【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用可调节式节能电极
[0001]本技术涉及单晶炉用电极配件领域,尤其涉及一种单晶炉用可调节式节能电极。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]以往,单晶炉所配置的电极多为不可调节的金属器件,其在使用期间通过与适配的单晶炉相结合,以起到支撑加热器,传导电流作用,但综合目前单晶炉整个市场来看,单晶炉的形态各异,即,不同单晶炉间因尺寸不一,热场往往是不一致的,遂,需配置不同高度的电极,以适应加热所需。并且电极多为金属等易导热器件所制成,其在使用过程中,易作为导热载体将炉内热量向外导出,进而引发炉内温度失衡,且在解决温度失衡中,向炉内持续供电加热,所导致的能耗上升问题。
[0004]针对该问题,迫切需求一种可调节高度的电极满足不同尺寸热场的使用需求,提高统一性,同时该新电极可提高电极保温性降低拉晶电耗。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种单晶炉用可调节式节能电极,以解决上述技术问题。r/>[0006]本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用可调节式节能电极,其特征在于:包括电极环(1)、固毡隔热筒(2)、石墨电极底座(3)、电极螺栓(4)、石英砂(5)和炉底电极螺栓孔(6);所述石墨电极底座(3)置于炉底处,其顶部设有电极螺栓(4),电极螺栓(4)同石墨电极底座(3)相垂向连接,以形成T型结构;所述石墨电极底座(3)上方还设有固毡隔热筒(2),固毡隔热筒(2)螺纹套接至电极螺栓(4)处,用于调节固毡隔热筒(2)至石墨电极底座(3)的间隔间距;所述固毡隔热筒(2)同电极螺栓(4)之间形成环形空腔,空腔内设有电极环(1),电极环(1)套于电极螺栓(4)处,用于传导电流;所述电极环(1)下方于环形空腔内装填有石英砂(5),石英砂(5)同电极环(1)相接触,以在增...
【专利技术属性】
技术研发人员:周瑶,王思林,王昱,
申请(专利权)人:安徽昱搏新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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