一种金属有机化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道、尾气吸收罐和气密装置，气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，定位圆环与炉体固定连接，并与尾气管道抵接，移动圆环通过移动组件与炉体连接，固定组件分别设置在定位圆环和移动圆环上，在对尾气进行排出至尾气吸收罐内时，通过移动组件将移动圆环朝着定位圆环的方向移动，使得移动圆环与定位圆环抵接，此时移动圆环与定位圆环将尾气管道与炉体的连接处完全包裹住，从而提高尾气管道与炉体之间的气密性，使得未经处理的尾气不会泄露至空气中，对空气起到保护作用。对空气起到保护作用。对空气起到保护作用。

【技术实现步骤摘要】
一种金属有机化学气相沉积设备


[0001]本技术涉及化学气相沉积设备
，尤其涉及一种金属有机化学气相沉积设备。

技术介绍

[0002]化学气相沉积法是制备碳包复合材料的主要方法之一，现有的化学气相沉积炉大多为非连续性的装置，每次升温、沉积结束后，需要降温后重新加料，才能进行下一次的沉积操作，设备稼动率底下，导致生产效率低下。
[0003]现有技术CN209522919U公开一种化学气相沉积炉及化学气相沉积设备，包括炉体、进料口、出料口、进气口、出气口和设置于炉体内部的搅拌结构，使用时，物料进入炉体后在炉体和搅拌结构的带动下在炉腔内反复移动，动态的物料与碳源气体均匀接触，裂解碳在物料表面均匀沉积，实现均匀的碳包覆，并通过设置原料仓和成品仓，使得原料仓和成品仓能够各自独立地密封和拆卸，实现了在沉积反应过程中进行原料装填和成品卸取，避免了重启反应前后进行升降温时间的耗费，提高生产效率，且在炉体靠近成品仓一端设置尾气吸收罐，防止尾气对空气造成污染。
[0004]但是采用上述方式，在对尾气进行排出至尾气吸收罐内时，管道与炉体在长时间的使用中，容易降低管道的气密性，导致在对尾气进行净化时尾气排放不够彻底，导致对空气造成污染。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种金属有机化学气相沉积设备，能够使得在对尾气进行排出至尾气吸收罐内时，提高管道与炉体之间的气密性，使得未经处理的尾气不会泄露至空气中，对空气起到保护作用。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道和尾气吸收罐，所述原料仓与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气管道与所述炉体可拆卸连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气吸收罐与所述尾气管道可拆卸连接，并位于所述尾气管道远离所述炉体一侧，还包括气密装置；
[0007]所述气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，所述定位圆环与所述炉体固定连接，并与所述尾气管道抵接，所述移动圆环通过所述移动组件与所述炉体连接，所述固定组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上，所述辅助组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上。
[0008]其中，所述移动组件包括移动轨道和凸形滑块，所述移动轨道与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧；所述凸形滑块与所述移动轨道滑动连接，并与所述移动圆环固定连接。
[0009]其中，所述固定组件包括定位板、抵接板和锁紧构件，所述定位板与所述定位圆环固定连接，并位于所述定位圆环一侧；所述抵接板与所述移动圆环固定连接，并位于所述移
动圆环一侧。
[0010]其中，所述锁紧构件包括螺纹杆和锁紧螺母，所述螺纹杆与所述定位板固定连接，并与所述抵接板滑动连接；所述锁紧螺母与所述螺纹杆螺纹连接，并与所述抵接板抵接。
[0011]其中，所述辅助组件包括第一密封垫和第二密封垫，所述第一密封垫与所述定位圆环固定连接，并位于所述定位圆环靠近所述尾气管道一侧；所述第二密封垫与所述移动圆环固定连接，并位于所述移动圆环靠近所述尾气管道一侧。
[0012]本技术的一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道、尾气吸收罐和气密装置，所述气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，在对尾气进行排出至所述尾气吸收罐内时，通过所述移动组件将所述移动圆环朝着所述定位圆环的方向移动，使得所述移动圆环与所述定位圆环抵接，此时所述移动圆环与所述定位圆环将所述尾气管道与所述炉体的连接处完全包裹住，并在所述固定组件的作用下使得所述移动圆环与所述定位圆环此时保持稳定状态，从而提高所述尾气管道与所述炉体之间的气密性，使得未经处理的尾气不会泄露至空气中，对空气起到保护作用。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0014]图1是本技术第一实施例的金属有机化学气相沉积设备的整体结构示意图。
[0015]图2是本技术第一实施例的气密装置的结构示意图。
[0016]图3是本技术第一实施例的锁紧构件的结构示意图。
[0017]图4是本技术第二实施例的辅助组件的结构示意图。
[0018]图中：101
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炉体、102
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原料仓、103
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尾气管道、104
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尾气吸收罐、105
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定位圆环、106
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移动圆环、107
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移动轨道、108
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凸形滑块、109
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定位板、110
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抵接板、111
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螺纹杆、112
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锁紧螺母、201
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第一密封垫、202
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第二密封垫。
具体实施方式
[0019]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0020]本申请的第一实施例为：
[0021]请参阅图1至图3，其中图1是金属有机化学气相沉积设备的整体结构示意图，图2是气密装置的结构示意图，图3是锁紧构件的结构示意图。本技术提供一种金属有机化学气相沉积设备：包括炉体101、原料仓102、尾气管道103、尾气吸收罐104和气密装置，所述气密装置包括定位圆环105、移动圆环106、移动组件、固定组件和辅助组件，所述移动组件包括移动轨道107和凸形滑块108，所述固定组件包括定位板109、抵接板110和锁紧构件，所述锁紧构件包括螺纹杆111和锁紧螺母112。通过前述方案解决了在对尾气进行排出至所述尾气吸收罐104内时，所述尾气管道103与所述炉体101在长时间的使用中，容易降低所述尾气管道103的气密性，导致在对尾气进行净化时尾气排放不够彻底，导致对空气造成污染，可以理解的是，前述方案可以用于在对尾气进行排出至所述尾气吸收罐104内时，提高所述
尾气管道103与所述炉体101之间的气密性，使得未经处理的尾气不会泄露至空气中，对空气起到保护作用，还可以用在对所述尾气管道103起到一定的保护作用。
[0022]针对本具体实施方式，所述原料仓102与所述炉体101固定连接，并位于所述炉体101一侧，所述尾气管道103与所述炉体101可拆卸连接，并位于所述炉体101一侧，所述尾气吸收罐104与所述尾气管道103可拆卸连接，并位于所述尾气管道103远离所述炉体101一侧，所述炉体101上设置所述原料仓102，用于对原料进行加入，所述炉体101上还设置进气口，用于对气体的加入，所述炉体101内设置搅拌结构，所述炉体101的两端设有开口，这两个开口可设置成与所述炉体101一体成型的两个管路，两个管路可通过进气管和储气罐分别与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道和尾气吸收罐，所述原料仓与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气管道与所述炉体可拆卸连接，并位于所述炉体一侧，所述尾气吸收罐与所述尾气管道可拆卸连接，并位于所述尾气管道远离所述炉体一侧，其特征在于，还包括气密装置；所述气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，所述定位圆环与所述炉体固定连接，并与所述尾气管道抵接，所述移动圆环通过所述移动组件与所述炉体连接，所述固定组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上，所述辅助组件分别设置在所述定位圆环和所述移动圆环上。2.如权利要求1所述的金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述移动组件包括移动轨道和凸形滑块，所述移动轨道与所述炉体固定连接，并位于所述炉体一侧；所述凸形滑块与所述移动轨道滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：王雨，张杰，周超前，
申请(专利权)人：深圳市矢量科学仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：