空气环境控制系统技术方案

本申请提供一种空气环境控制系统，其设置于一壳体的一内侧，并接收一流体，该空气环境控制系统其是利用一第一过滤组件以及一水洗组件过滤流经的该流体，减少其中的微粒含量，以一第一温控组件控制该流体的温度，以一除湿组件减少该流体水气含量，以此系统减少空气中的微粒，且同时控制其温度、湿度，并以一送风组件抽送该流体，使其于该空气环境控制系统内的各通道流动，利用此系统控制环境的空气变化。利用此系统控制环境的空气变化。利用此系统控制环境的空气变化。

【技术实现步骤摘要】
空气环境控制系统


[0001]本申请是关于一种空气环境控制系统，尤其是指一种用于控制工厂内部空气环境的系统。

技术介绍

[0002]随着时代的发展，如今生活中的科技装置几乎均以半导体芯片为基础，通过可编辑应用程控，执行多样化的功能。半导体的应用层面遍及智能型手机、汽车、网络、云端数据、工业自动化、智能家庭与各式消费性电子产品，产业端对于半导体关键技术发展与零组件供应的需求与日俱增，带动整体潜在市场稳定扩张。
[0003]又随着各领域芯片的推陈出新，使半导体导线的线径逐渐缩小，工厂内部空气微粒所造成的影响也越来越大，因此气态分子污染物(AMC)的管制及监控方式逐渐受到重视。
[0004]在常温常压下以气态型式存在空气中，其含量虽未造成人身伤害，但对产品足以造成影响的微量污染物，称为气态分子污染物(AMC)。AMC依其性质，可分为以下几类。
[0005]1.MA，分子酸(acid)：腐蚀性物质，具有电子接受者的化学反应特性。如：HF、H2SO4、HCl、HNO3、H3PO4、HBO3。
[0006]2.MB，分子碱(base)：腐蚀性物质，具有电子提供者的化学反应特性。如ammonia、tetramethylammonium hydroxide(TMAH)、trimethylamine、triethylamine、trimethyldisilazane、hexamethyldisilazane(HMDS)、1
‑
methyl
‑2‑
pyrrolidone(NMP)、cyclohexylamine、diethylaminoethanol、methylamine、dimethylamine、ethanolamine。
[0007]3.MC，凝结物(condensable)：除水之外的物质，在大气压下沸点大于室温，具有凝结在干净表面能力者。如：silicone(沸点>150℃)、hydrocarbon(沸点>150℃)。
[0008]4.MD，掺杂物(dopant)：为一种化学元素、可以改变半导体物质的电性者。如：boron、phosphorous。
[0009]5.MM，金属污染物(metal)：由于铜制程的导入量产，以及有机金属前驱物(organometallic precursor)的使用，以气态型式存在或粒径小于高效率空气微粒(high efficiency particulate air,HEPA)滤网可捕捉范围的金属化合物亦可能成为污染物，因此被视为第5类AMC而受重视。
[0010]为了避免产品的电性受到影响，半导体及晶圆制造的过程均置于严格管控的环境，亦即无尘室或称洁净室(cleanroom)内；过去的无尘室空气质量控制，主要着重在微粒、气流及温湿度；然而近年来半导体业界已开始重新思考所谓无尘室的定义；随着半导体导线线径的缩小，静电破坏及气态分子污染物的影响日益明显，因此产业界需要一种能稳定控制工厂空气环境的系统、设备，以进一步减少空气微粒所产生的不良品。
[0011]有鉴于上述现有技术的问题，本申请提供一种空气环境控制系统，其是利用过滤组件、温控组件、水洗组件、除湿组件以及送风组件控制空气环境，利用过滤组件以及水洗组件过滤空气中的微粒，并以温控组件控制流经系统的空气的温度，再以除湿组件控制空气中的水气含量，以此系统减少空气中的微粒，且同时控制其温度、湿度。

