【技术实现步骤摘要】
一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉
[0001]本技术涉及拉晶炉
,具体为一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉。
技术介绍
[0002]拉晶炉是晶体硅生长设备的一种,主要由用于生产合成硅材料的机械炉室、电器控制柜和主要的石墨热场系统等构成;其主要运行原理是通过石墨热场在机械炉室内把硅料熔化成液态,在电器控制柜的自动控制下在主炉室内合成制备凝结成单晶硅棒。
[0003]在拉晶炉对单晶硅棒制作的过程中,会产生大量的灰尘,并且其产生的粉尘在未具有一定的扩散性,在未对粉尘进行防护和集中处理的拉晶炉中扩散,从而导致在对拉晶炉进行操作时,会吸入粉尘进入身体中,对于人体有着巨大的损伤。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,能够有效的防止拉晶炉内部粉尘的扩散,并将粉尘进行集中,方便对粉尘进行处理,可以解决现有技术中的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体和控制阀,所述拉晶炉本体的顶部设有控制阀; />[0006]所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体(1)和控制阀(2),其特征在于:所述拉晶炉本体(1)的顶部设有控制阀(2);所述拉晶炉本体(1)包括外置炉框(11)、内置框体(12)、驱动电机(13)、吸风扇叶(14)、吸尘板(15)、防尘网(16)、集尘箱(17)和活动门(18),所述外置炉框(11)的内部设有内置框体(12),所述内置框体(12)的内部设有驱动电机(13),所述驱动电机(13)的顶端连接有吸风扇叶(14),所述吸风扇叶(14)的上方设有吸尘板(15),所述吸风扇叶(14)的一侧设有防尘网(16),所述防尘网(16)远离吸风扇叶(14)的一侧设有集尘箱(17),所述集尘箱(17)的外侧设有活动门(18)。2.根据权利要求1所述的一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,其特征在于:所述吸尘板(15)包括内置板体(151)、对接外框(152)和集尘槽(153),所述内置板体(151)的外侧固定连接有对接外框(152),所述对接外框(152)与内置框体(12)之间固定连接,所述内置板体(...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴帅波,韩春霞,
申请(专利权)人:河北烁光晶体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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