一种用于单晶熔炉的高效保温板材制造技术

技术编号:31400259 阅读:19 留言:0更新日期:2021-12-15 14:45
本实用新型专利技术提供一种用于单晶熔炉的高效保温板材,涉及单晶熔炉保温材料领域,本实用新型专利技术包括石墨护板、固化保温外壳、侧管、振动件、中轴管和石英砂;固化保温外壳内以环形布置于固化保温外壳的下底处设有多个侧管,用于排气或插入电极,固化保温外壳处环壁至侧管间形成间隔;侧管至固化保温外壳环壁处所形成的间隔内设有振动件,振动件于固化保温外壳下底处贯穿,并与侧管外壁相接触;固化保温外壳内侧于芯部设有中轴管,中轴管于固化保温外壳下底处相接,用于插入中轴;石英砂间孔隙,可大幅度降低热量至介质内的传递速率,其二,石墨护板具有良好的保温效果,其次是降低热量对固化保温外壳的热损现象,以延长整体板体的使用寿命。命。命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶熔炉的高效保温板材


[0001]本技术涉及单晶熔炉保温材料领域,尤其涉及一种用于单晶熔炉的高效保温板材。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]多晶材料熔化中,炉体要维持一个相对稳定温度,即,通过持续加热以及高效保温措施,以缓释炉体所外散的热量,然而目前单晶炉所采用的保温手段多通过贴附保温板来降低热量损耗,但基于实际使用效果来看,整体保温效果一般,加热所需的能耗大,使用效果不理想。
[0004]遂基于单晶炉使用中所存在的使用局限,需求一种高效保温板材,来维持炉内温度,降低加热能耗需求。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于单晶熔炉的高效保温板材,以解决上述技术问题。
[0006]本技术为解决上述技术问题,采用以下技术方案来实现:
[0007]一种用于单晶熔炉的高效保温板材,其特征在于:包括石墨护板、固化保温外壳、侧管、振动件、中轴管和石英砂;
[0008]所述固化保温外壳内以环形布置于固化保温外壳的下底处设有多个侧管,用于排气或插入电极,所述固化保温外壳处环壁至侧管间形成间隔;
[0009]所述侧管至固化保温外壳环壁处所形成的间隔内设有振动件,振动件于固化保温外壳下底处贯穿,并与侧管外壁相接触;
[0010]所述固化保温外壳内侧于芯部设有中轴管,中轴管于固化保温外壳下底处相接,用于插入中轴;
[0011]所述固化保温外壳内填充有石英砂,固化保温外壳顶部设有石墨护板,石墨护板嵌入固化保温外壳顶部,用于密封固化保温外壳内填充的石英砂。
[0012]优选的,所述石墨护板处设有与侧管和中轴管相匹配的通孔。
[0013]优选的,所述侧管和中轴管的高度未超过固化保温外壳内深度。
[0014]优选的,所述振动件包括振动环,振动环置于固化保温外壳内,其环形内壁同多个侧管外壁相接触,所述振动环底部以对称布置设有两个套座,套座内套接固定有戳杆,戳杆贯穿固化保温外壳底部并向外伸出。
[0015]本技术的有益效果是:
[0016]1、本技术通过将石英砂填充至固化保温外壳内,在加以石墨护板进行密封,其一,石英砂间孔隙,可大幅度降低热量至介质内的传递速率,其二,石墨护板具有良好的
保温效果,其次是降低热量对固化保温外壳的热损现象,以延长整体板体的使用寿命。
[0017]2、本技术为了避免石英砂于固化保温外壳内板结,所导致的保温性能下降问题,通过设置振动件于固化保温外壳内,以在敲击外伸的戳杆时,通过振动环直接将振动作用至石英砂以及侧管处,以达到基于振动对石英砂内板结块进行击散的处理效果。
附图说明
[0018]图1为本技术一种用于单晶熔炉的高效保温板材的结构示意图;
[0019]图2为本技术中未装填石英砂的固化保温外壳结构示意图;
[0020]图3为本技术中固化保温外壳的结构示意图;
[0021]图4为本技术中容纳石英砂后的固化保温外壳结构示意图;
[0022]图5为本技术中振动件的结构示意图;
[0023]图6为本技术的侧剖结构示意图;
[0024]图7为本技术的俯视结构示意图;
[0025]附图标记:1、石墨护板;2、固化保温外壳;3、侧管;4、振动件;5、中轴管;6、石英砂;41、戳杆;42、套座;43、振动环。
具体实施方式
[0026]为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例和附图,进一步阐述本技术,但下述实施例仅仅为本技术的优选实施例,并非全部。基于实施方式中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例,都属于本技术的保护范围。
[0027]下面结合附图描述本技术的具体实施例。
[0028]实施例1
[0029]如图1

