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本发明属于半导体固晶设备技术领域,具体是一种双模式的固晶机自动上料机构,包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构。同现有技术相比,通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上,可以不用拆除机构即可...该专利属于上海赢朔电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海赢朔电子科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明属于半导体固晶设备技术领域,具体是一种双模式的固晶机自动上料机构,包括吸料机构、推料盒机构、叠片台、送料轨道、收料盒机构、推片机构、升降机构、料盒定位机构。同现有技术相比,通过将叠片台、送料轨道集成在推料盒机构上,可以不用拆除机构即可...