一种光罩盒缓冲定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光罩盒缓冲定位装置，包括底座和主体，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的一侧固定安装有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有第一滑块，所述滑杆的表面靠近第一滑块和固定柱之间套接有第一弹簧，所述第一滑块的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有滑槽，所述滑槽的表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的上表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端固定安装有固定板，本实用新型专利技术通过滑杆、第一弹簧、滑槽和第二弹簧的设置，使装置在运输过程中所产生的冲击力，都可以使光罩盒稳定的移动到原来的位置，降低了运输过程中产生的损坏碰撞和摩擦，提高了保护效果，提高了装置的实用性。实用性。实用性。

【技术实现步骤摘要】
一种光罩盒缓冲定位装置


[0001]本技术属于缓冲定位装置相关
，具体涉及一种光罩盒缓冲定位装置。

技术介绍

[0002]光罩，在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上，业内又称光掩模版、掩膜版，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上，被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻，由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的硅片工艺中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染，然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态，现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩盒进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净。
[0003]现有的技术存在以下问题：现有的光罩盒缓冲定位装置在运输过程中，随着车辆的运行，光罩盒容易和主体发生震动、碰撞和摩擦，导致光罩盒在运输过程中产生损坏，保护效果不佳，不利于使用。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光罩盒缓冲定位装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的光罩盒缓冲定位装置在运输过程中，随着车辆的运行，光罩盒容易和主体发生震动、碰撞和摩擦，导致光罩盒在运输过程中产生损坏，保护效果不佳，不利于使用的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光罩盒缓冲定位装置，包括底座和主体，所述底座的上表面固定连接有固定柱，所述固定柱的一侧固定安装有滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有第一滑块，所述滑杆的表面靠近第一滑块和固定柱之间套接有第一弹簧，所述第一滑块的上表面固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定安装有滑槽，所述滑槽的表面滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的上表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端固定安装有固定板，所述固定板的上表面固定安装有主体。
[0006]优选的，所述固定板的下表面焊接有固定块，所述第二滑块的一侧固定安装有凸块，所述凸块的一侧靠中间位置处固定安装有固定杆，所述固定杆的表面套接有第二弹簧，所述固定杆的一端贯穿于固定块。
[0007]优选的，所述主体的内壁固定安装有缓冲垫，所述主体的顶部一侧固定连接有连接轴，所述连接轴的表面固定连接有上盖体，所述主体和上盖体通过连接轴固定连接。
[0008]优选的，所述支撑板的上表面固定安装有两个滑槽，两个所述滑槽关于支撑板对
称设置，所述滑杆设置有两个，且两个所述滑杆关于底座对称设置。
[0009]优选的，所述主体为空腔结构，所述固定块的表面开设有通孔，且固定杆的一端通过通孔贯穿于固定块。
[0010]与现有技术相比，本技术提供了一种光罩盒缓冲定位装置，具备以下有益效果：
[0011]本技术通过滑杆、第一弹簧、滑槽和第二弹簧的设置，降低了光罩盒在运输过程中产生的损坏碰撞和摩擦，当光罩盒的重心力往滑杆一端移动时，第一弹簧受光罩盒重心力的作用随第一滑块拉升变长，靠近滑杆一端的弹簧随第一滑块4的压力缩短，在两个第一弹簧相对的平衡力作用下，两个第一滑块移动到原来的位置上，使光罩盒处于中心位置，本技术在运输过程中所产生的任意方向的冲击力，都可以使光罩盒稳定的移动到原来的位置，提高了保护效果，提高了装置的实用性。
附图说明
[0012]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制，在附图中：
[0013]图1为本技术提出的一种光罩盒缓冲定位装置结构示意图；
[0014]图2为本技术提出的一种光罩盒缓冲定位装置部分剖面图；
[0015]图3为本技术提出的一种光罩盒缓冲定位装置侧视图；
[0016]图中：1、底座；2、第一弹簧；3、滑杆；4、第一滑块；5、固定柱；6、支撑板；7、滑槽；8、固定板；9、主体；10、第二弹簧；11、固定杆；12、固定块；13、第二滑块；14、凸块；15、支撑柱；16、连接轴；17、上盖体；18、缓冲垫。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种光罩盒缓冲定位装置，包括底座1和主体9,底座1的上表面固定连接有固定柱5，固定柱5设置有四个，固定柱5的一侧固定安装有滑杆3，滑杆3设置有两个，且两个滑杆3关于底座1对称设置，滑杆3的两端通过固定柱5固定安装，滑杆3的表面滑动连接有第一滑块4，第一滑块4安装有四个，每两个第一滑块4为一组，且每组两个第一滑块4关于滑杆3对称设置，滑杆3的表面靠近第一滑块4和固定柱5之间套接有第一弹簧2，第一弹簧2设置有四个，每两个第一弹簧2为一组，且每组两个第一弹簧2关于滑杆3对称设置，第一滑块4的上表面固定连接有支撑板6，支撑板6的上表面固定安装有滑槽7，滑槽7固定安装有两个，两个滑槽7关于支撑板6对称设置，滑槽7的表面滑动连接有第二滑块13，第二滑块13设置有两个，第二滑块13的上表面固定连接有支撑柱15，支撑柱15设置有四个，每两个支撑柱15为一组，且每组两个支撑柱15关于第二滑块13对称设置，支撑柱15的一端固定安装有固定板8，固定板8的上表面固定安装有主体9，主体9为空腔结构，主体9的内壁固定安装有缓冲垫18，通过缓冲垫18的安装，减少了光罩盒在运输过程
中与主体9的碰撞和摩擦，提升了装置的实用性，主体9的顶部一侧固定连接有连接轴16，连接轴16的表面固定连接有上盖体17，主体9和上盖体17通过连接轴16固定连接。
[0019]固定板8的下表面焊接有固定块12，固定块12的表面开设有通孔，第二滑块13的一侧固定安装有凸块14，凸块14的一侧靠中间位置处固定安装有固定杆11，固定杆11的表面套接有第二弹簧10，第二弹簧10设置有四个，每两个第二弹簧10为一组，且每组两个第二弹簧10关于第二滑块13对称设置，固定杆11的一端通过通孔贯穿于固定块12。
[0020]本技术的工作原理及使用流程：
[0021]使用时，将光罩盒放置到主体9内部并关闭上盖体17，在运输过程中，当光罩盒的重心力往滑杆3一端移动时，第一弹簧2受光罩盒重心力的作用随第一滑块4拉升变长，靠近滑杆3一端的弹簧随第一滑块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩盒缓冲定位装置，包括底座(1)和主体(9)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有固定柱(5)，所述固定柱(5)的一侧固定安装有滑杆(3)，所述滑杆(3)的表面滑动连接有第一滑块(4)，所述滑杆(3)的表面靠近第一滑块(4)和固定柱(5)之间套接有第一弹簧(2)，所述第一滑块(4)的上表面固定连接有支撑板(6)，所述支撑板(6)的上表面固定安装有滑槽(7)，所述滑槽(7)的表面滑动连接有第二滑块(13)，所述第二滑块(13)的上表面固定连接有支撑柱(15)，所述支撑柱(15)的一端固定安装有固定板(8)，所述固定板(8)的上表面固定安装有主体(9)。2.根据权利要求1所述的一种光罩盒缓冲定位装置，其特征在于：所述固定板(8)的下表面焊接有固定块(12)，所述第二滑块(13)的一侧固定安装有凸块(14)，所述凸块(14)的一侧靠中间位置处固定安装有固定杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：王坚，
申请(专利权)人：苏州三重电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：