一种真空镀膜机的接水盘及其真空镀膜机制造技术

技术编号:31477091 阅读:11 留言:0更新日期:2021-12-18 12:08
本实用新型专利技术涉及一种真空镀膜机的接水盘及其真空镀膜机,主要解决冷冻头外部冷凝水堆积导致冷却管外表面凝结有冰,影响真空镀膜机使用寿命的技术问题。真空镀膜机的接水盘,包括套设于冷冻机的冷却管的第一环形体、导流坡、接水环和延伸部;所述第一环形体和接水环通过导流坡连接,所述接水环远离所述导流坡的一端设有所述延伸部,所述延伸部朝向第一环形体的一侧延伸,所述延伸部与导流坡均为环形体,及其真空镀膜机。本实用新型专利技术较好地解决了前述问题,可应用于聚对二甲苯镀膜的工业生产中。中。中。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的接水盘及其真空镀膜机


[0001]本技术涉及一种真空镀膜机,尤其涉及一种真空镀膜机的接水盘及其真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜是采用真空泵抽出控制柜内的残余气体,使控制柜内部维持真空状态,控制柜内的蒸镀源加热至汽化升华状态,使蒸镀源的气体附着于置于控制柜内的待镀物的表面而形成一层薄膜。
[0003]派瑞林(又称聚对二甲苯)镀膜效率与待镀物的表面温度有关,温度越低附着速度越快,速度高于一定值时膜层透明度就会下降。所以一般的派瑞林真空镀膜膜室的温度保持在20℃

30℃,在此温度派瑞林蒸镀源气体未完全附着的就会抽到真空泵内。因此要求真空镀膜机在真空泵前要有良好的冷却系统用于快速捕捉残留的蒸镀源气体。常见的方法是将镀膜室内的气体采用冷冻头降温,冷冻头与冷冻机通过管道连接,以达到冷却效果。然而,由于冷冻头的温度较低,空气中的水蒸气会在冷冻头外表面受冷液化形成冷凝水,冷凝水容易滴落或者顺着冷凝管流到控制柜表面或冷冻头的下端,进而凝结在冷冻头的下端外表面,影响真空镀膜机使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术解决的是现有技术中存在的冷冻头外部冷凝水堆积导致冷却管的外表面凝结有冰,影响真空镀膜机使用寿命的技术问题,提供一种真空镀膜机的接水盘及其真空镀膜机,该接水盘可接住冷凝水,保证真空镀膜机的使用寿命。
[0005]为解决上述技术问题,本技术提供的技术方案如下:
[0006]一种真空镀膜机的接水盘,包括套设于冷冻机的冷却管的第一环形体、导流坡、接水环和延伸部;所述第一环形体和接水环通过导流坡连接,所述接水环远离所述导流坡的一端设有所述延伸部,所述延伸部朝向第一环形体的一侧延伸,所述延伸部与导流坡均为环形体。
[0007]根据本技术的一个方面,更优的,所述导流坡上设有一导流面,位于所述第一环形体的液体通过所述导流面流向所述接水环。
[0008]根据本技术的一个方面,更优的,所述导流面为弧形面,且朝向所述延伸部突出。
[0009]根据本技术的一个方面,所述接水环上开设有排水孔,所述排水孔内设有内螺纹。
[0010]根据本技术的一个方面,更优的,所述接水环的上表面为倾斜面,所述倾斜面沿着所述接水环的周向方向高度逐渐变化;当所述接水环上接有冷凝水时,冷凝水会沿着所述倾斜面的倾斜向下的方向流动,最终流入所述排水孔内。
[0011]一种真空镀膜机,包括前述的真空镀膜机的接水盘,还包括真空舱、控制柜、接水
盘、连通管、冷冻头、冷却管以及冷冻机,其特征在于:所述真空舱设置于所述控制柜上,所述冷却管设置于所述控制柜上,所述冷冻头伸入所述冷却管内,所述真空舱依次通过冷却管、连通管与冷冻机连通,所述真空镀膜机的接水盘套设于所述冷却管上。
[0012]根据本技术的一个方面,所述接水盘的接水环上开设有排水孔,所述排水孔内设有内螺纹,所述排水孔的内螺纹与气管快速接头的外螺纹连接,所述排水孔依次通过气管快速接头、排水管与废液瓶连通。
[0013]本技术的真空镀膜机的接水盘及其真空镀膜机能够实现以下技术效果:
[0014]本技术的真空镀膜机的接水盘在保证冷却效果不受影响的前提下,将冷冻头上产生的冷凝水及时接住,并可及时将冷凝水导出接水盘外,解决了冷冻头处产生的冷凝水堆积过多,影响真空镀膜机使用寿命的问题。
附图说明
[0015]图1是真空镀膜机的接水盘的立体示意图。
[0016]图2是真空镀膜机的接水盘的俯视示意图。
[0017]图3是真空镀膜机的接水盘与气管快速接头连接处的剖视图。
[0018]图4是真空镀膜机的立体示意图;
[0019]图5是真空镀膜机在接水盘处的局部放大图。
[0020]附图标号说明:
[0021]1‑
第一环形体,2

