个场致发射元件设置在这两个电极的投影图像彼此重叠的区域中(该区域对应一个子像素，此后称作重叠区域或电子发射区域)。而且，通常这种电子发射区域以二维矩阵的形式配置在阴极面板CP的有效区域(用作实际显示部分的区域)中。阳极面板AP包括基底120；在基底120上形成的具有预定图案的单元荧光区域121；形成在单元荧光区域121上的阳极130；以及馈电部分140(图25中未示出)。作为整体，阳极130具有覆盖矩形有效区域的形状。阳极130由例如铝薄膜形成。在基底120上的单元荧光区域121和单元荧光区域121之间形成吸光层(黑矩阵)122。在吸光层122上形成阻挡肋123。阻挡肋123的平面形状为格子形状(格栅形状)，并且具有包围一个子像素的形状(单元荧光区域)。在该情况下，一个子像素包括阴极面板侧上设置在阴极11和栅极13的重叠区域中的一组场致发射元件，以及阳极面板侧上与该组这些场致发射元件(一个红光发射单元荧光区域、一个绿光发射单元荧光区域、或一个蓝光发射单元荧光区域)相面对的单元荧光区域121。在有效区域中排列了例如数十万到数百万数量级的这样的子像素。一个像素由三个子像素构成。阳极130由覆盖单元荧光区域121的一组阳极单元131构成。在阳极单元131之间设置间隙132A和132B。间隙132A设置在基底120中没有形成单元荧光区域121的那部分上。形成间隙132B使其位于阻挡肋123的顶表面上，或者使其越过阻挡肋123延伸。在阳极单元131和阳极单元131之间形成电阻层133。更特别地，形成电阻层133以使其越过间隙132A和132B并且在相邻的阳极单元131之间延伸。电阻层133由例如SiC制得的电阻薄膜构成，并且是通过溅射法形成的。阳极单元131的尺寸可以防止阳极单元131因阳极单元131和场致发射元件(更具体为栅极13或阴极11)之间发生放电所产生的能量而局部蒸发(更具体为该尺寸可以防止阳极单元131中与一个子像素相对应的部分因阳极单元131和栅极13或阴极11之间发生放电所产生的能量而蒸发)。顺便提及，为了使附图简化，图23示出了4×4个阳极单元131，并且部分示意剖视图示出了覆盖多个单元荧光区域的一个阳极单元131。然而，在实践中，阳极单元131的尺寸与例如覆盖单元荧光区域即一个子像素的尺寸相对应。形成阳极130的一个侧面的阳极单元131A通过馈电部分140与阳极控制电路53连接。通常在阳极控制电路53和馈电部分140之间放置用于防止过电流和放电的电阻器R0。馈电部分140由通过馈电部分电阻层143彼此串联的馈电部分单元141形成。在馈电部分单元141和馈电部分单元141之间设置间隙142A。在间隙142A上形成馈电部分电阻层143以使其在馈电部分单元141和馈电部分单元141之间延伸。馈电部分单元141例如还可以由铝薄膜形成。在形成阳极130的一个侧面的阳极单元131A和馈电部分单元141之间设置间隙142B。形成阳极130的一个侧面的阳极单元131A和馈电部分单元141通过电阻元件134彼此连接。根据CVD方法在间隙142B上形成电阻元件134以使其在阳极单元131和馈电部分单元141之间延伸。在日本专利特开No.2004-158232中公开的显示器件中，形成阳极使其分成具有较小面积的阳极单元131，而不是在有效区域的大致整个表面上形成，可以降低阳极单元131和冷阴极场电子发射元件之间的电容。结果，可以减少放电的发生，并且有效地减少放电对阳极和冷阴极场电子发射元件造成损坏的发生。而且，由于馈电部分140是由多个馈电部分单元141形成的，所以可以降低馈电部分140和形成阴极面板CP的场致发射元件之间形成的电容，并且有效地降低了由馈电部分140和冷阴极场电子发射元件之间的放电对馈电部分140和冷阴极场电子发射元件造成损坏的发生。此外，由于在阳极单元131和阳极电极单元131之间形成了电阻层133，所以确实可以减少阳极单元131之间的放电的发生。
技术实现思路
因而，日本专利特开No.2004-158232中公开的显示器件可以减少放电的发生。阳极单元131的形成是通过形成导电材料层，根据光刻技术形成抗蚀剂层(resist layer)，然后通过蚀刻技术利用抗蚀剂层对导电材料层进行构图来执行。然而，在对导电材料层进行构图时蚀刻会对荧光区域造成损坏，并且在对导电材料层进行构图之后利用剥离溶液剥离抗蚀剂层时，剥离溶液对荧光区域造成损坏。这种现象降低了显示器件的图像质量。虽然馈电部分140是由通过馈电部分电阻层143彼此串联的馈电部分单元141形成的，但是对进一步降低馈电部分140和冷阴极场电子发射元件之间的放电还有很强烈的需求。因此，希望提供一种用于平板显示器件的阳极面板的制造方法和平板显示器件的制造方法，其可以消除在形成阳极单元时对荧光区域造成损坏这一担忧。还希望提供一种用于平板显示器件的阳极面板和其结构可以进一步降低馈电部分和冷阴极场电子发射元件之间的放电的平板显示器件，以及该用于平板显示器件的阳极面板的制造方法和该平板显示器的制造方法。根据本专利技术的第一实施例，提供一种用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中用于平板显示器件的阳极面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多个单元荧光区域、(C)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，用于所述平板显示器件的所述阳极面板包括（Ａ）基底、（Ｂ）形成在基底上的多个单元荧光区域、（Ｃ）包围各单元荧光区域的格子状阻挡肋、（Ｄ）由导电材料层构成并且形成为从各单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元、以及（Ｅ）用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层，所述方法包括下述步骤：在基底上形成格子状阻挡肋之后，获得形成为从各单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元，然后在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域，接下来在整个表面上形成导电材料层，然后将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子状阻挡肋之后、或者在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域之后、或者在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层；其中将所述导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉的步骤包括将剥离部件连结到导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的部分上，然后机械地剥掉剥离部件的步骤。

【技术特征摘要】
