一种金属有机化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道、尾气吸收罐和气密装置，气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，定位圆环与炉体固定连接，并与尾气管道抵接，移动圆环通过移动组件与炉体连接，固定组件分别设置在定位圆环和移动圆环上，在对尾气进行排出至尾气吸收罐内时，通过移动组件将移动圆环朝着定位圆环的方向移动，使得移动圆环与定位圆环抵接，此时移动圆环与定位圆环将尾气管道与炉体的连接处完全包裹住，从而提高尾气管道与炉体之间的气密性，使得未经处理的尾气不会泄露至空气中，对空气起到保护作用。对空气起到保护作用。对空气起到保护作用。

【技术实现步骤摘要】
一种金属有机化学气相沉积设备


[0001]本技术涉及化学气相沉积设备
，尤其涉及一种金属有机化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]化学气相沉积法是制备碳包复合材料的主要方法之一，现有的化学气相沉积炉大多为非连续性的装置，每次升温、沉积结束后，需要降温后重新加料，才能进行下一次的沉积操作，设备稼动率底下，导致生产效率低下。
[0003]现有技术CN209522919U公开一种化学气相沉积炉及化学气相沉积设备，包括炉体、进料口、出料口、进气口、出气口和设置于炉体内部的搅拌结构，使用时，物料进入炉体后在炉体和搅拌结构的带动下在炉腔内反复移动，动态的物料与碳源气体均匀接触，裂解碳在物料表面均匀沉积，实现均匀的碳包覆，并通过设置原料仓和成品仓，使得原料仓和成品仓能够各自独立地密封和拆卸，实现了在沉积反应过程中进行原料装填和成品卸取，避免了重启反应前后进行升降温时间的耗费，提高生产效率，且在炉体靠近成品仓一端设置尾气吸收罐，防止尾气对空气造成污染。
[0004]但是采用上述方式，在对尾气进行排出至尾气吸收罐内时，管道与炉体在长时间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道和尾气吸收罐，所述原料仓与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气管道与所述炉体可拆卸连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气吸收罐与所述尾气管道可拆卸连接，并位于所述尾气管道远离所述炉体一侧，其特征在于，还包括气密装置；所述气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，所述定位圆环与所述炉体固定连接，并与所述尾气管道抵接，所述移动圆环通过所述移动组件与所述炉体连接，所述固定组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上，所述辅助组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上。2.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述移动组件包括移动轨道和凸形滑块，所述移动轨道与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧；所述凸形滑块与所述移动轨道滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雨，张杰，周超前，
申请(专利权)人：深圳市矢量科学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：