线阵相机的调焦方法、装置及自动光学检测设备制造方法及图纸

本公开涉及一种线阵相机的调焦方法、装置及自动光学检测设备，该方法包括：确定线阵相机在当前采集第一图像时的第一位置以及所述第一图像的清晰度特征值；从数据库中获取对应于所述清晰度特征值的所述线阵相机的第二位置；基于所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及所述第一位置，确定所述线阵相机的聚焦位置。本公开的调焦方法能够采集到清晰的图像，解决现有技术中由于玻璃基板凹凸形变导致线阵相机获取的图片模糊，无法准确检测玻璃基板缺陷的技术问题，提高AOI设备的检测精度；且调焦方便快捷。调焦方便快捷。调焦方便快捷。

【技术实现步骤摘要】
线阵相机的调焦方法、装置及自动光学检测设备


[0001]本公开涉及光学检测
，具体涉及一种线阵相机的调焦方法、装置及自动光学检测设备。

技术介绍

[0002]AOI(Automatic Optical Inspection,自动光学检测)是面板及微电子等行业广泛使用的测量手段，其中，AOI设备是面板及微电子等行业广泛使用的检测设备。AOI设备可用于检测基板的表面的图像是否符合规定、是否存在由破坏性物质造成的坏点及判定破坏性物资等造成的坏点的准确位置，如可以直接采用AOI设备对基板拍照得到清晰的图像，并通过分析该图像对基板是否存在坏点进行检测。
[0003]AOI设备中检测的关键部件是其线性扫描相机(TDI相机，简称线性相机)。线性相机扫描获得灰度图像时，图像的清晰度决定了获取基板缺陷的准确度。TDI线性扫描相机获取的图像清晰度由相机聚焦决定。
[0004]不同玻璃基板在同一位置的凹凸形变度是不一致的，导致TDI相机同一位置，不同玻璃基板聚焦或者失焦，获取的图片分辨率也不一致，有的图片清晰，有的图片模糊。在对获取的图像进行周期比对、分析确认基板缺陷时，由于不能对获取的模糊图像进行有效识别处理，导致基板缺陷不能有效检出，影响基板产品的良率及品质。

