【技术实现步骤摘要】
一种倾斜角度自动可调的支撑台及激光器芯片检测装置
[0001]本专利技术属于芯片检测设备领域，尤其涉及一种倾斜角度自动可调的支撑台及激光器芯片检测装置。
技术介绍
[0002]激光器芯片的待测参数一般包括功率、峰值波长、脉冲频率、光束宽度、发散角等。在进行激光器芯片测试时，需要保证承载激光器芯片的测试台的角度及高度可调，使得待测激光能够以正确的角度到达测试装置的正确位置，否则会引入系统误差，甚至导致测试无法完成。例如，若激光光路和传感器不垂直，所测得光斑大小就会偏大，从而影响光束宽度及发散角的测量结果；更甚者，若采用光纤作为接收器，其有效接收直径在几十微米左右，而激光器和接收器的距离可达数毫米。此时，激光光路即使存在细微偏转，都会导致接收器无法接收到信号。
[0003]现有测试设备中，主要采用的调平方法为手动调平。具体方法为：使用预先安装好的激光器，从测试平台的一侧向测试台另一侧同样预先安装的接收器发射激光，光路和测试平台平面重合。测试平台可绕平台中心转动，传感器可探测接收到的光线被阻挡的比例，并用灯光显示。通过转动...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种倾斜角度自动可调的支撑台，其特征在于，包括控制器、支撑板(11)、底座(12)和至少三个伸缩缸(13)，所述底座(12)水平设置，所述支撑板(11)设置在所述底座(12)的上方，多个所述伸缩缸(13)均竖向安装在所述底座(12)上并在所述底座(12)上呈同心圆分布，且每个所述伸缩缸(13)均在所述底座(12)上可沿同心圆的径向滑动，多个所述伸缩缸(13)的伸缩端均朝上，并均通过万向球(14)与所述支撑板(11)的下端连接，每个所述伸缩缸(13)均具有用以测量所述伸缩缸伸长长度的伸缩长度测量装置，且多个所述伸缩长度测量装置和多个所述伸缩缸(13)均与所述控制器电连接，所述控制器根据多个所述伸缩长度测量装置的测量值来调节多个所述伸缩缸(13)的伸缩量,以调节所述支撑板(11)的倾斜角度。2.根据权利要求1所述的倾斜角度自动可调的支撑台，其特征在于，所述伸缩缸(13)设有三个。3.根据权利要求2所述的倾斜角度自动可调的支撑台，其特征在于，所述底座(12)包括三根滑杆(121)，三根所述滑杆(121)均水平设置，且三根所述滑杆(121)的一端连接固定，相邻两个所述滑杆(121)之间的角度为120
°
，三个所述滑杆(121)与三个所述伸缩缸(13)一一对应，每个所述伸缩缸(13)分别与对应所述滑杆(121)滑动连接，每个所述伸缩缸(13)可在对应的所述滑杆(121)上沿对应的所述滑杆(121)的长度方向滑动。4.根据权利要求3所述的倾斜角度自动可调的支撑台，其特征在于，所述伸缩缸(13)包括缸体(131)、活塞(132)和硬质管(133)，所述缸体(131)为槽体形，所述缸体(131)竖直设置，且其槽口朝上，所述活塞(132)滑动并密封安装在所述缸体(131)内，所述缸体(131)的槽口端设有内翻边以将所述活塞(132)限位在所述缸体(131)内，所述万向球(14)安装在所述活塞(132)的上端，所述万向球(14)的球体通过一根连杆(141)与所述支撑板(11)的下端垂直连接固定，三个所述连杆(141)与所述支撑板(11)下端的连接处呈同圆分布，所述硬质管(133)竖直设置，且其上端与所述缸体(131)下端中部连接并贯通所述缸体(131)内部，...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱德明，张方正，
申请(专利权)人：武汉盛为芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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