取液装置及取液系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种取液装置及取液系统，包括：腔体，具有相对的第一口和第二口，提取液体时，第二口对准液体存储装置的液体出口；液体吸取管，连通第一口，未提取液体时，盘在腔体内，提取液体时，通过第二口进入液体存储装置并且提取液体；挡板，位于腔体内，一端固定在腔体的内壁上，一端可移动，未提取液体时，挡板挡住盘着的液体吸取管，提取液体时，停止对盘着的液体吸取管的阻挡，液体吸取管通过第二口进入液体存储装置；外盖，位于靠近第二口的腔体上，未提取液体时，封闭第二口，提取液体时，打开第二口。避免了液体吸取管和液体与外面的非洁净环境接触，从而避免了液体被污染。从而避免了液体被污染。从而避免了液体被污染。

【技术实现步骤摘要】
取液装置及取液系统


[0001]本技术涉及微流体控制领域，尤其是涉及一种取液装置及取液系统。

技术介绍

[0002]半导体生产过程用到大量液体化学品进行清洗、刻蚀等工艺，这些化学品由厂务在化学品房的化学供酸系统(CDS系统)通过一些复杂的泵及管路将原液供应到无尘室内的机台端。半导体工艺对于液体化学品的洁净程度、纯度等参数要求非常苛刻，稍许异常则可能会引起大量产品报废。
[0003]半导体工厂需要定期对机台端和供酸系统的化学品进行取样测试，监控其金属含量、浓度、含水量等参数，当监控出现异常或工艺问题澄清时则需要对设备端、供酸系统、原物料的化学品质量进行逐段排除，因为供酸系统位于无尘室外，直接从原液桶中取样就面临了外界带来污染的问题，极易对判断产生干扰。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种取液装置及取液系统，可以在非洁净室内提取液体，并使得提取的液体不被污染。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种取液装置，用于在非洁净室内从液体存储装置中提取液体，包括：
[0006]腔体，具有相对的第一口和第二口，提取液体时，所述第二口对准所述液体存储装置的液体出口；
[0007]液体吸取管，连通所述第一口，未提取液体时，盘在所述腔体内，提取液体时，通过所述第二口进入所述液体存储装置并且提取液体；
[0008]挡板，位于所述腔体内，一端固定在所述腔体的内壁上，一端可移动，未提取液体时，所述挡板挡住盘着的所述液体吸取管，提取液体时，停止对盘着的所述液体吸取管的阻挡，所述液体吸取管通过所述第二口进入所述液体存储装置；以及
[0009]外盖，位于靠近所述第二口的所述腔体上，未提取液体时，封闭所述第二口，提取液体时，打开所述第二口。
[0010]可选的，在所述的取液装置中，还包括第一开关，用于控制所述挡板的移动。
[0011]可选的，在所述的取液装置中，靠近所述第二口的腔体的外壁上具有螺纹，所述螺纹与所述液体存储装置的液体出口的螺纹相匹配，提取液体时，所述吸取装置与所述液体存储装置通过螺纹连接。
[0012]可选的，在所述的取液装置中，所述挡板与所述第一口的距离为115mm～125mm。
[0013]可选的，在所述的取液装置中，所述外盖的直径为70mm～90mm。
[0014]可选的，在所述的取液装置中，所述液体吸取管包括PVC软管。
[0015]可选的，在所述的取液装置中，所述液体吸取管的直径为10mm，长度为1000mm。
[0016]本技术还提供了一种取液系统，用于在非洁净室内从液体存储装置中提取液
体，包括：
[0017]取液装置，具有第一口；
[0018]第一液体传输管，与所述第一口连通，提取液体时，用于传输所述取液装置吸取的液体；以及
[0019]第二液体传输管，与所述第一液体传输管连通，未提取液体时，用于存储液体，提取液体时，用于传输所述第一液体传输管传输的液体。
[0020]可选的，在所述的取液系统中，还包括第三液体传输管，与所述第二液体传输管连通，用于传输所述第二液体传输管传输的液体。
[0021]可选的，在所述的取液系统中，还包括第二开关和第三开关，所述第二开关连接在所述第一液体传输管和所述第二液体传输管之间，用于关断和开启液体在所述第一液体传输管和所述第二液体传输管之间的传输，所述第二开关连接在所述第二液体传输管和所述第三液体传输管之间，用于关断和开启液体在所述第二液体传输管和所述第三液体传输管之间的传输。
[0022]在本技术提供的取液装置及取液系统中，在未取液时，液体吸取管盘在腔体内，与外面的非洁净环境隔绝，避免了污染，提取液体时，腔体部分插入液体存储装置中，实现无缝对接，避免了液体吸取管和液体与外面的非洁净环境接触，从而避免了液体被污染。
附图说明
[0023]图1是本技术实施例的取液装置的结构示意图；
[0024]图2是本技术实施例的取液系统的结构示意图；
[0025]图中：110
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腔体、120
