【技术实现步骤摘要】
用于扫描电子显微镜的样品支架狄领域本专利技术涉及一种用于扫描电子显微镜的样品支架。 背禁駄现有的扫描电子显微镜(S-4700和S-4800)的样品支架，如附图说明图1 所示，它包括样品台1、螺杆2和底座3,在样品台1上放置有样品 5，该样品支架在调整高度时很容易将螺杆2旋出底座3，如图2所 示，放进扫描电子显微镜室时可能不易发现，但是当从扫描电子显微 镜室中取出的时候会卡在平台4上。并且当样品支架的高度调节范围 比较大时，现有的支架需要更换不同长度的螺杆，频繁的更换容易造 成底座螺孔与螺杆之间划牙，给扫描电子显微镜的安全操作带来隐 患，严重的会使样品支架上的部件掉入扫描电子显微镜室。这些情况 都需要扫描电子显微镜室破真空才能将样品支架取出，造成扫描电子 显微镜机台的死机，对扫描电子显微镜机台的性能和使用寿命都有很 大的影响。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种用于扫描电子显微镜的 样品支架，它可以防止样品支架的螺杆旋出底座卡在平台上。为了解决以上技术问题，本专利技术提供了一种用于扫描电子显微镜 的样品支架，它包括样品台和中间具有螺纹孔的底座，其中，它还包括一个螺杆机构，所述螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆，所 述螺杆与所述底座的蟪纹孔相连，所述螺杆机构的下部可旋入底座部 分不超过底座厚度，所述嫘杆机构的上都与样品台相连。所述螺杆机构包括两个部分，螺杆机构下部一端带有所述螺杆， 上部为可更换模块，该可更换模块分别与螺杆机构下部和样品台通过 可快速拆卸机构连接。所述的可快速拆卸机构为螺纹螺杆机构。 所述每个可更换模块的高度根据需要进行设定。因为...
【技术保护点】
一种用于扫描电子显微镜的样品支架，它包括样品台和中间具有螺纹孔的底座，其特征在于，它还包括一个螺杆机构，所述螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆，所述螺杆与所述底座的螺纹孔相连，所述螺杆机构的下部可旋入底座部分不超过底座厚度，所述螺杆机构的上部与样品台相连。
【技术特征摘要】
1、一种用于扫描电子显微镜的样品支架，它包括样品台和中间具有螺纹孔的底座，其特征在于，它还包括一个螺杆机构，所述螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆，所述螺杆与所述底座的螺纹孔相连，所述螺杆机构的下部可旋入底座部分不超过底座厚度，所述螺杆机构的上部与样品台相连。2、 如权利要求1所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征 在于，所述嫘杆机构包括两个部分，螺杆机构下部一端带有所述螺杆， 上部为可更换模块，该可更换模块分别与螺杆机构下部和样品台通过 可快速拆卸机构连接。3、 如权利要求2所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述的可快速拆卸机构为螺纹螺杆机构。4、 如权利要求2所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述嫘纹螺杆机构是指在可更换模块的上下端分别具有嫘纹孔 和螺杆，在与之相连的螺杆机构下部和样品台分...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏凤莲，葛挺锋，章鸣，王俊杰，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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