JP 2005-6-27 2005-1865551.一种用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，用于所述平板显示器件的所述阳极面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多个单元荧光区域、(C)包围各单元荧光区域的格子状阻挡肋、(D)由导电材料层构成并且形成为从各单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元、以及(E)用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层，所述方法包括下述步骤在基底上形成格子状阻挡肋之后，获得形成为从各单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元，然后在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域，接下来在整个表面上形成导电材料层，然后将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子状阻挡肋之后、或者在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域之后、或者在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层；其中将所述导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉的步骤包括将剥离部件连结到导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的部分上，然后机械地剥掉剥离部件的步骤。2.根据权利要求1所述的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，还包括在整个表面上形成导电材料层之前，在阻挡肋顶表面上和单元荧光区域上形成树脂层的步骤，其中在整个表面上形成导电材料层之后或在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉之后，通过执行热处理去除掉树脂层。3.根据权利要求1的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中剥离部件包括粘合层和粘结层之一、以及用于保持该粘合层和粘结层之一的保持膜；并且将剥离部件贴附在导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分上的方法，即是将形成剥离部件的粘合层和粘结层之一加压连结在导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分上的方法。4.根据权利要求3的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中阻挡肋中包围单元荧光区域的那部分的平面形状大致为矩形；将树脂层涂覆在阻挡肋顶表面和单元荧光区域上，使得该树脂层与矩形的较短边平行并且宽度比矩形的较长边窄；以及沿着平行于矩形较长边的方向将剥离部件机械地剥离掉。5.根据权利要求1所述的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中阳极面板还包括与阻挡肋的形成同时形成的凸凹状馈电部分；位于阳极面板最外周部分上的阳极单元通过馈电部分与阳极控制电路连接；在形成导电材料层的同时在馈电部分的整个表面上形成馈电部分导电材料层；在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉的同时，也将馈电部分导电材料层中位于馈电部分凸起部分上的那部分去除掉；以及在馈电部分凸起部分上形成馈电部分电阻层，用于电连接位于馈电部分的相邻凹陷部分中的馈电部分导电材料层。6.根据权利要求1的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中一个像素由红光发射单元荧光区域、绿光发射单元荧光区域、和蓝光发射单元荧光区域形成。7.一种用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中用于所述平板显示器件的所述阳极面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多个单元荧光区域、(C)包围各单元荧光区域的格子状阻挡肋、(D)由导电材料层构成并且形成为从各单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元、以及(E)用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层，所述方法包括下述步骤在基底上形成格子状阻挡肋之后，获得形成为从每个单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元，然后在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域，接下来在整个表面上形成导电材料层，然后将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子状阻挡肋之后、或者在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域之后、或者在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层；其中将所述导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉的步骤包括在导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的部分上涂覆蚀刻剂的步骤。8.根据权利要求7所述的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，还包括在整个表面上形成导电材料层之前，在阻挡肋顶表面上和单元荧光区域上形成树脂层的步骤，其中在整个表面上形成导电材料层之后或在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉之后，通过执行热处理来去除掉树脂层。9.根据权利要求7所述的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中阳极面板还包括与阻挡肋的形成同时形成的凸凹状馈电部分；位于阳极面板最外周部分上的阳极单元通过馈电部分与阳极控制电路连接；在形成导电材料层的同时在馈电部分的整个表面上形成馈电部分导电材料层；在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉的同时，也将馈电部分导电材料层中位于馈电部分凸起部分上的那部分去除掉；以及在馈电部分凸起部分上形成馈电部分电阻层，用于电连接位于馈电部分的相邻凹陷部分中的馈电部分导电材料层。10.根据权利要求7所述的用于平板显示器件的阳极面板的制造方法，其中一个像素由红光发射单元荧光区域、绿光发射单元荧光区域和蓝光发射单元荧光区域形成。11.一种平板显示器件的制造方法，所述平板显示器件是通过将阳极面板和具有多个电子发射元件的阴极面板在该阳极面板和该阴极面板的周边部分彼此接合起来而形成的，所述阳极面板包括(A)基底、(B)形成在基底上的多个单元荧光区域、(C)包围各单元荧光区域的格子状阻挡肋、(D)由导电材料层构成并且形成为从各单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元、以及(E)用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层，所述阳极面板是通过包括下述步骤的所述方法制造的在基底上形成格子状阻挡肋之后，获得形成为从各单元荧光区域上延伸到阻挡肋上的阳极单元，然后在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域，接下来在整个表面上形成导电材料层，然后将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉；以及在基底上形成格子状阻挡肋之后、或者在基底中被阻挡肋包围的部分上形成单元荧光区域之后、或者在将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉之后，形成用于使相邻阳极单元彼此电连接的电阻层；其中将导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的那部分去除掉的步骤包括将剥离部件连结到导电材料层中位于阻挡肋顶表面上的部分上，然后机械地剥掉剥离部件的步骤。12.一种平板显...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤芳光，井口如信，冈南聪，波多野靖人，本田敬二，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]