一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉制造技术

技术编号:31415451 阅读:71 留言:0更新日期:2021-12-15 15:16
本实用新型专利技术公开了一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体和控制阀。本实用新型专利技术具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,拉晶炉内部的粉尘下落,经驱动电机对吸风扇叶进行驱动后,粉尘被吸风扇叶产生的吸力所吸引,粉尘穿过集尘槽后进入到内置框体的内部,内置框体内的粉尘在被内置框体和防尘网的阻拦后,在转动的过程中通过集尘口进入到箱体中,粉尘被隔尘网所阻拦后落在箱体的底部,拉动活动门后,转动箱体使限位板从通槽中移出,将箱体从外置炉框内取出清理,该结构能够有效的防止拉晶炉内部粉尘的扩散,并将粉尘进行集中,方便对粉尘进行处理。尘进行处理。尘进行处理。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉


[0001]本技术涉及拉晶炉
,具体为一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉。

技术介绍

[0002]拉晶炉是晶体硅生长设备的一种,主要由用于生产合成硅材料的机械炉室、电器控制柜和主要的石墨热场系统等构成;其主要运行原理是通过石墨热场在机械炉室内把硅料熔化成液态,在电器控制柜的自动控制下在主炉室内合成制备凝结成单晶硅棒。
[0003]在拉晶炉对单晶硅棒制作的过程中,会产生大量的灰尘,并且其产生的粉尘在未具有一定的扩散性,在未对粉尘进行防护和集中处理的拉晶炉中扩散,从而导致在对拉晶炉进行操作时,会吸入粉尘进入身体中,对于人体有着巨大的损伤。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,能够有效的防止拉晶炉内部粉尘的扩散,并将粉尘进行集中,方便对粉尘进行处理,可以解决现有技术中的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体和控制阀,所述拉晶炉本体的顶部设有控制阀;/>[0006]所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,包括拉晶炉本体(1)和控制阀(2),其特征在于:所述拉晶炉本体(1)的顶部设有控制阀(2);所述拉晶炉本体(1)包括外置炉框(11)、内置框体(12)、驱动电机(13)、吸风扇叶(14)、吸尘板(15)、防尘网(16)、集尘箱(17)和活动门(18),所述外置炉框(11)的内部设有内置框体(12),所述内置框体(12)的内部设有驱动电机(13),所述驱动电机(13)的顶端连接有吸风扇叶(14),所述吸风扇叶(14)的上方设有吸尘板(15),所述吸风扇叶(14)的一侧设有防尘网(16),所述防尘网(16)远离吸风扇叶(14)的一侧设有集尘箱(17),所述集尘箱(17)的外侧设有活动门(18)。2.根据权利要求1所述的一种具有防尘结构的光学晶体拉晶炉,其特征在于:所述吸尘板(15)包括内置板体(151)、对接外框(152)和集尘槽(153),所述内置板体(151)的外侧固定连接有对接外框(152),所述对接外框(152)与内置框体(12)之间固定连接,所述内置板体(...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴帅波韩春霞
申请(专利权)人:河北烁光晶体有限公司
类型:新型
国别省市:

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