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本发明公开了一种电子束蒸台行星架多轴联合驱动装置，包括伺服电机，其特征在于：所述伺服电机的一侧连接有减速机，所述减速机的底部通过螺栓固定有法兰盘，所述法兰盘的底部均匀安装有固定支柱，所述减速机的底部连接有输出端，所述输出端的底部设置有磁流体...
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