本实用新型专利技术实施例中的技术方案，在掩膜板边框的第一表面设置开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，并且在边框的第一表面还设置与所述开口连通的导流槽，对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。通过在边框和对位掩膜条接触的部分设置所述导流槽，在清洗过程中边框与对位掩膜条的连接处的清洗残留液通过该导流槽将排出，避免其连接处的残留液堵塞，提高掩膜板和掩膜装置的清洗的效果，从而避免未清洗干净的掩膜板和掩膜装置对蒸镀操作的影响，从而可以提高OLED显示面板的品质，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。镀过程中发生混色不良。镀过程中发生混色不良。
【技术实现步骤摘要】
掩膜板及蒸镀装置
[0001]本技术涉及显示
，尤其涉及一种掩模板及蒸镀装置。
技术介绍
[0002]有机电致发光显示(Organic Light Emitting Display，OLED)是一种极具发展前景的显示技术。OLED显示装置不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示
主力军。
[0003]OLED面板的RGB像素膜层和通用层膜层需要使用掩膜板将待蒸镀材料蒸镀到基板上，在蒸镀前需要将掩膜板进行对位，利用掩膜板框架与对位掩膜条进行搭接并对位，在蒸镀完成后需要清洗蒸镀在掩膜板上面的残留材料，在掩膜板清洗装置通过药液置换，最终洗掉掩膜板表面的附着的残留材料，但是目前，掩膜条框架与对位掩膜条的搭接区易发生药液残留，导致蒸镀过程中发生混色不良。
技术实现思路
[0004]本技术提供一种掩模板及蒸镀装置，可以提高对掩膜板和蒸镀装置的清洗的质量，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。
[0005]在本技术的一个实施例中，掩膜板包括掩膜框架，由多条边框围设形成；
[0006]设置在所述边框上的对位掩膜条；
[0007]所述边框包括靠近所述对位掩膜条的第一表面和远离所述对位掩膜条的第二表面，所述第一表面设置有开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，所述边框的第一表面设置有与所述开口连通的导流槽，所述对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。
[0008]在本技术的一个实施例中，可选地，所述导流槽包括进水口和、出水口，所述进水口与所述开口连通，所述出水口位于所述掩膜框架的边缘。
[0009]在本技术的一个实施例中，可选地，所述边框设置有多个沿第一方向排列的所述开口，与每个所述开口连通的多个导流槽的延伸方向不同，所述第一方向为所述边框的延伸方向。
[0010]在本技术的一个实施例中，可选地，与每个所述开口连通的所述导流槽有两个，两个所述导流槽沿第一方向对称设置。
[0011]在本技术的一个实施例中，可选地，在平行于所述第一表面的平面上，所述对位掩膜条的投影边缘与所述导流槽的所述出水口的投影重合。
[0012]在本技术的一个实施例中，可选地，所述对位掩膜条在所述掩膜框架第一面上的投影完全落入掩膜框架内。
[0013]在本技术的一个实施例中，可选地，所述对位掩膜条有多个，所述多个掩膜条沿所述第一方向排列，每个所述对位掩膜条与所述一个开口对应；所述对位掩膜条上设置有对位孔，在平行于所述第一表面的平面上，所述对位孔的孔径的投影落入所述开口的投
影范围内。
[0014]在本技术的一个实施例中，可选地，所述导流槽宽度为1
‑
2mm，所述导流槽深度为0.5
‑
1mm。
[0015]在本技术的一个实施例中，可选地，所述通孔的延伸方向与所述第一表面不垂直。
[0016]在本技术的另一实施例中，包括一蒸镀装置，包括如上任一项中所述的掩膜板。
[0017]本技术实施例中的技术方案，在掩膜板边框的第一表面设置开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，并且在边框的第一表面还设置与所述开口连通的导流槽，对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。通过在边框和对位掩膜条接触的部分设置所述导流槽，在清洗过程中边框与对位掩膜条的连接处的清洗残留液通过该导流槽将排出，避免其连接处的残留液堵塞，提高掩膜板和掩膜装置的清洗的效果，从而避免未清洗干净的掩膜板和掩膜装置对蒸镀操作的影响，从而可以提高OLED显示面板的品质，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。
[0018]本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1为本技术一实施例中掩膜板的结构示意图；
[0021]图2为本技术另一实施例中掩膜板的结构示意图；
[0022]图3为本技术一实施例中掩膜框架的侧视图。
[0023]附图标记：
[0024]100
‑
掩膜板
[0025]10
‑
掩膜框架
[0026]10a
‑
边框
[0027]20
‑
对位掩膜条
[0028]11
‑
第一表面
[0029]12
‑
第二表面
[0030]13
‑
开口
[0031]14
‑
通孔
[0032]15
‑
导流槽
[0033]151
‑
进水口
[0034]152
‑
出水口
具体实施方式
[0035]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0036]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0037]如
技术介绍
所述，掩膜板包括掩膜框架和对位掩膜条，掩膜框架包括多条边框，多条边框包围形成蒸镀区。例如掩膜框架一般包括四条边框，四条边框围设成矩形，四条边框围设形成的中空区域即为蒸镀区，当然掩膜框架还可以包括其他数量的边框，并且围设形成不同的形状，本申请对此并不做出限制，本领域技术人员可根据不同的蒸镀区形成不同形状的掩膜框架。
[0038]在掩膜框架的边框上设置有沿厚度方向延本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，包括掩膜框架，由多条边框围设形成；设置在所述边框上的对位掩膜条；所述边框包括靠近所述对位掩膜条的第一表面和远离所述对位掩膜条的第二表面，所述第一表面设置有开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，所述边框的第一表面设置有与所述开口连通的导流槽，所述对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述导流槽包括进水口和出水口，所述进水口与所述开口连通，所述出水口位于所述掩膜框架的边缘。3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述边框设置有多个沿第一方向排列的所述开口，与每个所述开口连通的多个导流槽的延伸方向不同，所述第一方向为所述边框的延伸方向。4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，与每个所述开口连通的所述导流槽有两个，两个所述导流槽沿第一方向对称设置。5.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，在平行于所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐英旭，卓林海，王亚，郭宏伟，田斌，于上智，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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