一种离子束刻蚀机加工用旋转平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种离子束刻蚀机加工用旋转平台，包括旋转台，所述旋转台底壁内设有传动腔，所述传动腔内设有第一电机，所述第一电机输出轴末端固定连接有第一主动锥形齿轮，所述第一主动锥形齿轮底壁设有凹槽，所述凹槽内转动连接有第二主动锥形齿轮，所述传动腔内设有与第二主动锥形齿轮连接的驱动机构。本实用新型专利技术通过设置直角抵板、弧形抵板、转动机构与传动机构，能分别利用第一电机与第二电机带动第一螺纹杆与第二螺纹杆转动，从而带动多个直角抵板与弧形抵板相互靠近将圆形或者方形待加工物品夹持固定住，能适应多种外形的待加工物品，无需更换旋转台，提高了装置的实用性，降低了企业生产成本。降低了企业生产成本。降低了企业生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种离子束刻蚀机加工用旋转平台


[0001]本技术涉及离子束刻蚀机
，尤其涉及一种离子束刻蚀机加工用旋转平台。

技术介绍

[0002]离子束刻蚀是利用离子束直接轰击工件，将工件上的材料溅射出来，实现材料去除的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程，在各种常规刻蚀方法中具有分辨率较高、陡直性较好的特点。应用于在基板表面抛光或材料的去除，尤其适用于金属材料薄膜的刻蚀。
[0003]离子束刻蚀机上的旋转平台作为重要部件不可缺少，现有的旋转平台虽然功能齐全，但是在夹持性能上较弱，无法适应不同形状的代加工物品进行夹持固定，例如圆形与方形的物品加工需要两种不同的旋转台来配合，导致更换繁琐，企业成本增加。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种离子束刻蚀机加工用旋转平台。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种离子束刻蚀机加工用旋转平台，包括旋转台，所述旋转台底壁内设有传动腔，所述传动腔内设有第一电机，所述第一电机输出轴末端固定连接有第一主动锥本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子束刻蚀机加工用旋转平台，包括旋转台(1)，其特征在于，所述旋转台(1)底壁内设有传动腔(2)，所述传动腔(2)内设有第一电机，所述第一电机输出轴末端固定连接有第一主动锥形齿轮(3)，所述第一主动锥形齿轮(3)底壁设有凹槽，所述凹槽内转动连接有第二主动锥形齿轮(5)，所述传动腔(2)内设有与第二主动锥形齿轮(5)连接的驱动机构，所述旋转台(1)内设有多个第一转槽(8)与第二转槽(14)，多个所述第一转槽(8)内均转动连接有第一螺纹杆(7)，所述第一螺纹杆(7)通过转动机构与第一主动锥形齿轮(3)连接，多个所述第二转槽(14)内均转动连接有第二螺纹杆(15)，所述第二螺纹杆(15)通过传动机构与第二主动锥形齿轮(5)连接，所述旋转台(1)表面设有多个直角抵板(12)与弧形抵板(17)，多个所述直角抵板(12)均通过弹性机构与第一螺纹杆(7)连接，多个所述弧形抵板(17)均通过连接机构与第二螺纹杆(15)连接，所述旋转台(1)下方设有底座(19)，所述旋转台(1)底壁固定有多根支撑杆(20)，多根所述支撑杆(20)末端均与底座(19)上端面滑动杆连接，所述旋转台(1)外壁设有防滑套(21)。2.根据权利要求1所述的一种离子束刻蚀机加工用旋转平台，其特征在于，所述驱动机构包括固定于传动腔(2)内底壁上方的第二电机，所述第二电...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宇亮，
申请(专利权)人：深圳市矢量科学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：