一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置，包括伺服电机，其特征在于：所述伺服电机的一侧连接有减速机，所述减速机的底部通过螺栓固定有法兰盘，所述法兰盘的底部均匀安装有固定支柱，所述减速机的底部连接有输出端，所述输出端的底部设置有磁流体装置，所述磁流体装置包括连接杆，所述输出端的底部与连接杆相轴承连接，所述连接杆的底部通过转动连接有拨杆，所述拨杆与输出端相焊接固定，所述磁流体装置包括磁极，所述磁极与连接杆的内壁通过焊接固定，所述磁极的一侧连接有磁环，所述磁极与拨杆之间设置有磁流体，所述拨杆的外壁开设有运输通道，且运输通道与磁流体相贯通，本发明专利技术，具有实用性强的特点。具有实用性强的特点。具有实用性强的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及半导体设备制造
，具体为一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程。半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜。
[0003]在一个高真空腔体内蒸镀金属膜，工艺腔体要安装一套电子枪，4个坩埚旋转机构蒸镀不同金属，2套加热灯，1套行星盘装置的固定安装，冷却水管路等等。现在客户对设备的产能要求也比较高，所以在有限的腔体空间内，合理优化出合适的空间，又能满足工艺要求，产能要求，维护还方便，是对腔体的设计提出大的挑战。工艺腔体的大小，决定了设备的总尺寸，过于庞大的设备会占用半导体加工厂房的面积，洁净级别的厂房建设费用是非常高昂的，实用性差。
[0004]目前在市场上的电子束蒸发台主要是日本ULVAC，美国CHA MARK50等进口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置，包括伺服电机(1)，其特征在于：所述伺服电机(1)的一侧连接有减速机(3)，所述减速机(3)的底部通过螺栓固定有法兰盘(31)，所述法兰盘(31)的底部均匀安装有固定支柱(2)，所述减速机(3)的底部连接有输出端(32)，所述输出端(32)的底部设置有磁流体装置(4)，所述磁流体装置(4)包括连接杆(41)，所述输出端(32)的底部与连接杆(41)相轴承连接，所述连接杆(41)的底部通过转动连接有拨杆(5)，所述拨杆(5)与输出端(32)相焊接固定。2.根据权利要求1所述的一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置，其特征在于：所述磁流体装置(4)包括磁极(44)，所述磁极(44)与连接杆(41)的内壁通过焊接固定，所述磁极(44)的一侧连接有磁环(45)，所述磁极(44)与拨杆(5)之间设置有磁流体(46)。3.根据权利要求2所述的一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置，其特征在于：所述拨杆(5)的外壁开设有运输通道，且运输通道与磁流体(46)相贯通，所述拨杆(5)的内壁转动连接有转棍(6)，所述转棍(6)的一端伸出拨杆(5)，且转棍(6)的一端连接有电机(43)，所述转棍(6)的底部贯通连接有磁流体补充管(47)，所述磁流体补充管(47)上设置有运输泵(471)，所述运输泵(471)的输入端贯通连接有磁流体补给管(472)，所述磁流体补充管(47)与拨杆(5)的顶部相贯通，所述转棍(6)的底部均匀开设有泄漏孔(62)，所述转棍(6)上螺旋设置有运输螺旋(61)。4.根据权利要求3所述的一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置，其特征在于：所述拨杆(5)的外壁对应开设有单向阀(51)，所述单向阀(51)与连接杆(41)的内壁相贯通。5.根据权利要求4所述的一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置，其特征在于：所述转棍(6)上均匀开设有圆形腔(64)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：马溢华，赵志强，
申请(专利权)人：无锡芯谱半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：