7所示,一种用于单晶熔炉的高效保温板材,包括石墨护板1、固化保温外壳2、侧管3、振动件4、中轴管5和石英砂6。
[0030]固化保温外壳2内以环形布置于固化保温外壳2的下底处设有多个侧管3,用于排气或插入电极,固化保温外壳2处环壁至侧管3间形成间隔。
[0031]侧管3至固化保温外壳2环壁处所形成的间隔内设有振动件4,振动件4于固化保温外壳2下底处贯穿,并与侧管3外壁相接触。
[0032]固化保温外壳2内侧于芯部设有中轴管5,中轴管5于固化保温外壳2下底处相接,用于插入中轴。
[0033]固化保温外壳2内填充有石英砂6,固化保温外壳2顶部设有石墨护板1,石墨护板1嵌入固化保温外壳2顶部,用于密封固化保温外壳2内填充的石英砂6,其中石墨护板1处设有与侧管3和中轴管5相匹配的通孔。
[0034]本实施例中,通过将石英砂6填充至固化保温外壳2内,在加以石墨护板1进行密封,其一,石英砂6间孔隙,可大幅度降低热量至介质内的传递速率,其二,石墨护板1具有良好的保温效果,其次是降低热量对固化保温外壳2的热损现象,以延长整体板体的使用寿命。
[0035]实施例2
[0036]如图1

7所示,一种用于单晶熔炉的高效保温板材,振动件4包括振动环43,振动环43置于固化保温外壳2内,其环形内壁同多个侧管3外壁相接触,振动环43底部以对称布置设有两个套座42,套座42内套接固定有戳杆41,戳杆41贯穿固化保温外壳2底部并向外伸出。
[0037]本实施例中,为了避免石英砂6于固化保温外壳2内板结,所导致的保温性能下降问题,通过设置振动件4于固化保温外壳2内,以在敲击外伸的戳杆41时,通过振动环43直接将振动作用至石英砂6以及侧管3处,以达到基于振动对石英砂6内板结块进行击散的处理效果。
[0038]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0039]以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的仅为本技术的优选例,并不用来限制本技术,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶熔炉的高效保温板材,其特征在于:包括石墨护板(1)、固化保温外壳(2)、侧管(3)、振动件(4)、中轴管(5)和石英砂(6);所述固化保温外壳(2)内以环形布置于固化保温外壳(2)的下底处设有多个侧管(3),用于排气或插入电极,所述固化保温外壳(2)处环壁至侧管(3)间形成间隔;所述侧管(3)至固化保温外壳(2)环壁处所形成的间隔内设有振动件(4),振动件(4)于固化保温外壳(2)下底处贯穿,并与侧管(3)外壁相接触;所述固化保温外壳(2)内侧于芯部设有中轴管(5),中轴管(5)于固化保温外壳(2)下底处相接,用于插入中轴;所述固化保温外壳(2)内填充有石英砂(6),固化保温外壳(2)顶部设有石墨护板(1),石墨护板(1)嵌入固化保温外壳...

【专利技术属性】
技术研发人员:周瑶王思林王昱
申请(专利权)人:安徽昱搏新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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