技术实现思路

[0005]本公开实施例提供了一种线阵相机的调焦方法、装置及自动光学检测设备，能够解决现有技术中由于玻璃基板在同一位置的凹凸形变度不一致导致TDI相机获取的图像不精确，进而无法有效检测出基板缺陷的技术问题。
[0006]根据本公开的方案之一，提供一种线阵相机的调焦方法，包括：
[0007]确定线阵相机在当前采集第一图像时的第一位置以及所述第一图像的清晰度特征值；
[0008]从数据库中获取对应于所述清晰度特征值的所述线阵相机的第二位置；
[0009]基于所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及所述第一位置，确定所述线阵相机的聚焦位置，其中，所述参考聚焦位置从所述数据库中获取。
[0010]在一些实施例中，确定所述第一图像的清晰度特征值，包括：通过梯度函数算法或者小波变换算法确定所述第一图像的清晰度特征值。
[0011]在一些实施例中，所述从数据库中获取对应于所述清晰度特征值的所述线阵相机的第二位置，包括：
[0012]从数据库中获取基于所述清晰度特征值的第二图像；
[0013]基于所述第二图像确定所述线阵相机的第二位置。
[0014]在一些实施例中，所述基于所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及所述第一位置，确定所述线阵相机的聚焦位置，包括：
[0015]获取所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值；
[0016]若所述差值为正，在所述第一位置的基础上在第一方向上移动所述差值后的位置确定为所述聚焦位置；若所述差值为负，在所述第一位置的基础上在第二方向上移动所述差值后的位置确定为所述聚焦位置，其中，所述第一方向与所述第二方向相反。
[0017]在一些实施例中，所述参考聚焦位置预先通过训练确定，所述训练的方法包括：
[0018]在目标对象上确定一测试位置；
[0019]将所述线性相机在所述测试位置沿预设方向按照预设步长移动，并在移动至对应的位置后拍摄所述目标对象以获得灰度图像；
[0020]对获得的各所述灰度图像进行分析，计算所述灰度图像的清晰度特征值；
[0021]将各所述清晰度特征值中所述清晰度特征值最大的灰度图像对应的位置确定为所述参考聚焦位置。
[0022]在一些实施例中，所述方法还包括：
[0023]基于所述参考聚焦位置确定所述数据库中不同清晰度特征值对应的图像与所述线阵相机的位置之间的映射关系。
[0024]在一些实施例中，确定所述线阵相机的聚焦位置之后，所述方法还包括：
[0025]将所述线性相机的焦点调整至所述聚焦位置进行拍摄。
[0026]根据本公开的方案之一，还提供一种线阵相机的调焦装置，包括：
[0027]第一确定模块，配置为确定线阵相机在当前采集第一图像时的第一位置以及所述第一图像的清晰度特征值；
[0028]获取模块，配置为从数据库中获取对应于所述清晰度特征值的所述线阵相机的第二位置；
[0029]第二确定模块，配置为基于所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及所述第一位置，确定所述线阵相机的聚焦位置，其中，所述参考聚焦位置从所述数据库中获取。
[0030]在一些实施例中，所述第二确定模块还配置为：
[0031]获取所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值；
[0032]若所述差值为正，在所述第一位置的基础上在第一方向上移动所述差值后的位置确定为所述聚焦位置；若所述差值为负，在所述第一位置的基础上在第二方向上移动所述差值后的位置确定为所述聚焦位置，其中，所述第一方向与所述第二方向相反。
[0033]根据本公开的方案之一，还提供一种自动光学检测设备，包括线性相机和上述的线阵相机的调焦装置。
[0034]本公开的各种实施例提供的线阵相机的调焦方法、装置及自动光学检测设备，通过获取线阵相机当前采集第一图像时的第一位置以及采集的第一图像的清晰度特征值，基于该清晰度特征值从数据库中获取第二图像，并确定采集第二图像时对应的线阵相机的第二位置，基于该第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及当前采集第一图像时的第一位置确定线阵相机的能够获取清晰图像的聚焦位置，从而进行调焦，可以采集到清晰的图像，解决现有技术中由于玻璃基板凹凸形变(翘曲)导致TDI线阵相机获取的图片模糊，无法准确检测玻璃基板缺陷的技术问题，提高AOI设备的检测精度。另外，本公开实施例提供的调焦方法调焦方便、快捷，只要获取线阵相机采集第一图像时的第一位置，便能够根据数据库中第二位置与参考聚焦位置的对应关系，实现自动调焦。
附图说明
[0035]图1示出现有AOI TDI相机运行时的聚焦模式；
[0036]图2示出本公开实施例的线阵相机的调焦方法的流程图；
[0037]图3示出本公开实施例的线阵相机的调焦方法的调焦示意图；
[0038]图4示出本公开实施例的参考聚焦位置确定的训练示意图；
[0039]图5示出本公开实施例的线阵相机的调焦装置的结构图；
[0040]图6示出本公开实施例的自动光学检测设备的一结构示意图。
具体实施方式
[0041]此处参考附图描述本公开的各种方案以及特征。
[0042]应理解的是，可以对此处申请的实施例做出各种修改。因此，上述说明书不应该视为限制，而仅是作为实施例的范例。本领域的技术人员将想到在本公开的范围和精神内的其他修改。
[0043]包含在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且与上面给出的对本公开的大致描述以及下面给出的对实施例的详细描述一起用于解释本公开的原理。
[0044]通过下面参照附图对给定为非限制性实例的实施例的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线阵相机的调焦方法，包括：确定线阵相机在当前采集第一图像时的第一位置以及所述第一图像的清晰度特征值；从数据库中获取对应于所述清晰度特征值的所述线阵相机的第二位置；基于所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及所述第一位置，确定所述线阵相机的聚焦位置，其中，所述参考聚焦位置从所述数据库中获取。2.根据权利要求1所述的方法，其中，确定所述第一图像的清晰度特征值，包括：通过梯度函数算法或者小波变换算法确定所述第一图像的清晰度特征值。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述从数据库中获取对应于所述清晰度特征值的所述线阵相机的第二位置，包括：从数据库中获取基于所述清晰度特征值的第二图像；基于所述第二图像确定所述线阵相机的第二位置。4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述基于所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值以及所述第一位置，确定所述线阵相机的聚焦位置，包括：获取所述第二位置与参考聚焦位置之间的差值；若所述差值为正，在所述第一位置的基础上在第一方向上移动所述差值后的位置确定为所述聚焦位置；若所述差值为负，在所述第一位置的基础上在第二方向上移动所述差值后的位置确定为所述聚焦位置，其中，所述第一方向与所述第二方向相反。5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述参考聚焦位置预先通过训练确定，所述训练的方法包括：在目标对象上确定一测试位置；将所述线性相机在所述测试位置沿预设方向按照预设步长移动，并在移动至对应的位置后拍摄所述目标对象以获得灰度图像；对获...

【专利技术属性】
技术研发人员：张国林，
申请(专利权)人：成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：