反应室以及炉管设备制造技术

本实用新型专利技术公开了反应室以及炉管设备，其中，反应室，包括：炉体，设置有沿轴向贯通的第一腔体；第一炉管，容置在所述第一腔体内，所述第一炉管的材质为不锈钢材质，所述第一炉管设置有沿轴向贯通的第二腔体；支撑部，至少包括两个，分别设置在所述第一炉管的轴向的两端，并支撑所述第一炉管；盖部，设置在所述第一炉管的轴向的一端，封堵所述第二腔体；门部，设置在所述第一炉管的轴向的另一端，封堵所述第二腔体或者使所述第二腔体被打开。根据本实用新型专利技术的反应室，能够大大降低炉管加工和维护的成本，进而降低反应室的成本。进而降低反应室的成本。进而降低反应室的成本。

【技术实现步骤摘要】
反应室以及炉管设备


[0001]本技术涉及但不限于光伏电池制造
，尤其涉及反应室以及炉管设备。

技术介绍

[0002]光伏发电普遍被认为是一种极具发展前景的产业。太阳能光伏电池(以下简称光伏电池)是一种将太阳能转化为电能的电池，是光伏发电的核心部件之一。在光伏电池的制造过程中，炉管设备是核心设备之一。炉管设备包括扩散炉、氧化炉、退火炉、 PECVD以及LPCVD等，广泛作为光伏电池的扩散、氧化、退火以及沉积等制程的反应室而使用。
[0003]已知的炉管设备的反应室普遍采用石英管，原因在于石英具有极佳的耐高温强度、热膨胀系数小以及耐腐蚀性等优点。但是石英管同样存在一些问题，例如，石英管价格高但是寿命短，且由于石英管具有脆性特征，破损后难以修复，即使可修复，成本也非常高昂。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决已知技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种反应室，能够大大降低成本。此外，本技术还提出了具有该反应室的炉管设备。
[0005]根据本技术第一方面实施例的反应室，包括：炉体，设置有沿轴向贯通的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.反应室，其特征在于，包括：炉体，设置有沿轴向贯通的第一腔体；第一炉管，容置在所述第一腔体内，所述第一炉管的材质为不锈钢材质，所述第一炉管设置有沿轴向贯通的第二腔体；支撑部，至少包括两个，分别设置在所述第一炉管的轴向的两端，并支撑所述第一炉管；盖部，设置在所述第一炉管的轴向的一端，封堵所述第二腔体；门部，设置在所述第一炉管的轴向的另一端，封堵所述第二腔体或者使所述第二腔体被打开。2.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，所述第一炉管的材质为304号不锈钢、309号不锈钢、309S号不锈钢、309L号不锈钢、310号不锈钢、310S号不锈钢、310L号不锈钢或者316L号不锈钢。3.根据权利要求1或2所述的反应室，其特征在于，所述第一炉管的壁厚为0.8mm至6mm。4.根据权利要求1或2所述的反应室，其特征在于，所述第一炉管的横截面呈圆形状或者矩形状。5.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，还包括管路部，所述管路部经由所述盖部，伸进所述第二腔体内。6.根据权利要求5所述的反应室，其特征在于，所述管路部包括多根管件，所述管件的材料为石英材料或者不...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，李国庆，李锐，罗伟斌，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：