一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉制造技术

技术编号:31415451 阅读:55 留言:0更新日期:2021-12-15 15:16
本实用新型专利技术公开了一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体和控制阀。本实用新型专利技术具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,拉晶炉内部的粉尘下落,经驱动电机对吸风扇叶进行驱动后,粉尘被吸风扇叶产生的吸力所吸引,粉尘穿过集尘槽后进入到内置框体的内部,内置框体内的粉尘在被内置框体和防尘网的阻拦后,在转动的过程中通过集尘口进入到箱体中,粉尘被隔尘网所阻拦后落在箱体的底部,拉动活动门后,转动箱体使限位板从通槽中移出,将箱体从外置炉框内取出清理,该结构能够有效的防止拉晶炉内部粉尘的扩散,并将粉尘进行集中,方便对粉尘进行处理。尘进行处理。尘进行处理。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉


[0001]本技术涉及拉晶炉
,具体为一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉。

技术介绍

[0002]拉晶炉是晶体硅生长设备的一种,主要由用于生产合成硅材料的机械炉室、电器控制柜和主要的石墨热场系统等构成;其主要运行原理是通过石墨热场在机械炉室内把硅料熔化成液态,在电器控制柜的自动控制下在主炉室内合成制备凝结成单晶硅棒。
[0003]在拉晶炉对单晶硅棒制作的过程中,会产生大量的灰尘,并且其产生的粉尘在未具有一定的扩散性,在未对粉尘进行防护和集中处理的拉晶炉中扩散,从而导致在对拉晶炉进行操作时,会吸入粉尘进入身体中,对于人体有着巨大的损伤。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,能够有效的防止拉晶炉内部粉尘的扩散,并将粉尘进行集中,方便对粉尘进行处理,可以解决现有技术中的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体和控制阀,所述拉晶炉本体的顶部设有控制阀;
[0006]所述拉晶炉本体包括外置炉框、内置框体、驱动电机、吸风扇叶、吸尘板、防尘网、集尘箱和活动门,所述外置炉框的内部设有内置框体,所述内置框体的内部设有驱动电机,所述驱动电机的顶端连接有吸风扇叶。所述吸风扇叶的上方设有吸尘板,所述吸风扇叶的一侧设有防尘网,所述防尘网远离吸风扇叶的一侧设有集尘箱,所述集尘箱的外侧设有活动门。
[0007]优选的,所述吸尘板包括内置板体、对接外框和集尘槽,所述内置板体的外侧固定连接有对接外框,所述对接外框与内置框体之间固定连接,所述内置板体的内部开设有集尘槽。
[0008]优选的,所述集尘箱包括箱体、隔尘网、通槽、连接柱、限位板和集尘口,所述箱体的内部设有隔尘网,所述隔尘网上方的箱体上开设有通槽,所述通槽的内部设有连接柱,所述连接柱的顶端固定安装在内置框体上,所述连接柱的底端固定连接有限位板,所述箱体的一侧开设有集尘口。
[0009]优选的,所述防尘网的一端固定安装在内置板体上,防尘网的另一端固定连接在集尘口上。
[0010]优选的,所述活动门通过铰链活动安装在外置炉框上,活动门的高度不低于箱体的高度。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果如下:
[0012]本技术具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,拉晶炉内部的粉尘下落,经驱动电机对吸风扇叶进行驱动后,粉尘被吸风扇叶产生的吸力所吸引,粉尘穿过集尘槽后进入到
内置框体的内部,内置框体内的粉尘在被内置框体和防尘网的阻拦后,在转动的过程中通过集尘口进入到箱体中,粉尘被隔尘网所阻拦后落在箱体的底部,拉动活动门后,转动箱体使限位板从通槽中移出,将箱体从外置炉框内取出清理,该结构能够有效的防止拉晶炉内部粉尘的扩散,并将粉尘进行集中,方便对粉尘进行处理。
附图说明
[0013]图1为本技术的正视图;
[0014]图2为本技术拉晶炉本体的局部剖视图;
[0015]图3为本技术吸尘板的俯视图;
[0016]图4为本技术集尘箱的剖视图。
[0017]图中:1、拉晶炉本体;11、外置炉框;12、内置框体;13、驱动电机;14、吸风扇叶;15、吸尘板;151、内置板体;152、对接外框;153、集尘槽;16、防尘网;17、集尘箱;171、箱体;172、隔尘网;173、通槽;174、连接柱;175、限位板;176、集尘口;18、活动门;2、控制阀。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1

