一种老化夹具及探针卡对齐调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种老化夹具及探针卡对齐调节装置，老化夹具包括探针卡、载体板和老化夹具本体，老化夹具本体包括底板、倾角调节安装座和夹持组件，倾角调节安装座安装在底板的后上端，载体板由夹持组件夹紧在底板的前上端，载体板上端用以安装电路板，电路板的上端具有多个沿左右方向间隔均匀设置的芯片，探针卡的前侧下端具有多对沿左右方向间隔均匀的分布的探针组，多组探针组与电路板上的多个芯片一一对应，探针卡安装在倾角调节安装座上，倾角调节安装座用以驱动探针卡的前端向下摆转至其探针组与对应芯片电连接或向上摆转以断开电连接，如此使得探针卡上的探针组在摆转时只会上下移动，不会出现探针因碰撞而受损的风险。的风险。的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种老化夹具及探针卡对齐调节装置


[0001]本技术属于芯片检测设备领域，尤其涉及一种老化夹具及探针卡对齐调节装置。

技术介绍

[0002]在芯片制造的老化测试环节里面，针对不同的芯片设计有专用的老化夹具。老化夹具上最精密的零件是探针卡，探针卡上具有多组探针组，探针尺寸小，针尖直径尺寸为80um左右，且组装精度要求高，对一排探的针针尖高度、直线度要求高，而探针卡要装在老化夹具上面，这就探针卡的安装调试要求极为精细，一不小心就可能将探针碰弯至变形，从而导致探针卡损毁。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种结果简单，且组装方便，同时可降低探针卡安装时探针受损概率的老化夹具。
[0004]为了实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种老化夹具，包括探针卡、载体板和老化夹具本体，所述老化夹具本体包括底板、倾角调节安装座和夹持组件，所述底板沿前后方向水平设置，所述倾角调节安装座安装在所述底板的后上端，所述载体板由所述夹持组件夹紧在所述底板的前上端，所述载体板上端用以安装电路板，所述电路板的上端具有多个沿左右方向间隔均匀设置的芯片，所述探针卡的前侧下端具有多对沿左右方向间隔均匀的分布的探针组，多组所述探针组与所述电路板上的多个所述芯片一一对应，所述探针卡安装在所述倾角调节安装座上，所述倾角调节安装座用以驱动所述探针卡的前端向下摆转至其探针组与对应所述芯片电连接，或向上摆转至其探针组与对应所述芯片分离以断开电连接。
[0005]上述技术方案的有益效果在于：如此可先将电路板安装在载体板上，再将载体板由夹持组件夹持，然后再将所述探针卡安装在摆转座上，通过调节摆转座的倾角以调节探针卡前端的探针组至电路板的间距，直至探针组压接在对应的芯片上，并给芯片通电，如此使得探针卡上的探针组在摆转时只会上下移动，不会出现探针因碰撞而受损的风险。
[0006]上述技术方案中所述夹持组件包括两个第一夹持件和两个第二夹持件，两个所述第一夹持件沿左右方向间隔设置在所述底板的前上端，两个所述第二夹持件沿前后方向间隔设置在两个所述第一夹持件之间的前后方，两个所述第一夹持件和两个所述第二夹持件围合形成的区域用以放置所述载体板，两个所述第一夹持件和两个所述第二夹持件用以共同将所述载体板夹紧。
[0007]上述技术方案的有益效果在于：其结构简单，如此由两个第一夹持件和两个第二夹持件共同从四个方向来将载体板夹紧。
[0008]上述技术方案中所述第一夹持件包括第一支撑柱和第一紧固螺栓，两个所述第一支撑柱均沿竖向设置并沿左右方向间隔安装在所述底板的前上端，两个所述第一支撑柱相
互靠近的一侧的上端均向下凹设有阶形的托台，两个所述第一支撑柱的上端对应所述托台的侧壁处设有左右贯穿的第一螺纹孔，两个所述第一螺纹孔相互对齐，每个所述第一紧固螺栓安装在对应的所述第一螺纹孔内，且两个所述第一紧固螺栓的螺纹端相互靠近，所述载体板的两端托在在所述托台上，拧紧两个所述第一紧固螺栓至其螺纹端将所述载体板从左右方向上夹紧；位于后方的所述第二夹持件包括多根限位杆，多根所述限位杆均竖向设置在所述底板上端，并沿左右方向间隔分布在两个所述第一支撑柱之间的后方，位于前后的所述第二夹持件包括第二支撑柱和第二紧固螺栓，所述第二支撑柱竖向设置在两个所述第一支撑柱之间的前方，所述第二支撑柱的上端沿前后方向设置有前后贯穿的第二螺纹孔，所述第二紧固螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，且其螺纹端朝后，拧紧所述第二紧固螺栓至其螺纹端将所述载体板向后挤压至与多根所述限位杆相抵，以将所述载体板从前后方向上夹紧。