导流坡,3

接水环,4

延伸部,5

排水孔,6

控制柜,7

真空舱, 8

冷冻机,9

连通管,10

真空镀膜机的接水盘,11

气管快速接头,12

冷冻头,12a

冷冻头的第一部分,12b

冷冻头的第二部分,13

冷却管。
具体实施方式
[0022]【实施例1】
[0023]如图1~2所示,实施例1公开了一种真空镀膜机的接水盘的具体实施方式,用于接住冷却管外壁的冷凝水。其包括:套设于冷冻机的冷却管的第一环形体1、导流坡2、接水环3和延伸部4;其中,第一环形体1和接水环3通过导流坡2连接,接水环3远离导流坡2的一端设有延伸部4,延伸部4朝向第一环形体1的一侧延伸,如图3所示,延伸部4朝向上侧延伸,延伸部4与导流坡2均为环形体,如图1所示,导流坡2、接水环3 以及延伸部4形成用于接住冷却管上冷凝水的空间。
[0024]如图1所示,导流坡2上设有一导流面,位于第一环形体1的冷凝水通过该导流面流向接水环3。该导流面为弧形面,且朝向延伸部4的一侧突出,在其他具体实施例中,如图3所示,导流面也可以为平面。
[0025]为了避免接水环3上的冷凝水过多溢出,如图1所示,接水环3上开设有排水孔5,冷凝水5可以通过排水孔5排出,该排水孔5内设有内螺纹。
[0026]如图4~5所示,实施例1还公开了一种真空镀膜机的具体实施方式,除了包括前述的真空镀膜机的接水盘10、还包括控制柜6、真空舱7、连通管9、冷冻头12、冷却管 13以及冷冻机8。其中,真空舱7设置于控制柜6上,冷却管13的下端插入控制柜6的内部。冷冻头的第二部分12b(即图5中的冷冻头12下半部分)伸入冷却管13内,冷冻头的第一部分12a(即图5
中的冷冻头12上半部分)与冷冻头的第二部分12b通过螺钉连接,冷却管13与冷冻头的第二部分12b之间形成一个供气体流通的空间,该空间与真空舱7连通。冷冻头12的上端位于该控制柜6外,冷冻头的第二部分12b与冷却管13 的上端通过负压连接。冷冻机8通过连通管9与冷冻头12连通,以达到对冷冻头12进行降温的效果。具体的,连通管9内设有输送冷媒的管道与测温设备,连通管9的一端与冷冻头12连通,连通管9的另外一端与冷冻机8连通。
[0027]如图5所示,真空镀膜机的接水盘10套设于冷却管13的上端,用于接住冷冻头12 与空气接触时产生的冷凝水。冷凝水先流经冷却管13的上端,然后滴落到真空镀膜机的接水盘10上,并最终通过排水孔5流出。
[0028]如图3所示,为了便于搜集排水孔5出来的冷凝水,排水孔5通过其内螺纹与气管快速接头11的外螺纹连接,气管快速接头11远离排水孔5的另一端通过排水管与废液瓶连通,冷凝水流入排水口5后顺着排水管流入废液瓶。
[0029]【实施例本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的接水盘,其特征在于,包括:套设于冷冻机的冷却管的第一环形体、导流坡、接水环和延伸部;所述第一环形体和接水环通过导流坡连接,所述接水环远离所述导流坡的一端设有所述延伸部,所述延伸部朝向第一环形体的一侧延伸,所述延伸部与导流坡均为环形体。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的接水盘,其特征在于:所述导流坡上设有一导流面,位于所述第一环形体的液体通过所述导流面流向所述接水环。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的接水盘,其特征在于:所述导流面为弧形面,且朝向所述延伸部突出。4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的接水盘,其特征在于:所述接水环上开设有排水孔,所述排水孔内设有内螺纹。5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的接水盘,其特征在于:所述接水环的上表面为倾斜...

【专利技术属性】
技术研发人员:张毅平石启明钦晔徐慎豪
申请(专利权)人:苏州凯瑞纳米科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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