一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装制造技术

技术编号:31468272 阅读:19 留言:0更新日期:2021-12-18 11:49
本实用新型专利技术提供一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装,包括底板和铜极板,所述的底板的横截面呈圆形,且底板上开设有吊装孔,同时吊装孔关于底板的中心线呈对称式设置有两个;所述的铜极板关于底板的中心线呈对称式设置有两个,且两个铜极板均设置在底板的顶部,同时两个铜极板的两端相互不接触,本实用新型专利技术设置有底板和铜极板,底板的顶部开设有第一安装孔和吊装孔,底板的材质为不锈钢材质,且第一安装孔在使用前可根据铜极板上第二安装孔的位置和孔径进行对应开孔,依靠不锈钢盘的硬度同铜电极紧密连接后利用螺杆将其变形部位回位,两个呈半环形结构的铜极板,可以有效防止因局部形变导致的整体变形,便于后续的校正工作进行。行。行。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装


[0001]本技术属于晶化炉相关
,尤其涉及一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装。

技术介绍

[0002]晶化炉又称单晶炉,是一种在惰性气体氮气、氦气为主的环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶炉同样适用于生产工业蓝宝石晶体,在加工过程中单晶炉炉内温度可高达2200
°
,目前在单晶炉的加工过程中,通常是通过铜电极配合钨杆发热体进行电加热。
[0003]而目前使用的单晶炉在加工过程中,炉内温度需要长时间保持稳定在2200
°
左右,为了保护铜电极通常采用水冷结构,在铜电极内部设有水槽,受散热及高温下温度变化影响,在使用25炉次之后,铜电极与杆发热体的接触面局部容易出现变形,导致铜电极与杆发热体之间出现间隙,导致导电效果下降,为了维持炉内温度保持在当前温度,需要增加功率,进而造成能耗增加。