[0009]上述技术方案的有益效果在于：其结构简单，且限位杆可对载体板的后侧进行定位，而通过调节两个第一紧固螺栓的拧紧程度可将载体板在左右方向上夹紧，同时还可对载体板在左右方向上的位置进行微调。
[0010]上述技术方案中所述载体板为直条形的方形柱，所述载体板的上端凹设有至少两个第三螺纹孔，所述电路板上设有多个第一连接孔，且多个所述第一连接孔与多个所述第三螺纹孔一一对应，所述电路板置于所述载体板上，且每个所述第一连接孔与对应的第三螺纹孔对齐并插入一根与所述第三螺纹孔螺纹连接的第一螺栓，以将所述电路板安装在所述载体板上。
[0011]上述技术方案的有益效果在于：其结构简单，且电路板上在所述载体板上安装效果佳，且不会挪位。
[0012]上述技术方案中所述载体板两端的上端均为斜向下的倾斜面，两个所述第一紧固螺栓的螺纹端端部均为半球面，拧紧两个所述第一紧固螺栓至其螺纹端端部与所述载体板对应端的倾斜面相抵，以将所述载体板夹紧并压紧在两个所述托台上。
[0013]上述技术方案的有益效果在于：如此使得两个第一紧固螺栓即可载体板在左右方向上夹紧，还可将所述载体板向下压紧在托台上。
[0014]上述技术方案中所述倾角调节安装座包括摆转座、拉簧、连接块、第二螺栓和两个第三螺栓，所述摆转座沿左右方向水平设置并转动安装在所述底板的后上端，且所述摆转座的上端为平整面，所述摆转座平整面上沿左右方向间隔凹设有两个第四螺纹孔，所述探针卡的后端设有沿左右方向间隔设有两个第二连接孔，两个所述第二连接孔与两个所述第四螺纹孔一一对应，所述探针卡的后端位于所述摆转座的上方，且每个所述第二连接孔与对应所述第四螺纹孔对齐，并插入一根与所述第四螺纹孔的第三螺栓以将所述探针卡的后端紧固在所述摆转座上，所述摆转座后端中部与所述底板后端中部连接有所述拉簧，所述拉簧的弹力用以驱动所述摆转座趋于向后摆转至其平整面由后向前上方嵌设并带动所述探针卡的前端向上翘起，所述连接块设置在所述底板上端中部，并位于所述摆转座和夹持组件之间，所述连接块的上端凹设有第五螺纹孔，所述探针卡的中部设有与所述第五螺纹孔对齐的第三连接孔，所述第二螺栓穿过所述第三连接孔并与所述第五螺纹孔螺纹连接，拧紧所述第二螺栓以克服所述拉簧的弹力并下压所述探针卡至其上端探针组与对应所述芯片电连接，或拧松所述第二螺栓，以由所述拉簧的弹力驱动所述摆转座向后摆转并增大
所述探针卡前端向上翘起至前端的探针组与对应所述芯片断开电连接。
[0015]上述技术方案的有益效果在于：其结构简单，且可精细化的调节所述探针卡的倾角以避免探针受损，同时灵敏的调节探针与芯片的压紧力度。
[0016]本技术目的之二在于提供一种结构简单，且可将探针卡、老化夹具和载体板精准的进行组装的探针卡对齐调节装置。
[0017]为了实现上述目的，本技术的技术方案如下：一种探针卡对齐调节装置，包括支撑座、调节台、显微镜头、底座、第一手动滑台、两个夹紧机构和如上所述的老化夹具，所述支撑座为沿左右方向设置的U形座，所述调节台安装在所述支撑座的槽内，所述调节台的驱动端朝上并安装有夹紧件，所述老化夹具本体置于所述调节台的驱动端，并由所述夹紧件将所述底板夹紧在所述调节台的驱动端，两个所述夹紧机构分别安装在所述支撑座两侧的上端，所述夹紧机构具有可左右滑移的夹板，所述探针卡水平设置在两个所述夹板之间，两个所述夹紧机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种老化夹具，其特征在于，包括探针卡(11)、载体板(12)和老化夹具本体(13)，所述老化夹具本体(13)包括底板(131)、倾角调节安装座(132)和夹持组件(133)，所述底板(131)沿前后方向水平设置，所述倾角调节安装座(132)安装在所述底板(131)的后上端，所述载体板(12)由所述夹持组件(133)夹紧在所述底板(131)的前上端，所述载体板(12)上端用以安装电路板(14)，所述电路板(14)的上端具有多个沿左右方向间隔均匀设置的芯片(141)，所述探针卡(11)的前侧下端具有多对沿左右方向间隔均匀的分布的探针组(111)，多组所述探针组(111)与所述电路板(14)上的多个所述芯片(141)一一对应，所述探针卡(11)安装在所述倾角调节安装座(132)上，所述倾角调节安装座(132)用以驱动所述探针卡(11)的前端向下摆转至其探针组(111)与对应所述芯片(141)电连接，或向上摆转至其探针组(111)与对应所述芯片(141)分离以断开电连接。