一种双模式的固晶机自动上料机构制造技术

本发明专利技术属于半导体固晶设备技术领域，具体是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构。同现有技术相比，通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上，可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换，选择基板叠放上料时，将送料轨道从推料盒机构下抽出，基板叠放在叠片台上，吸料机构将基板运至送料轨道上料，其余机构进入等待模式，选择料盒上料时，将送料轨道收回推料盒机构下，料盒放在叠片台上，推料盒机构将料盒推至升降机构上，推片机构与升降机构配合进行上料，卸载料盒时，升降机构将料盒降至收料盒机构水平位置，收料盒机构回收料盒。收料盒机构回收料盒。收料盒机构回收料盒。

【技术实现步骤摘要】
一种双模式的固晶机自动上料机构


[0001]本专利技术属于半导体固晶设备
，具体是一种双模式的固晶机自动上料机构。

技术介绍

[0002]固晶机基板上料方式一般分为两种，一种是将基板放入料盒上料，一种是基板叠放上料。传统固晶机上料机构需要分别配置，切换模式需要将原有机构拆除重新安装机构才能实现，因而只能实现单一模式上料，灵活性不足，给实际生产带来不便，阻碍生产进程，不利于产业化大生产。
[0003]因此，需要设计一种不用拆除机构即可实现两种上料模式切换的上料机构，集成度高，通用性强，节省换料时间，提高作业效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是克服现有技术的不足，提供了一种双模式的固晶机自动上料机构，可以不用拆除机构即可实现两种上料模式切换。
[0005]为达到上述目的，本专利技术是一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构，吸料机构设置在叠片台上方，叠片台设置在推料盒机构上侧，推料盒机构的装载推杆穿过叠片台的长腰孔，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双模式的固晶机自动上料机构，包括吸料机构（1）、推料盒机构（2）、叠片台（3）、送料轨道（4）、收料盒机构（5）、推片机构（6）、升降机构（7）、料盒定位机构（8），其特征在于：吸料机构（1）设置在叠片台（3）上方，叠片台（3）设置在推料盒机构（2）上侧，推料盒机构（2）的装载推杆（2
‑
2）穿过叠片台（3）的长腰孔，送料轨道（4）设置在推料盒机构（2）下侧，升降机构（7）位于推料盒机构（2）的一侧，推片机构（6）设置在升降机构（7）的一侧，收料盒机构（5）设置在升降机构（7）前侧，收料盒机构（5）的卸载推杆底板（5
‑
3）位于升降机构（7）的料盒拖爪（7
‑
2）下方，送料轨道（4）下侧、升降机构（7）上部均设有料盒定位机构（8），推料盒机构（2）包括装载平台（2
‑
1）、装载推杆（2
‑
2）、装载推杆底板（2
‑
3）、导向轴（2
‑
4）、同步带一（2
‑
5）、带轮（2
‑
6）、马达（2
‑
7），导向轴（2
‑
4）设置在装载平台（2
‑
1）下方，导向轴（2
‑
4）两端与装载平台（2
‑
1）采用连接板（2
‑
8）连接，导向轴（2
‑
4）两端设有带轮（2
‑
6），导向轴（2
‑
4）一端设有马达（2
‑
7），马达（2
‑
7）与导向轴（2
‑
4）一端的带轮（2
‑
6）连接，导向轴（2
‑
4）两端的带轮（2
‑
6）之间采用同步带一（2
‑
5）连接，装载推杆底板（2
‑
3）与导向轴（2
‑
4）采用连接件一连接，连接件一套设在导向轴（2
‑
4）上，装载推杆底板（2
‑
3）与同步带一（2
‑
5）固定，装载推杆（2
‑
2）设置在装载推杆底板（2
‑
3）前端，装载推杆（2
‑
2）穿过装载平台（2
‑
1），送料轨道（4）包括送料轨道本体（4
‑
1）、底板（4
‑
2）、送片夹（4
‑
3）、送片夹马达（4
‑
4）、送片夹带轮（4
‑
5）、同步带二（4
‑
6）、送片夹导轨（4
‑
7）、送片轨道伸缩传感器（4
‑
8）、轨道材料检测传感器（4
‑
9），送料轨道本体（4
‑
1）与底板（4
‑
2）活动连接，送片夹马达（4
‑
4）设置在底板（4
‑
2）一端，送片夹带轮（4
‑
5）设置在底板（4
‑
2）两端，送片夹马达（4
‑
4）与底板（4
‑
2）一端的送片夹带轮（4
‑
5）连接，底板（4
‑
2）两端的送片夹带轮（4
‑
5）采用同步带二（4
‑
6）连接，送片夹（4
‑
3）设置在底板（4
‑
2）前侧，送片夹（4
‑
3）与送片夹导轨（4
‑
7）连接，送片夹（4
‑
3）与同步带二（4
‑
6）采用连接件二连接，送片轨道伸缩传感器（4
‑
8）设置在推料盒机构（2）下表面，轨道材料检测传感器（4
‑
9）设置在送料轨道本体（4
‑
1）上表面，收料盒机构（5）包括卸载平台（5
‑
1）、卸载推杆（5
‑
2）、卸载推杆底板（5
‑
3）、卸载底板（5
‑
4）、卸载电机（5
‑
5）、卸载同步带（5
‑
6）、卸载同步轮（5
‑
7）、推杆到位点传感器（5
‑
8）、料盒满传感器（5
‑
9），卸载底板（5
‑
4）设置在卸载平台（5
‑
1）下方，卸载电机（5
‑
5）设置在卸载底板（5
‑
4）的一端，卸载底板（5
‑
4）的两端设有卸载同步轮（5
‑
7），卸载电机（5
‑
5）与卸载底板（5
‑
4）的一端卸载同步轮（5
‑
7）连接，卸载底板（5
‑
4）的两端的卸载同步轮（5
‑
7）采用卸载同步带（5
‑
6）连接，卸载推杆底板（5
‑
3）与卸载底板（5
‑
4）采用连接件三连接，卸载推杆底板（5
‑
3）与卸载同步带（5
‑
6）固定，卸载推杆（5
‑
2）设置在卸载推杆底板（5
‑
3）前端，推杆到位点传感器（5
‑
8）设置在卸载底板（5
‑
4）后侧，料盒满传感器（5
‑
9）设置在卸载平台（5
‑
1）后侧，升降机构（7）包括升降台（7
‑
1）、料盒拖爪（7
‑
2）、升降台驱动机构（7
‑
3）、料盒到位传感器（7
‑
4）、料盒工作位传感器（7
‑
5），料盒拖爪（7
‑
2）与升降台（7
‑
1）前侧连接，升降台驱动机构（7
‑
3）与升降台后侧（7
‑
1）连接，料盒到位传感器（7
‑
4）、料盒工作位传感器（7
‑
5）设置在升降台（7
‑
1）一侧，料盒到位传感器（7
‑
4）位于料盒工作位传感器（7
‑
5）上方，料盒工作位传感器（...

【专利技术属性】
技术研发人员：渠敬国，彭清龙，李波，
申请(专利权)人：上海赢朔电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：