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本实用新型涉及探针卡技术领域，公开了一种MEMS探针卡，通过第一缓冲保护垫圈可拆卸的设置于第一限位凸起的上端壁上，限位台阶的下端壁与第一缓冲保护垫圈的上端壁抵接，第二缓冲保护垫圈设置于下固定板的上端壁上，且第二缓冲保护垫圈与上固定板的下端壁...
该专利属于深圳市道格特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市道格特科技有限公司授权不得商用。

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