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液体吸取管、130
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挡板、140
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外盖、150
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第一开关、160
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第一液体传输管、170
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第二液体传输管、180
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第三液体传输管、190
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第二开关、200
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第三开关。
具体实施方式
[0026]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0027]在下文中，术语“第一”“第二”等用于在类似要素之间进行区分，且未必是用于描述特定次序或时间顺序。要理解，在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些所述的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。
[0028]请参照图1和图2，本技术提供了一种取液装置，用于在非洁净室内从液体存储装置中提取液体，包括：
[0029]腔体110，相对的第一口和第二口，提取液体时，所述第二口对准所述液体存储装置的液体出口；
[0030]液体吸取管120，连通所述第一口，未提取液体时，盘在所述腔体110内，提取液体时，通过所述第二口进入所述液体存储装置并且提取液体；
[0031]挡板130，位于所述腔体110内，一端固定在所述腔体110的内壁上，一端可移动，未
提取液体时，所述挡板130挡住盘着的所述液体吸取管120，提取液体时，停止对盘着的所述液体吸取管120的阻挡，所述液体吸取管120通过所述第二口进入所述液体存储装置；以及
[0032]外盖140，位于靠近所述第二口的所述腔体110上，未提取液体时，封闭所述第二口，提取液体时，打开所述第二口。
[0033]进一步的，取液装置还包括第一开关150，与所述挡板130连接，用于控制所述挡板130移动的开关。第一开关150可以是一个阀门，用于控制挡板130的动作，例如，在关断时，挡板130可以是立起的状态，此时，挡板130与腔体110的内壁垂直设置，挡板130挡住盘在一起的液体吸取管120，使液体吸取管120密封在密闭空间(腔体)中，与外面的非洁净空间隔绝，防止液体吸取管被污染。当第一开关150关断时，挡板130放下，即挡板130处于平行于腔体的内壁或与腔体的内壁呈较小的夹角的情况，此时，之前盘起的液体吸取管120通过第二口进入液体存储装置，对液体进行吸取。
[0034]进一步的，靠近所述第二口的腔体110的外壁上具有螺纹，所述螺纹与所述液体存储本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种取液装置，用于在非洁净室内从液体存储装置中提取液体，其特征在于，包括：腔体，具有相对的第一口和第二口，提取液体时，所述第二口对准所述液体存储装置的液体出口；液体吸取管，连通所述第一口，未提取液体时，盘在所述腔体内，提取液体时，通过所述第二口进入所述液体存储装置并且提取液体；挡板，位于所述腔体内，一端固定在所述腔体的内壁上，一端可移动，未提取液体时，所述挡板挡住盘着的所述液体吸取管，提取液体时，停止对盘着的所述液体吸取管的阻挡，所述液体吸取管通过所述第二口进入所述液体存储装置；以及外盖，位于靠近所述第二口的所述腔体上，未提取液体时，封闭所述第二口，提取液体时，打开所述第二口。2.如权利要求1所述的取液装置，其特征在于，还包括第一开关，用于控制所述挡板的移动。3.如权利要求1所述的取液装置，其特征在于，靠近所述第二口的腔体的外壁上具有螺纹，所述螺纹与所述液体存储装置的液体出口的螺纹相匹配，提取液体时，所述吸取装置与所述液体存储装置通过螺纹连接。4.如权利要求1所述的取液装置，其特征在于，所述挡板与所述第一口的距离为115mm～125mm。5.如权利要求1所述的取液装置，其特征在于，所述外盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭伟，屠潇，曹秉霞，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：