用于晶圆台水平度调节的方法和装置制造方法及图纸

本公开提供了用于晶圆台水平度调节的方法和装置。根据本公开的一个方面的一种方法包括：基于通过对设置在晶圆台的工作台面上的多个测量点进行测量而获得的测量值，对工作台面所处的实际平面进行三维空间建模；根据晶圆台的多个水平度调节点之间的预定位置关系，以多个调节点构成的几何形状所处的平面作为基准水平面，计算多个调节点的坐标以及几何形状的中心点的坐标；计算多个调节点中的每一个调节点和中心点到实际平面的距离值；通过将每一个调节点到实际平面的距离值与中心点到实际平面的距离值相减，求得每一个调节点的调节距离值；以及根据所求得的调节距离值以及每一个调节点处的螺钉的属性，确定相应螺钉的旋转角度和旋转方向。和旋转方向。和旋转方向。

【技术实现步骤摘要】
用于晶圆台水平度调节的方法和装置


[0001]本公开涉及用于晶圆台水平度调节的方法和装置。

技术介绍

[0002]晶圆台是半导体制造过程中用于承载晶圆的机构。由于半导体制造工艺流程的极高的精密性，对晶圆台的水平度要求也非常高。无法达到水平度要求的晶圆台可能会在影响工艺流程正常进行的同时，对晶圆本身和/或相关的机器造成严重损坏。因此，半导体制造工厂中，往往需要经常性地进行晶圆台水平度调节以确保满足相应的规范。

