对准方法和蒸镀方法技术

本公开提供一种对准方法和蒸镀方法，该对准方法包括：检测工序，对设置于第一物体的第一标记的位置和设置于第二物体的第二标记的位置进行检测；测量工序，对所述第一标记的位置与所述第二标记的位置的相对位置进行测量；以及移动工序，使用用于使所述第一物体移动的致动器来使所述第一物体进行移动，所述移动工序包括：比较工序，将通过所述致动器移动的所述第一物体的可动范围与所述相对位置进行比较；第一移动工序，在通过所述比较工序判断为所述相对位置超出所述可动范围的情况下，使所述第二物体与所述第一物体一起移动；以及第二移动工序，使所述第一物体以与所述第二物体分离的方式进行移动。离的方式进行移动。离的方式进行移动。

【技术实现步骤摘要】
对准方法和蒸镀方法


[0001]本专利技术涉及一种对准方法和蒸镀方法。

技术介绍

[0002]在使用掩模来在基板上进行图案成膜的情况下，进行掩模与基板的对准。即，掩模和基板被设置于进行成膜的处理室内的规定的位置。接着，在开始成膜之前，利用摄像机拍摄掩模和基板的对准标记来检测位置，从而调整掩模与基板之间的位置关系。
[0003]然而，存在阻碍进行对准工序的各种因素。在日本特开2018
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003142号公报中，记载了在无法准确地检测对准标记的情况下的对准方法。
[0004]本专利技术的专利技术人们进行了潜心研究，发现了：能够在摄像机的拍摄范围内正常地检测对准标记，但是存在基板与掩模的相对位置不处于通过致动器移动的基板或掩模的可动范围内的情况。因此，可知存在无法对准的情况。在该情况下，有时对准工序发生错误，装置停止，并且在恢复时伴随人工作业。

技术实现思路

[0005]鉴于这样的问题，本专利技术的目的在于提供一种有利于在进行对准时放宽针对作为其对象的物体的位置的限制的技术。
>[0006]本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对准方法，其特征在于，包括：检测工序，对设置于第一物体的第一标记的位置和设置于第二物体的第二标记的位置进行检测；测量工序，对所述第一标记的位置与所述第二标记的位置的相对位置进行测量；以及移动工序，使用用于使所述第一物体移动的致动器来使所述第一物体进行移动，所述移动工序包括：比较工序，将通过所述致动器移动的所述第一物体的可动范围与所述相对位置进行比较；第一移动工序，在通过所述比较工序判断为所述相对位置超出所述可动范围的情况下，使所述第二物体与所述第一物体一起移动；以及第二移动工序，使所述第一物体以与所述第二物体分离的方式进行移动。2.根据权利要求1所述的对准方法，其特征在于，在所述第一移动工序和所述第二移动工序中，分别使所述第一物体移动预先决定的量。3.根据权利要求1所述的对准方法，其特征在于，在所述第一移动工序中使所述第一物体和所述第二物体移动的第一移动方向设为与所述第二物体相对于所述第一物体的所述相对位置大致相反的方向。4.根据权利要求3所述的对准方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：坪井隆志，川角保志，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：