技术实现思路

[0004]针对上述的不足,本技术提供一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装。
[0005]本技术解决其技术问题所采取的技术方案是:一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装,包括底板和铜极板,所述的底板的横截面呈圆形,且底板上开设有吊装孔,同时吊装孔关于底板的中心线呈对称式设置有两个;所述的铜极板关于底板的中心线呈对称式设置有两个,且两个铜极板均设置在底板的顶部,同时两个铜极板的两端相互不接触。
[0006]作为优化,所述的底板上开设有第一安装孔,且第一安装孔关于底板的中心线呈对称式设置有两组,同时每组第一安装孔均呈等间距设置有七个。
[0007]作为优化,所述的铜极板呈半环形结构,且铜极板的外端面直径与底板的直径相同;所述铜极板靠近外端面的一端开设有第二安装孔,且第二安装孔贯穿铜极板的两侧;所述的第二安装孔呈等间距设置有七个,且每个第二安装孔分别配合一个所述的固定螺栓与第一安装孔固定连接。
[0008]作为优化,所述的铜极板顶部靠近内端面的一侧开设有第一固定孔,且第一固定孔呈等间距开设有三十二个;所述的第一固定孔的深度小于铜极板的厚度,且第一固定孔的直径小于第二安装孔的直径。
[0009]作为优化,所述的铜极板的外端面开设有第二固定孔,且第二固定孔呈等间距开设有三十二个,同时第二固定孔的内壁呈倒角结构。
[0010]作为优化,所述的铜极板的内部开设有水槽,且铜极板的顶部两端分别开设有通槽;所述的铜极板顶部的每一端均呈对称式开设有两个通槽,且通槽均贯穿铜极板外壁与水槽相连通。
[0011]本技术的有益效果是:
[0012]1、本技术设置有底板和铜极板,底板的顶部开设有第一安装孔和吊装孔,底板的材质为不锈钢材质,且第一安装孔在使用前可根据铜极板上第二安装孔的位置和孔径进行对应开孔,依靠不锈钢盘的硬度同铜电极紧密连接后利用螺杆将其变形部位回位,两个呈半环形结构的铜极板,可以有效防止因局部形变导致的整体变形,便于后续的校正工作进行。
[0013]2、本技术设置有多个第一固定孔和第二固定孔,在将变形的铜极板固定安装在底板的顶部之后,根据变形的位置,通过第一固定孔或第二固定孔将铜极板与施力螺杆进行固定连接,进而通过螺杆施加压力使铜极板变形位置进行复位,提高了会死用便捷性。
[0014]3、本技术设置有水槽和通槽,水槽的两端均开设有两个通槽,通过两个通槽可以增加水槽的进出水流量,提高水流速度进而提高散热效果,可以有效延长铜极板的工作时间,降低形变效率。
附图说明
[0015]图1是本技术的立体结构示意图。
[0016]图2是本技术中图1的仰视结构示意图。
[0017]图3是本技术的斜截面结构示意图。
[0018]图4是本技术图3中的A处放大结构示意图。
[0019]图中:
[0020]1、底板;2、第一安装孔;3、吊装孔;4、铜极板;5、第二安装孔;6、固定螺栓;7、第一固定孔;8、第二固定孔;9、水槽;10、通槽。
具体实施方式
[0021]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围,而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0023]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]如附图1至附图4所示的一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装,包括底板1和铜极板
4,所述的底板1的横截面呈圆形,且底板1上开设有吊装孔3,同时吊装孔3关于底板1的中心线呈对称式设置有两个;所述的铜极板4关于底板1的中心线呈对称式设置有两个,且两个铜极板4均设置在底板1的顶部,同时两个铜极板4的两端相互不接触。
[0025]在本实施例中,所述的底板1上开设有第一安装孔2,且第一安装孔2关于底板1的中心线呈对称式设置有两组,同时每组第一安装孔2均呈等间距设置有七个。
[0026]通过采用上述技术方案,通过第一安装孔2便于配合不锈钢材质的固定螺栓6与铜极板4固定连接,提高了使用便捷性。
[0027]在本实施例中,所述的铜极板4呈半环形结构,且铜极板4的外端面直径与底板1的直径相同;所述铜极板4靠近外端面的一端开设有第二安装孔5,且第二安装孔5贯穿铜极板4的两侧;所述的第二安装孔5呈等间距设置有七个,且每个第二安装孔5分别配合一个所述的固定螺栓6与第一安装孔2固定连接。
[0028]通过采用上述技术方案,通过两个半环形结构的铜极板4,相较于圆形的铜极板4可以有效防止因局部形变导致的整体变形,便于后续的校正工作进行。
[0029]在本实施例中,所述的铜极板4顶部靠近内端面的一侧开设有第一固定孔7,且第一固定孔7呈等间距开设有三十二个;所述的第一固定孔7的深度小于铜极板4的厚度,且第一固定孔7的直径小于第二安本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶体炉铜电极校正工装,其特征在于:包括底板(1)和铜极板(4),所述的底板(1)的横截面呈圆形,且底板(1)上开设有吊装孔(3),同时吊装孔(3)关于底板(1)的中心线呈对称式设置有两个;所述的铜极板(4)关于底板(1)的中心线呈对称式设置有两个,且两个铜极板(4)均设置在底板(1)的顶部,同时两个铜极板(4)的两端相互不接触。2.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉铜电极校正工装,其特征在于:所述的底板(1)上开设有第一安装孔(2),且第一安装孔(2)关于底板(1)的中心线呈对称式设置有两组,同时每组第一安装孔(2)均呈等间距设置有七个。3.如权利要求1所述的蓝宝石晶体炉铜电极校正工装,其特征在于:所述的铜极板(4)呈半环形结构,且铜极板(4)的外端面直径与底板(1)的直径相同;所述铜极板(4)靠近外端面的一端开设有第二安装孔(5),且第二安装孔(5)贯穿铜极板(4)的两侧;所述的第二安装孔(5)呈等间距设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜迎虎张玉亮宋旭波魏超张帅马永生高贯涛
申请(专利权)人:山东新升光电科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:

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