一种MEMS探针卡制造技术

本实用新型专利技术涉及探针卡技术领域，公开了一种MEMS探针卡，通过第一缓冲保护垫圈可拆卸的设置于第一限位凸起的上端壁上，限位台阶的下端壁与第一缓冲保护垫圈的上端壁抵接，第二缓冲保护垫圈设置于下固定板的上端壁上，且第二缓冲保护垫圈与上固定板的下端壁抵接，上固定板的下端壁凸设有一第二限位凸起，第三缓冲保护垫圈设置于第二限位凸起的下端壁上，第三缓冲保护垫圈的下端壁与探针固定板的上端壁抵接，第一缓冲保护垫圈、第二缓冲保护垫圈以及第三缓冲保护垫圈起到良好的缓冲保护作用，有效避免探针固定板被损伤，同时使得探针固定板与下固定板和上固定板之间装配更加牢固，有效提高了MEMS探针卡的使用寿命和测试精度，实用性强。性强。性强。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS探针卡


[0001]本技术涉及探针卡
，特别涉及一种MEMS探针卡。

技术介绍

[0002]在半导体测试领域，电性能越来越极端，总是更加节距和密度的增加，机械精度高，测试温度高达200
°
C，时间周期缩短，并行性高，最终易于修复，维护简单，MEMS技术提供了更先进的解决方案。MEMS也叫微电子机械系统，微机电系统是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术，能够制作出高精度的电子机械器件。随着微机电系统（MEMS）技术的发展，芯片的体积越来越小，达到了毫米量级，而芯片内部的集成度越来越高，达到了微米量级，甚至亚微米量级，为了提高测试的效率，出现了运用MEMS技术制备的探针卡，这类探针卡可以大大提高探针数量，从而提高一次性测试的效率。探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，探针卡是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS探针卡，其特征在于，包括下固定板、上固定板、探针固定板、测试探针、第一缓冲保护垫圈、第二缓冲保护垫圈以及第三缓冲保护垫圈，所述探针固定板的外轮廓呈多边形结构设置，所述探针固定板上凹设有多个插接孔，所述测试探针分别通过焊接固定于所述插接孔内，所述下固定板的上端部凹设有一与所述探针固定板相适配的第一容置槽，所述探针固定板可拆卸的嵌设于所述第一容置槽内设置，所述第一容置槽的内周壁的下端部凸设有一沿圆周方向延伸的第一限位凸起，所述探针固定板的下端壁的外周凹设有一与所述第一限位凸起相适配的限位台阶，所述第一缓冲保护垫圈可拆卸的设置于所述第一限位凸起的上端壁上，所述限位台阶的下端壁与所述第一缓冲保护垫圈的上端壁抵接设置，所述上固定板可拆卸的盖设于所述下固定板的上端部，所述第二缓冲保护垫圈设置于所述下固定板的上端壁上，且所述第二缓冲保护垫圈与所述上固定板的下端壁抵接设置，所述上固定板的下端壁沿圆周方向凸设有一与所述第一容置槽相适配的第二限位凸起，所述第二限位凸起可拆卸的嵌设于所述第一容置槽内设置，所述第三缓冲保护垫圈设置于所述第二限位凸起的下端壁上，且所述第三缓冲保护垫圈的下端壁与所述探针固定板的上端壁抵接设置。2.根据权利要求1所述的MEMS探针卡，其特征在于，还包括转接PCB板，所述上固定板的上端部凹设有一与所述转接PCB板相适配的第二容置槽，所述转接PCB板可拆卸的嵌设于所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙锐锋，刘志广，刘俊，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：