【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板
[0001]本技术属于单晶炉相关
，尤其涉及一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主的环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉同样适用于生产工业蓝宝石晶体，在加工过程中单晶炉炉内温度可高达2200
°
。
[0003]而目前的使用的单晶炉中温场下部主要部件为钼下隔热屏，通常由13层0.5mm或1mm厚度的钼片相互堆叠组成，而最上层的钼屏由于更接近发热体，而金属钼的熔点为2100℃，在2050℃的高温下使用3炉次之后顶端钼片会出现烧穿、挥发，造成底部保温下降，整体耗电量升高，同时整个隔热屏为一体式设置，在顶层的钼屏烧穿后，需要整体进行更换，因此使用成本较高，同时现有的隔热屏为了方便安装通常外径小于钼内胆的外径，因此隔热屏与钼内胆之间会存在一定的间隙，同样造成热量流失，耗电增加。
技术实现思路
[0004]针对上述的不足，本技术提供一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板。>[0005]本技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶体炉组合式钨盖板，其特征在于：包括外挡片(1)、第一内挡片(4)和第二内挡片(8)，所述的外挡片(1)呈等间距设置有六个，且外挡片(1)的内端面与外端面均为同圆心的弧面结构，同时六个外挡片(1)内端面的弧面圆心均为同一点；所述的外挡片(1)的顶部靠近外端面的一端设置有凸缘(2)；所述的第一内挡片(4)和第二内挡片(8)均设置在六个外挡片(1)之间，且第一内挡片(4)和第二内挡片(8)的外端面均紧贴外挡片(1)的内端面。2.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉组合式钨盖板，其特征在于：所述的第一内挡片(4)的外端面设置有第一卡合件(5)，且第一卡合件(5)关于第一内挡片(4)横截面的圆心呈等角度设置有三个，同时相邻的第一卡合件(5)之间的夹角均为60
°
；所述的第一内挡片(4)的内端面开设有第一内槽(6)，且第一内槽(6)的横截面为与第一内挡片(4)横截面同圆心的半圆形结构；所述的第一内槽(6)的两侧均设置有卡槽(7)，且卡槽(7)关于第一内槽(6)横截面的圆心呈对称式设置有两个，并且两个卡槽(7)均开设在第一内挡片(4)的顶部，同时卡槽(7)的深度等于第一内挡片(4)厚度的一半。3.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉组合式钨盖板，其特征在于：所述的第二内挡片(8)的外端面设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏超，杜迎虎，张玉亮，宋旭波，曹学玲，宋渤，王平，
申请(专利权)人：山东新升光电科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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