3,一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体1和控制阀2,拉晶炉本体1的顶部设有控制阀2,拉晶炉本体1包括外置炉框11、内置框体12、驱动电机13、吸风扇叶14、吸尘板15、防尘网16、集尘箱17和活动门18,外置炉框11的内部设有内置框体12,内置框体12的内部设有驱动电机13,驱动电机13的顶端连接有吸风扇叶14。吸风扇叶14的上方设有吸尘板15,吸风扇叶14的一侧设有防尘网16,防尘网16远离吸风扇叶14的一侧设有集尘箱17,集尘箱17的外侧设有活动门18,活动门18通过铰链活动安装在外置炉框11上,活动门18的高度不低于箱体171的高度,吸尘板15包括内置板体151、对接外框152和集尘槽153,内置板体151的外侧固定连接有对接外框152,对接外框152与内置框体12之间固定连接,内置板体151的内部开设有集尘槽153,拉晶炉内部的粉尘下落,经驱动电机13对吸风扇叶14进行驱动后,粉尘被吸风扇叶14产生的吸力所吸引,粉尘穿过集尘槽153后进入到内置框体12的内部,内置框体12内的粉尘在被内置框体12和防尘网16的阻拦后,在转动的过程中通过集尘口176进入到箱体171中。
[0020]请参阅图4,集尘箱17包括箱体171、隔尘网172、通槽173、连接柱174、限位板175和集尘口176,箱体171的内部设有隔尘网172,隔尘网172上方的箱体171上开设有通槽173,通槽173的内部设有连接柱174,连接柱174的顶端固定安装在内置框体12上,连接柱174的底端固定连接有限位板175,箱体171的一侧开设有集尘口176,防尘网16的一端固定安装在内置板体151上,防尘网16的另一端固定连接在集尘口176上,粉尘被隔尘网172所阻拦后落在箱体171的底部,拉动活动门18后,转动箱体171使限位板175从通槽173中移出,将箱体171从外置炉框11内取出清理。
[0021]工作原理:拉晶炉内部的粉尘下落,经驱动电机13对吸风扇叶14进行驱动后,粉尘
被吸风扇叶14产生的吸力所吸引,粉尘穿过集尘槽153后进入到内置框体12的内部,内置框体12内的粉尘在被内置框体12和防尘网16的阻拦后,在转动的过程中通过集尘口176进入到箱体171中,粉尘被隔尘网172所阻拦后落在箱体171的底部,拉动活动门18后,转动箱体171使限位板175从通槽173中移出,将箱体171从外置炉框11内取出清理。
[0022]综上所述:本技术具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,拉晶炉内部的粉尘下落,经驱动电机13对吸风扇叶14进行驱动后,粉尘被吸风扇叶14产生的吸力所吸引,粉尘穿过集尘槽153后进入到内置框体12的内部,内置框体12内的粉尘在被内置框体12和防尘网16的阻拦后,在转动的过程中通过集尘口176进入到箱体171中,粉尘被隔尘网172所阻拦后落在箱体171的底部,拉动活动门18后,转动箱体171使限位板175从通槽173中移出,将箱体171从外置炉框11内取出清理,该结构能够有效的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体(1)和控制阀(2),其特征在于:所述拉晶炉本体(1)的顶部设有控制阀(2);所述拉晶炉本体(1)包括外置炉框(11)、内置框体(12)、驱动电机(13)、吸风扇叶(14)、吸尘板(15)、防尘网(16)、集尘箱(17)和活动门(18),所述外置炉框(11)的内部设有内置框体(12),所述内置框体(12)的内部设有驱动电机(13),所述驱动电机(13)的顶端连接有吸风扇叶(14),所述吸风扇叶(14)的上方设有吸尘板(15),所述吸风扇叶(14)的一侧设有防尘网(16),所述防尘网(16)远离吸风扇叶(14)的一侧设有集尘箱(17),所述集尘箱(17)的外侧设有活动门(18)。2.根据权利要求1所述的一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,其特征在于:所述吸尘板(15)包括内置板体(151)、对接外框(152)和集尘槽(153),所述内置板体(151)的外侧固定连接有对接外框(152),所述对接外框(152)与内置框体(12)之间固定连接,所述内置板体(...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴帅波韩春霞
申请(专利权)人:河北烁光晶体有限公司
类型:新型
国别省市:

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