技术实现思路

[0012]本申请所要解决的技术问题在于提供一种空气环境控制系统，其是利用过滤组件、温控组件、水洗组件、除湿组件以及送风组件，控制空气环境的微粒含量、温度以及湿度，利用过滤组件以及水洗组件过滤空气中的微粒，并以温控组件控制流经系统的空气的温度，再以除湿组件控制空气中的水气含量，通过此系统控制空气环境。
[0013]为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种空气环境控制系统，其设置于一壳体的一内侧，该壳体的二端各别设置一入气口以及一出气口，该入气口接收一流体，该空气环境控制系统包含：一第一过滤组件、一第一温控组件、一水洗组件、一除湿组件以及一送风组件，该第一过滤组件包含一第一过滤通道以及一第一过滤件，该第一过滤通道的一端连通该入气口，该第一过滤件设置于该第一过滤通道的一内侧，该第一过滤件过滤通过该第一过滤通道的该流体，该第一温控组件包含一第一通道，该第一通道的一端连通该第一过滤通道的另一端，该第一温控组件是用于控制通过该第一通道的该流体的温度，该水洗组件包含一第二通道，该第二通道的一端连通该第一通道的另一端，该水洗组件对通过该第二通道的该流体喷洒一液体，该除湿组件包含一第三通道，该第三通道的一端连通该第二通道的另一端，该除湿组件是用于对通过该第三通道的该流体除湿，该送风组件包含一第五通道，该第五通道的一端连通该第三通道的另一端，该第五通道的另一端连通该出气口，该送风组件是用于输送通过该第五通道的该流体。
[0014]本申请的一实施例中，其中该第一温控组件更包含一第一热交换装置以及一第一温度感测组件，该第一热交换装置以及该第一温度感测组件依序设置于该第一通道的一内侧。
[0015]本申请的一实施例中，其中该水洗组件更包含一洒水装置以及一排水装置，该洒水装置设置于该第二通道的一内侧，并喷洒该液体至该第二通道，该排水装置设置于该洒水装置的一下方，并接收该液体。
[0016]本申请的一实施例中，其中该除湿组件更包含一蒸发器以及一湿度感测组件，该蒸发器以及该湿度感测组件依序设置于该第三通道的一内侧。
[0017]本申请的一实施例中，其中该除湿组件以及该送风组件之间更包含一第二温控组件，该第二温控组件的一内侧设置一第四通道，该第四通道的一端连通该第三通道的另一端，该第二温控组件是用于控制通过该第四通道的该流体的温度，该送风组件的该第五通道的一端连通该第四通道的另一端。
[0018]本申请的一实施例中，其中该第二温控组件更包含一第二热交换装置以及一第二温度感测组件，该第二热交换装置以及该第二温度感测组件依序设置于该第四通道的一内侧。
[0019]本申请的一实施例中，更包含一第二过滤组件，其包含一第二过滤通道以及一第二过滤件，该第二过滤通道的一端连通该第五通道的另一端，该第二过滤通道的另一端连通该出气口，该第二过滤件设置于该第二过滤通道的一内侧，该第二过滤件过滤通过该第二过滤通道的该流体。
[0020]本申请的一实施例中，其中该送风组件更包含一鼓风机，该鼓风机设置于该第五通道的一内侧。
[0021]为达到上述所指称的各目的与功效，本申请提供一种空气环境控制系统，其设置
于一壳体的一内侧，该壳体的二端各别设置一入气口以及一出气口，该入气口接收一流体，该空气环境控制系统包含：一第一过滤组件、一第一温控组件、一水洗组件、一除湿组件、一第二温控组件、一送风组件以及一第二过滤组件，该第一过滤组件设置于该第一腔室的一内侧，该第一过滤组件包含一第一过滤通道以及一第一过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空气环境控制系统，其设置于一壳体的一内侧，该壳体的二端各别设置一入气口以及一出气口，该入气口接收一流体，其特征在于，该空气环境控制系统包含：一第一过滤组件，其包含一第一过滤通道以及一第一过滤件，该第一过滤通道的一端连通该入气口，该第一过滤件设置于该第一过滤通道的一内侧，该第一过滤件过滤通过该第一过滤通道的该流体；一第一温控组件，其包含一第一通道，该第一通道的一端连通该第一过滤通道的另一端，该第一温控组件是用于控制通过该第一通道的该流体的温度；一水洗组件，其包含一第二通道，该第二通道的一端连通该第一通道的另一端，该水洗组件对通过该第二通道的该流体喷洒一液体；一除湿组件，其包含一第三通道，该第三通道的一端连通该第二通道的另一端，该除湿组件是用于对通过该第三通道的该流体除湿；以及一送风组件，其包含一第五通道，该第五通道的一端连通该第三通道的另一端，该第五通道的另一端连通该出气口，该送风组件是用于输送通过该第五通道的该流体。2.根据权利要求1所述的空气环境控制系统，其特征在于，该第一温控组件更包含一第一热交换装置以及一第一温度感测组件，该第一热交换装置以及该第一温度感测组件依序设置于该第一通道的一内侧。3.根据权利要求1所述的空气环境控制系统，其特征在于，该水洗组件更包含一洒水装置以及一排水装置，该洒水装置设置于该第二通道的一内侧，并喷洒该液体至该第二通道，该排水装置设置于该洒水装置的一下方，并接收该液体。4.根据权利要求1所述的空气环境控制系统，其特征在于，该除湿组件更包含一蒸发器以及一湿度感测组件，该蒸发器以及该湿度感测组件依序设置于该第三通道的一内侧。5.根据权利要求1所述的空气环境控制系统，其特征在于，该除湿组件以及该送风组件之间更包含一第二温控组件，该第二温控组件的一内侧设置一第四通道，该第四通道的一端连通该第三通道的另一端，该第二温控组件是用于控制通过该第四通道的该流体的温度，该送风组件的该第五通道的一端连通该第四通道的另一端。6.根据权利要求5所述的空气环境控制系统，其特征在于，该第二温控组件更包含一第二热交换装置以及一第二温度感测组件，该第二热交换装置以及该第二温度感测组件依序设置于该第四通道的一内侧。7.根据权利要求1所述的空气环境控制系...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建凯，徐华恩，
申请(专利权)人：奇鼎科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：