技术实现思路

[0003]在
技术实现思路
部分中，以简化的形式介绍一些选出的概念，其将在下面的具体实施方式部分中被进一步描述。该
技术实现思路
部分并非是要标识出所要求保护的主题的任何关键特征或必要特征，也不是要被用于帮助确定所要求保护的主题的范围。
[0004]根据本公开的一个方面，提供了一种用于晶圆台水平度调节的方法，包括：基于通过对设置在晶圆台的工作台面上的多个测量点进行测量而获得的测量值，对所述工作台面所处的实际平面进行三维空间建模，其中，所述多个测量点包括至少三个不共线的测量点；根据所述晶圆台的多个水平度调节点之间的预定位置关系，以所述多个调节点构成的几何形状所处的平面作为基准水平面，计算所述多个调节点的坐标以及所述几何形状的中心点的坐标，其中，所述多个调节点包括至少三个不共线的调节点；计算所述基准水平面上的所述多个调节点中的每一个调节点和所述中心点到所述实际平面的距离值；通过将所述多个调节点中的每一个调节点到所述实际平面的距离值与所述中心点到所述实际平面的距离值相减，求得所述多个调节点中的每一个调节点的调节距离值；以及根据所求得的调节距离值以及所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的属性，确定所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的旋转角度和旋转方向，其中，所述螺钉的属性包括：该螺钉的螺距，以及该螺钉是正牙螺钉还是反牙螺钉。
[0005]根据本公开的另一个方面，提供了一种计算设备，包括：至少一个处理器；以及存储器，其耦合到所述至少一个处理器并用于存储指令，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器：基于通过对设置在晶圆台的工作台面上的多个测量点进行测量而获得的测量值，对所述工作台面所处的实际平面进行三维空间建模，其中，所述多个测量点包括至少三个不共线的测量点；根据所述晶圆台的多个水平度调节点之间的预定位置关系，以所述多个调节点构成的几何形状所处的平面作为基准水平面，计算所述多个调节点的坐标以及所述几何形状的中心点的坐标，其中，所述多个调节点包括至少三个不共线的调节点；计算所述基准水平面上的所述多个调节点中的每一个调节点和所述中心点到所述实际平面的距离值；通过将所述多个调节点中的每一个调节点到所述实际平面的距离值与所述中心点到所述实际平面的距离值相减，求得所述多个调节点中的每一个调节点的调节距离值；以及根据所求得的调节距离值以及所述多个调节点中的每一个调节
点处的螺钉的属性，确定所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的旋转角度和旋转方向，其中，所述螺钉的属性包括：该螺钉的螺距，以及该螺钉是正牙螺钉还是反牙螺钉。
[0006]根据本公开的又一个方面，提供了一种用于晶圆台水平度调节的装置，包括：用于基于通过对设置在晶圆台的工作台面上的多个测量点进行测量而获得的测量值，对所述工作台面所处的实际平面进行三维空间建模的模块，其中，所述多个测量点包括至少三个不共线的测量点；用于根据所述晶圆台的多个水平度调节点之间的预定位置关系，以所述多个调节点构成的几何形状所处的平面作为基准水平面，计算所述多个调节点的坐标以及所述几何形状的中心点的坐标的模块，其中，所述多个调节点包括至少三个不共线的调节点；用于计算所述基准水平面上的所述多个调节点中的每一个调节点和所述中心点到所述实际平面的距离值的模块；用于通过将所述多个调节点中的每一个调节点到所述实际平面的距离值与所述中心点到所述实际平面的距离值相减，求得所述多个调节点中的每一个调节点的调节距离值的模块；以及用于根据所求得的调节距离值以及所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的属性，确定所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的旋转角度和旋转方向的模块，其中，所述螺钉的属性包括：该螺钉的螺距，以及该螺钉是正牙螺钉还是反牙螺钉。
[0007]根据本公开的再一个方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有指令，所述指令在由至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本文中描述的方法。
[0008]根据本公开的又一个方面，提供了一种计算机程序产品，其包括指令，所述指令在由至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器执行本文中描述的方法。
附图说明
[0009]在附图中对本公开的实现以示例的形式而非限制的形式进行了说明，附图中相似的附图标记表示相同或类似的部件，其中：
[0010]图1示出了本公开的一些实现可以适用的晶圆台的一部分的示例；
[0011]图2示出了根据本公开的一些实现的示例性方法的流程图；
[0012]图3示出了根据本公开的一些实现的一个具体示例；
[0013]图4示出了根据本公开的一些实现的一个具体示例；
[0014]图5示出了根据本公开的一些实现的示例性装置的框图；以及
[0015]图6示出了根据本公开的一些实现的示例性计算设备的框图。
具体实施方式
[0016]在以下的说明书中，出于解释的目的，阐述了大量具体细节。然而，应当理解的是，本公开的实现无需这些具体细节就可以实施。在其它实例中，并未详细示出公知的电路、结构和技术，以免影响对说明书的理解。
[0017]说明书通篇中对“一个实现”、“实现”、“示例性实现”、“一些实现”、“各种实现”等的引述表示所描述的本公开的实现可以包括特定的特征、结构或特性，然而，并不是说每个实现都必须要包含这些特定的特征、结构或特性。此外，一些实现可以具有针对其它实现描述的特征中的一些、全部，或者不具有针对其它实现描述的特征。
[0018]以最有助于理解所要求保护的主题的方式，可能会将各种操作描述为依次序的多
个分立的动作或操作。然而，描述的次序并不应当被解释为暗示这些操作必然是依赖于次序的。尤其是，这些操作可以不按照所呈现的次序来执行。在另外的一些实现中，还可以执行各种另外的操作，和/或忽略各种已经描述的操作。
[0019]在说明书和权利要求书中，可能会出现的短语“A和/或B”用来表示以下之一：(A)、(B)、(A和B)。类似地，可能会出现的短语“A、B和/或C”用来表示以下之一：(A)、(B)、(C)、(A和B)、(A和C)、(B和C)、(A和B和C)。
[0020]在说明书和权利要求书中，可能会用到术语“耦合”和“连接”及其派生词。需要理解的是，这些术语并非是要作为彼此的同义词。相反，在特定的实现中，“连接”用于表示两个或更多部件彼此直接物理或电接触，而“耦合”则用于表示两个或更多部件彼此协作或交互，但是它们可能、也可能不直接物理或电接触。
[0021]下面首先参本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆台水平度调节的方法，包括：基于通过对设置在晶圆台的工作台面上的多个测量点进行测量而获得的测量值，对所述工作台面所处的实际平面进行三维空间建模，其中，所述多个测量点包括至少三个不共线的测量点；根据所述晶圆台的多个水平度调节点之间的预定位置关系，以所述多个调节点构成的几何形状所处的平面作为基准水平面，计算所述多个调节点的坐标以及所述几何形状的中心点的坐标，其中，所述多个调节点包括至少三个不共线的调节点；计算所述基准水平面上的所述多个调节点中的每一个调节点和所述中心点到所述实际平面的距离值；通过将所述多个调节点中的每一个调节点到所述实际平面的距离值与所述中心点到所述实际平面的距离值相减，求得所述多个调节点中的每一个调节点的调节距离值；以及根据所求得的调节距离值以及所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的属性，确定所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的旋转角度和旋转方向，其中，所述螺钉的属性包括：该螺钉的螺距，以及该螺钉是正牙螺钉还是反牙螺钉。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述多个测量点包括在所述晶圆台的工作台面的圆周上均匀分布的四个测量点。3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述多个调节点包括呈锐角等腰三角形分布的三个调节点，所述中心点为所述锐角等腰三角形的垂心或质心，并且所述中心点被设为坐标原点。4.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述工作台面所处的实际平面进行三维空间建模包括：利用通过转换所述测量值而获得的所述多个测量点的三维空间坐标来求得所述实际平面中的两个不共线的向量，分别记为(x1，y1，z1)和(x2，y2，z2)；根据所求得的两个向量来计算所述实际平面的法向量以及基于所计算的法向量来确定所述实际平面的平面方程其中，所述实际平面内任意一点的坐标表示为(X，Y，Z)，D表示所述平面方程的常数。5.根据权利要求4所述的方法，其中，计算所述基准水平面上的所述多个调节点中的每一个调节点和所述中心点到所述实际平面的距离包括以下式来进行计算：其中，j为整数且j≥0，第j个调节点的坐标表示为(m
j
，n
j
，k
j
)，并且d
j
表示所计算出的第j个调节点到所述实际平面的距离值，并且其中，当j＝0时，(m0，n0，k0)表示所述中心点的坐标，并且d0表示所计算出的中心点到所述实际平面的距离值。
6.根据权利要求5所述的方法，其中，确定所述多个调节点中的每一个调节点处的螺钉的旋转角度包括使用下式来进行计算：其中，D
j
表示第j个调节点的调节距离值，并且D
j
＝d
j
‑
d0，P
j
表示第j个调节点处的螺钉的螺距，α
j
表示所确定的第j个调节点处的螺钉的旋转角度。7.一种计算设备，包括：至少一个处理器；以及存储器，其耦合到所述至少一个处理器并用于存储指令，其中，所述指令在由所述至少一个处理器执行时，使得所述至少一个处理器：基于通过对设置在晶圆台的工作台面上的多个测量点进行测量而获得的测量值，对所述工作台面所处的实际平面进行三维空间建模，其中，所述多个测量点包括至少三个不共线的测量点；根据所述晶圆台的多个水平度调节点之间的预定位置关系，以所述多个调节点构成的几何形状所处的平面作为基准水平面，计算所述多个调节点的坐标以及所述几何形状的中心点的坐标，其中，所述多个调节点包括至少三个不共线的调节点；计算所述基准水平面上的所述多个调节点中的每一个调节点和所述中心点到所述实际平面的距离值；通过将所述多个调节点中的每一个调节点到所述实际平面的距离值与所述中心点到所述实际平面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢徐川，戴新吉，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：