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本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积设备，包括炉体、原料仓、尾气管道、尾气吸收罐和气密装置，气密装置包括定位圆环、移动圆环、移动组件、固定组件和辅助组件，定位圆环与炉体固定连接，并与尾气管道抵接，移动圆环...
该专利属于深圳市矢量科学仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市矢量科学仪器有限公司授权不得商用。

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