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对准方法和蒸镀方法技术
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文档序号:31479679
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本公开提供一种对准方法和蒸镀方法,该对准方法包括:检测工序,对设置于第一物体的第一标记的位置和设置于第二物体的第二标记的位置进行检测;测量工序,对所述第一标记的位置与所述第二标记的位置的相对位置进行测量;以及移动工序,使用用于使所述第一物体...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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