一种标定测量模块相对电压偏置误差的方法技术

本发明专利技术提供标定测量模块相对电压偏差误差方法，包括选择固定电阻与四个测量模块；固定电阻引出四端A、B、C、D；对任意两个测量模块进行标定包括测量模块1在A端施加电流I，测量模块2在B端施加电压V；测量模块3和测量模块4量测C、D两端的电势V1、V2，得到固定电阻的阻值R1；测量模块1在A端施加电压V，测量模块2在B端施加电流I；测量模块3和测量模块4量测C、D两端的电势V1’

【技术实现步骤摘要】
一种标定测量模块相对电压偏置误差的方法


[0001]本专利技术涉及半导体器件测试
，特别涉及一种用于电性测试设备中标定测量模块相对电压偏置误差的方法。

技术介绍

[0002]半导体器件的电性测试中需要用到多种测量模块，例如选择模块化源测量单元等。选择模块化源测量单元（SMU）是一种精密的仪器，具有较高的灵敏度和精确度。SMU在同一引脚或连接器上结合了源功能和测量功能，它不仅可以提供测量分辨率小于1mV的电压源，还可以提供测量分辨率低于1uA的电流源，可同时对同一通道的电流和电压进行同步源测量。SMU还提供了远端检测功能，并拥有集成了双极型电压和吸收功率能力的四象限输出功能。SMU可以提供线性扫描电压和扫描电流，能够获得仪器的IV特性曲线。目前，SMU已经广泛使用于工业中，并且成为了许多自动化测试系统中的常用组成部件。
[0003]开尔文四线检测（Kelvin Four
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terminal sensing），也被称之为四端子检测（4T检测，4T sensing）、四线检测或4点探针法，它是一种电阻抗测量技术，通过测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种标定测量模块相对电压偏置误差的方法，其特征在于，包括：步骤1：选择一个固定电阻与四个测量模块，标记为测量模块1、测量模块2、测量模块3和测量模块4；步骤2：所述固定电阻引出四端A、B、C、D；步骤3：对所述四个测量模块中的任意两个测量模块的相对电压偏置误差进行标定；其中，所述标定包括：第一次量测：所述测量模块1在A端施加电流信号I，所述测量模块2在B端施加电压信号V；所述测量模块3和所述测量模块4分别量测C、D两端的电势，分别记为V1、V2，计算得出第一量测的固体电阻的电阻值R1；第二次量测：所述测量模块1在A端施加电压信号V，所述测量模块2在B端施加电流信号I；所述测量模块3和所述测量模块4分别量测C、D两端的电势V1’
、V2’
，计算得出第一量测的固体电阻的电阻值R2；由上述两次量测平均计算得到固定电阻的真实电阻的电阻值R；通过第一次量测的固定电阻的电阻值R1或第二次量测所得的固定电阻的电阻值R2与固定电阻的真实电阻的电阻值R之间的差值，计算得出所述测量模块3和所述测量模块4的相对电压偏置误差ΔV；还包括步骤4：将任...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛渲，郑勇军，杨靖，吴鑫，陈巍，成家柏，
申请(专利权)人：杭州广立微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：