一种柔性装置及XY向运动平台制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于集成电路设备技术领域，公开了一种柔性装置及XY向运动平台，柔性装置包括柔性元件、弹性件以及限位元件，柔性元件包括X向安装部和Y向安装部，X向安装部与Y向安装部通过多个弹性件连接；弹性件包括间隔排列的至少二个加强部和至少一个形变部，形变部用于连接相邻两个加强部，相互连接的多个加强部的两端分别连接于X向安装部和Y向安装部；限位元件包括设置于X向安装部的限位凸部和设置于Y向安装部的限位槽，或者设置于X向安装部的限位槽和设置于Y向安装部的限位凸部，限位凸部和限位槽对应相互配合，限位凸部延伸至限位槽内，且在预设状态限位凸部的外壁不抵接于限位槽的内壁。槽的内壁。槽的内壁。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性装置及XY向运动平台


[0001]本技术涉及集成电路设备
，尤其涉及一种柔性装置及XY向运动平台。

技术介绍

[0002]在半集成电路设备
，利用XY向运动平台实现加工工件的平面移动，随着对产率要求的不断提高，对XY向运动平台的要求不断提升，这就要求XY台具备更高的运行速度、更高的加速度，XY台的性能也需要随之提高，尤其是平面动态性能。传统的XY向运动平台中，为提升XY向运动平台的加速度采用多组驱动装置并行驱动。但并行驱动若不同步，则必然造成运动卡滞甚至导致导向装置变形从而影响整个运动平台的运动精度。部分传统的XY向运动平台使用柔性件来解决驱动不同步带来的影响，但传统柔性结构还是不能很好的减少abbe误差，而且传统柔性结构还会带来加速度受限的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的一个目的在于提供一种柔性装置，弹性件具有一定的绕Z轴的转动空间，弹性件发生变形起到一定的缓冲和解耦作用。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种柔性装置，包括：
[0006]柔性元件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性装置，其特征在于，包括：柔性元件(1)，包括X向安装部(11)和Y向安装部(12)，所述X向安装部(11)与所述Y向安装部(12)通过多个弹性件(2)连接；所述弹性件(2)包括间隔排列的至少二个加强部(21)和至少一个形变部(22)，所述形变部(22)用于连接相邻两个所述加强部(21)，相互连接的多个所述加强部(21)的两端分别连接于所述X向安装部(11)和所述Y向安装部(12)；限位元件(3)，包括设置于所述X向安装部(11)的限位凸部(31)和设置于所述Y向安装部(12)的限位槽(32)，或者设置于所述X向安装部(11)的所述限位槽(32)和设置于所述Y向安装部(12)的所述限位凸部(31)，所述限位凸部(31)和所述限位槽(32)对应相互配合，所述限位凸部(31)延伸至所述限位槽(32)内，且在预设状态所述限位凸部(31)的外壁不抵接于所述限位槽(32)的内壁。2.根据权利要求1所述的柔性装置，其特征在于，所述X向安装部(11)具有第一连接面，所述Y向安装部(12)具有第二连接面，所述第一连接面和所述第二连接面水平间隔且均垂直于水平面，所述弹性件(2)为片状且垂直于水平面，所述弹性件(2)的两端分别连接所述第一连接面和所述第二连接面。3.根据权利要求2所述的柔性装置，其特征在于，所述X向安装部(11)和所述Y向安装部(12)水平相对间隔设置且通过至少三个所述弹性件(2)连接，至少三个所述弹性件(2)均垂直连接所述第一连接面和所述第二连接面；或者中间的至少一个所述弹性件(2)垂直连接所述第一连接面和所述第二连接面，两端的至少二个所述弹性件(2)呈一定斜角对称连接所述第一连接面和所述第二连接面。4.根据权利要求2所述的柔性装置，其特征在于，所述Y向安装部(12)在水平方向包围所述X向安装部(11)，所述X向安装部(11)的对角线交汇于中心点，每个所述弹性件(2)所在的平面均经过所述中心点。5.根据权利要求4所述的柔性装置，其特征在于，所述弹性件(2)的数量至少为四个，至少四个所述弹性件(2)绕所述中心点均匀布置。6.根据权利要求4所述的柔性装置，其特征在于，所述柔性元件(1)还包括柔性片(13)，所述柔性片(13)为T型结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈啸虎，江旭初，袁嘉欣，唐艳文，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：