【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体测试，尤其涉及一种探针性能测试方法。
技术介绍
1、在电子核心产业中，探针卡（probe card）是晶圆测试环节的核心耗材，主要作用是实现晶圆上的芯片与测试机之间的电气连接，将测试机的测试信号传输到芯片上，并将芯片的响应信号传输回测试机，从而完成对芯片的电气性能和功能测试。
2、在相关技术方案中，探针卡与测试机建立连接时，需将探针卡上的各个引脚利用线缆，分别对应连接到测试机的接口插座或端子排，连接效率低且容易出错，导致探针测试不能高效执行。
技术实现思路
1、本申请提供一种探针性能测试方法，能够实现探针与测试机之间的快速且稳定的连接，从而使得探针测试能够顺利、高效开展。
2、为实现上述目的，本申请提出一种探针性能测试方法，包括：
3、将探针卡测试母板的牛角接头与测试机连接；
4、打开所述探针卡测试母板的盖板，将待测的探针卡放置在所述探针卡测试母板的探针卡固定板上，其中，所述探针卡固定板与所述盖板可转动连接；
5、...
【技术保护点】
1.一种探针性能测试方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述打开所述探针卡测试母板的盖板，包括：
3.如权利要求2所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.如权利要求1所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述将待测的探针卡放置在所述探针卡测试母板的探针卡固定板之前，还包括：
5.如权利要求4所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述对所述探针卡固定板进行水平校准，包括：
6.如权利要求1至5任一项所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述将所述盖板压合至所...
【技术特征摘要】
1.一种探针性能测试方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述打开所述探针卡测试母板的盖板，包括：
3.如权利要求2所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述方法还包括：
4.如权利要求1所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述将待测的探针卡放置在所述探针卡测试母板的探针卡固定板之前，还包括：
5.如权利要求4所述的探针性能测试方法，其特征在于，所述对所述探针卡固定板进行水平校准，包括：
6.如权利要求1至5任一...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋文德，娄兆一，邱雄，
申请(专利权)人：深圳市道格特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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