2.根据权利要求1所述的老化夹具，其特征在于，所述夹持组件(133)包括两个第一夹持件(1331)和两个第二夹持件(1332)，两个所述第一夹持件(1331)沿左右方向间隔设置在所述底板(131)的前上端，两个所述第二夹持件(1332)沿前后方向间隔设置在两个所述第一夹持件(1331)之间的前后方，两个所述第一夹持件(1331)和两个所述第二夹持件(1332)围合形成的区域用以放置所述载体板(12)，两个所述第一夹持件(1331)和两个所述第二夹持件(1332)用以共同将所述载体板(12)夹紧。3.根据权利要求2所述的老化夹具，其特征在于，所述第一夹持件(1331)包括第一支撑柱(13311)和第一紧固螺栓(13312)，两个所述第一支撑柱(13311)均沿竖向设置并沿左右方向间隔安装在所述底板(131)的前上端，两个所述第一支撑柱(13311)相互靠近的一侧的上端均向下凹设有阶形的托台(13313)，两个所述第一支撑柱(13311)的上端对应所述托台的侧壁处设有左右贯穿的第一螺纹孔(13314)，两个所述第一螺纹孔(13314)相互对齐，每个所述第一紧固螺栓(13312)安装在对应的所述第一螺纹孔(13314)内，且两个所述第一紧固螺栓(13312)的螺纹端相互靠近，所述载体板(12)的两端托在在所述托台(13313)上，拧紧两个所述第一紧固螺栓(13312)至其螺纹端将所述载体板(12)从左右方向上夹紧；位于后方的所述第二夹持件(1332)包括多根限位杆(13321)，多根所述限位杆(13321)均竖向设置在所述底板(131)上端，并沿左右方向间隔分布在两个所述第一支撑柱(13311)之间的后方，位于前后的所述第二夹持件(1332)包括第二支撑柱(13322)和第二紧固螺栓(13323)，所述第二支撑柱(13322)竖向设置在两个所述第一支撑柱(13311)之间的前方，所述第二支撑柱(13322)的上端沿前后方向设置有前后贯穿的第二螺纹孔(13324)，所述第二紧固螺栓(13323)与所述第二螺纹孔(13324)螺纹连接，且其螺纹端朝后，拧紧所述第二紧固螺栓(13323)至其螺纹端将所述载体板(12)向后挤压至与多根所述限位杆(13321)相抵，以将所述载体板(12)从前后方向上夹紧。4.根据权利要求3所述的老化夹具，其特征在于，所述载体板(12)为直条形的方形柱，所述载体板(12)的上端凹设有至少两个第三螺纹孔(121)，所述电路板(14)上设有多个第一连接孔(142)，且多个所述第一连接孔(142)与多个所述第三螺纹孔(121)一一对应，所述电路板(14)置于所述载体板(12)上，且每个所述第一连接孔(142)与对应的第三螺纹孔(121)对齐并插入一根与所述第三螺纹孔(121)螺纹连接的第一螺栓(122)，以将所述电路板(14)安装在所述载体板(12)上。5.根据权利要求4所述的老化夹具，其特征在于，所述载体板(12)两端的上端均为斜向
下的倾斜面，两个所述第一紧固螺栓(13312)的螺纹端端部均为半球面，拧紧两个所述第一紧固螺栓(13312)至其螺纹端端部与所述载体板(12)对应端的倾斜面相抵，以将所述载体板(12)夹紧并压紧在两个所述托台(13313)上。6.根据权利要求1
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5任一项所述的老化夹具，其特征在于，所述倾角调节安装座(132)包括摆转座(1321)、拉簧(1322)、连接块(1323)、第二螺栓(1324)和两个第三螺栓(1325)，所述摆转座(1321)沿左右方向水平设置并转动安装在所述底板(131)的后上端，且所述摆转座(1321)的上端为平整面，所述摆转座(1321)平整面上沿左右方向间隔凹设有两个第四螺纹孔(13211)，所述探针卡(11)的后端设有沿左右方向间隔设有两个第二连接孔(112)，两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱德明，潘海平，
申请(专利权)人：武汉盛为芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：