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本实用新型属于集成电路设备技术领域，公开了一种柔性装置及XY向运动平台，柔性装置包括柔性元件、弹性件以及限位元件，柔性元件包括X向安装部和Y向安装部，X向安装部与Y向安装部通过多个弹性件连接；弹性件包括间隔排列的至少二个加强部和至少一个形变...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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