一种复杂表面石英棒的自动精烧及自动卸料多喷头生产装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种复杂表面石英棒的自动精烧及自动卸料多喷头生产装置。机架底部安装有地脚支撑部分，自动送料部分安装在机架的一侧上；机架中部上安装有龙门架，机架另一侧上还安装有卸料支撑架，卸料支撑架和龙门架之间固定连接，自动精烧部分安装在龙门架上，自动卸料部分固定在卸料支撑架上，自动卸料部分下方的机架上安装收纳机构；待加工石英棒放置在自动送料部分上，被自动精烧部分进行自动精烧，然后被自动卸料部分抓取到收纳机构进行自动卸料。本发明专利技术能够自动实现石英棒的送料、精烧、卸料的功能，提高石英棒精烧工艺的工作效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种复杂表面石英棒的自动精烧及自动卸料多喷头生产装置


[0001]本专利技术涉及机电一体化领域以及复杂表面产品的自动精烧、释放的装置，具体涉及了一种复杂表面石英棒的自动精烧及自动卸料多喷头生产装置，结合机电一体化技术能够将复杂表面石英棒完成自动精烧、自动卸料及收集的机械装置。

技术介绍

[0002]石英玻璃棒一般用于制作半导体和光伏行业中分批式工艺所需的部件；如石英舟、硅片载体及基座等。广泛应用于化工、电子、冶金、建材以及国防等工业。由于传统的精烧方式多数为人工操作，精烧合格率和效率普遍不高，且对作业人员的技能水平要求较高。半导体设备中的石英产品结构复杂多变，石英沟棒精烧更是给操作人员带来了极大的精烧困难，石英沟棒因为沟齿数量多，精烧所需时间长，沟齿精烧易变形，精烧效率低，从而造成生产成本高且质量不稳定。虽如今也有自动精烧设备，但是其自动化程度低，需要工人进行送料、取料。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种自动化程度较高的，能够加工沟棒等复杂表面石英棒的自动精烧及自动卸料多喷头生产装置以解决上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复杂表面石英棒的自动精烧及自动卸料多喷头生产装置，其特征在于：包括机架(1)、地脚支撑部分(2)、自动送料部分(5)、自动精烧部分(21)、自动卸料部分(42)、收纳机构(53)、龙门架(22)和卸料支撑架(60)；机架(1)底部安装有地脚支撑部分(2)，自动送料部分(5)安装在机架(1)的一侧上；机架(1)中部上安装有龙门架(22)，机架(1)另一侧上还安装有卸料支撑架(60)，卸料支撑架(60)和龙门架(22)之间固定连接，自动精烧部分(21)安装在龙门架(22)上，自动卸料部分(42)固定在卸料支撑架(60)上，自动卸料部分(42)下方的机架(1)上安装收纳机构；待加工石英棒(20)放置在自动送料部分(5)上，被自动精烧部分(21)进行自动精烧，然后被自动卸料部分(42)抓取到收纳机构(53)进行自动卸料。2.根据权利要求1所述的一种复杂表面石英棒自动精烧及自动卸料多喷头生产装置，其特征在于：所述的机架(1)主体由支撑架(3)搭建而成，支撑架(3)有多种长度的铝型材通过型材连接件(4)搭建而成，周围包覆表面喷漆的不锈钢外壳(67)，不锈钢外壳(67)将支撑架(3)5面包围，支撑架(3)地面安装有地脚支撑部分(2)。3.根据权利要求1所述的一种复杂表面石英棒自动精烧及自动卸料多喷头生产装置，其特征在于：所述的自动送料机构(5)包括送料台板(12)、送料基板(65)、送料固定板(16)、石英棒支撑台座(18)和送料直线丝杠模组(14)；送料台板(12)固定在机架(1)上，送料直线导轨(13)和送料直线丝杠模组(14)分别平行安装在台板(12)的两侧，送料直线丝杠模组(14)一端装有送料步进电机(15)，送料步进电机(15)的输出轴和送料直线丝杠模组(14)的丝杠连接带动，送料直线丝杠模组(14)的滑块沿丝杠轴向水平移动，送料基板(65)固定在送料直线导轨(13)及送料直线丝杠模组(14)的滑块上；两块送料固定板(16)安装在送料基板(65)的两侧，两块送料固定板(16)之间的送料基板(65)上间隔布置安装有三块石英棒支撑台座(18)；多根待加工石英棒(20)沿垂直于送料直线导轨(13)和送料直线丝杠模组(14)方向地平行布置，且支撑布置在两块送料固定板(16)之间，且待加工石英棒(20)中部均被石英棒支撑台座(18)支撑；待加工石英棒(20)的一端支撑装在石英棒支撑件(17)的凹槽中，石英棒支撑件(17)固定在一侧的送料固定板(16)上；待加工石英棒(20)的另一端套装夹装在气动三爪卡盘(19)中，气动三爪卡盘(19)和另一侧的送料固定板(16)上的石英棒转动机构(6)连接；所述的石英棒转动机构(6)包括棒转动步进电机(7)、主动齿轮(8)、从动齿轮(11)和齿条(9)；步进电机安装板(10)安装在另一侧的送料固定板(16)上，棒转动步进电机(7)安装在步进电机安装板(10)上，棒转动直线导轨(68)固定安装在另一侧的送料固定板(16)的侧面，棒转动步进电机(7)的输出轴和主动齿轮(8)同轴连接，主动齿轮(8)和齿条(9)下侧形成齿轮齿条啮合，齿条(9)滑动嵌装在棒转动直线导轨(68)的滑块上，棒转动直线导轨(68)的导轨固定安装在另一侧的送料固定板(16)的侧面；每个气动三爪卡盘(19)均和一个从动齿轮(11)同轴连接，齿条(9)上侧和各个从动齿轮(11)形成齿轮齿条啮合。4.根据权利要求1所述的一种复杂表面石英棒的自动精烧及自动卸料多喷头生产装置，其特征在于：所述自动精烧部分(21)包括精烧直线丝杠模组(34)、精烧步进电机(39)、精烧基板(66)、升降直线导轨(37)、升降直线丝杠模组(38)、升降步进电机(35)、精烧支撑架(33)和多喷头精烧机构(23)；精烧直线丝杠模组(34)沿平行于待加工石英棒(20)方向地水平安装架龙门支架(22)上部，精烧直线丝杠模组(34)的一端装有精烧步进电机(39)，精
烧步进电机(39)的输出轴和精烧直线丝杠模组(34)的丝杠同轴连接，精烧基板(66)固定安装于精烧直线丝杠模组(34)的滑块；精烧基板(66)竖直布置，精烧基板(66)上固定安装有升降直线导轨(37)和升降直线丝杠模组(38)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴化平，王南航，姚黎，杨远山，彭翔，田野，周伟乾，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：