一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装制造技术

本实用新型专利技术提供一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装，包括底板和铜极板，所述的底板的横截面呈圆形，且底板上开设有吊装孔，同时吊装孔关于底板的中心线呈对称式设置有两个；所述的铜极板关于底板的中心线呈对称式设置有两个，且两个铜极板均设置在底板的顶部，同时两个铜极板的两端相互不接触，本实用新型专利技术设置有底板和铜极板，底板的顶部开设有第一安装孔和吊装孔，底板的材质为不锈钢材质，且第一安装孔在使用前可根据铜极板上第二安装孔的位置和孔径进行对应开孔，依靠不锈钢盘的硬度同铜电极紧密连接后利用螺杆将其变形部位回位，两个呈半环形结构的铜极板，可以有效防止因局部形变导致的整体变形，便于后续的校正工作进行。行。行。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装


[0001]本技术属于晶化炉相关
，尤其涉及一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装。

技术介绍

[0002]晶化炉又称单晶炉，是一种在惰性气体氮气、氦气为主的环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉同样适用于生产工业蓝宝石晶体，在加工过程中单晶炉炉内温度可高达2200
°
，目前在单晶炉的加工过程中，通常是通过铜电极配合钨杆发热体进行电加热。
[0003]而目前使用的单晶炉在加工过程中，炉内温度需要长时间保持稳定在2200
°
左右，为了保护铜电极通常采用水冷结构，在铜电极内部设有水槽，受散热及高温下温度变化影响，在使用25炉次之后，铜电极与杆发热体的接触面局部容易出现变形，导致铜电极与杆发热体之间出现间隙，导致导电效果下降，为了维持炉内温度保持在当前温度，需要增加功率，进而造成能耗增加。

技术实现思路

[0004]针对上述的不足，本技术提供一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装。
[0005]本技术解决其技术问题所采取的技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装，其特征在于：包括底板(1)和铜极板(4)，所述的底板(1)的横截面呈圆形，且底板(1)上开设有吊装孔(3)，同时吊装孔(3)关于底板(1)的中心线呈对称式设置有两个；所述的铜极板(4)关于底板(1)的中心线呈对称式设置有两个，且两个铜极板(4)均设置在底板(1)的顶部，同时两个铜极板(4)的两端相互不接触。2.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉铜电极校正工装，其特征在于：所述的底板(1)上开设有第一安装孔(2)，且第一安装孔(2)关于底板(1)的中心线呈对称式设置有两组，同时每组第一安装孔(2)均呈等间距设置有七个。3.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉铜电极校正工装，其特征在于：所述的铜极板(4)呈半环形结构，且铜极板(4)的外端面直径与底板(1)的直径相同；所述铜极板(4)靠近外端面的一端开设有第二安装孔(5)，且第二安装孔(5)贯穿铜极板(4)的两侧；所述的第二安装孔(5)呈等间距设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜迎虎，张玉亮，宋旭波，魏超，张帅，马永生，高贯涛，
申请(专利权)人：山东新升光电科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：