带有PDAF功能的CMOS图像传感器制造技术

本发明专利技术提供一种带有PDAF功能的CMOS图像传感器，包括：PDAF像素；其由上至下依次包括微透镜、介质导光层及衬底层；介质导光层中设置有金属栅格，将进入介质导光层中的光分成左右两部分，衬底层中由上至下依次设置有PDAF光电二极管及信号采集光电二极管。通过金属栅格将入射光一分为二，同时在衬底层中设置处于不同深度的光电二极管，基于不同深度的光电二极管可吸收不同颜色的光信号，可使分隔为左右两部分的入射光分别被采集，从而同时实现对焦信号与拍摄信号的采集，将自动对焦过程中损失的信号有效收集；另外，由于不需要将一个PDAF光电二极管一分为二实现聚焦，从而不存在井口变小，缓解满井容量急剧衰减、动态范围严重衰减的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
带有PDAF功能的CMOS图像传感器


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种带有PDAF功能的CMOS图像传感器。

技术介绍

[0002]随着智能手机的日益普及，人们对移动智能终端的图像拍摄效果也提出了越来越高的要求，在一些动态场景中，能够实现快速对焦，并且清晰地抓拍下一些转瞬即逝的影像，成为越来越多人的需求。同时，应对多变场景，对于高动态范围，高感光度的要求也越来越高。
[0003]目前比较先进的对焦技术是相位检测自动对焦(PDAF)技术，可以实现更加快速的对焦。目前，PDAF主要有三种模式：第一种为如图1所示的shield PD模式，图中的屏蔽结构32(即黑色部分)屏蔽掉PDAF像素30一半的感光区域，只获得一半信号，其需要另外的PDAF像素屏蔽掉另一半信号，从而得到完整的相位差信息，该模式shield PD越多，对焦越快，但信号损失越严重，暗光下对焦困难；第二种为如图2所示的super PD模式，即将相邻的PD33共有一个微透镜31得到相位差信息，一般在绿色(G)PDAF像素30上处理，同样的，二合一的PD3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有PDAF功能的CMOS图像传感器，其特征在于，所述图像传感器包括：PDAF像素；所述PDAF像素由上至下依次包括微透镜、介质导光层及衬底层；其中，所述介质导光层中设置有金属栅格，将进入所述介质导光层中的光分成左右两部分，所述衬底层中由上至下依次设置有PDAF光电二极管及信号采集光电二极管；入射光通过所述微透镜准直聚焦后进入所述介质导光层被分成左右两部分入射光，然后进入所述衬底层内的所述PDAF光电二极管实现对焦信号采集，剩余部分的入射光进入所述信号采集光电二极管实现拍摄信号采集。2.根据权利要求1所述的带有PDAF功能的CMOS图像传感器，其特征在于：所述介质导光层设置为由所述金属栅格隔开的第一颜色滤光镜及第二颜色滤光镜，且所述第一颜色滤光镜及所述第二颜色滤光镜为不同颜色的滤光镜；所述图像传感器至少包括一对所述PDAF像素，且一对所述PDAF像素中所述第一颜色滤光镜及所述第二颜色滤光镜位置相反。3.根据权利要求2所述的带有PDAF功能的CMOS图像传感器，其特征在于：所述PDAF光电二极管及所述信号采集光电二极管为有机光电二极管或通过离子注入工艺形成的光电二极管。4.根据权利要求3所述的带有PDAF功能的CMOS图像传感器，其特征在于：所述PDAF光电二极管及所述信号采集光电二极管为通过离子注入工艺形成的光电二极管，且所述PDAF光电二极管...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁琦，陈世杰，
申请(专利权)人：联合微电子中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：