一种氟化钇薄膜的制备方法技术

技术编号:31227801 阅读:31 留言:0更新日期:2021-12-08 09:37
本发明专利技术公开了一种氟化钇薄膜的制备方法,步骤1:将水合硝酸钇、氟化铵按照摩尔配比1:3.05

【技术实现步骤摘要】
一种氟化钇薄膜的制备方法


[0001]本专利技术涉及薄膜制备
,具体为一种氟化钇薄膜的制备方法。

技术介绍

[0002]氟化钇薄膜具有较低的折射率(折射率约为1.4),较宽的透过波段(0.35~12μm),和其他氟化物(氟化钡,氟化钙等)相比具有较高的硬度,使得氟化钇薄膜广泛用于各种衬底上的增透膜的设计。常用制备氟化钇薄膜的方法为热蒸发沉积法,离子、电子束辅助蒸发沉积法,化学法等。
[0003]针对传统制备氟化钇薄膜在工艺上的缺陷,有利用磁控溅射技术采用氟化钇靶材来制备氟化钇薄膜,但这种方法易使得阴离子氟离子流失,吸收增大,折射率畸变,功能失效,同时薄膜的内应力失稳,极易使得薄膜破裂脱落与破裂,导致结构失效。缺氟会导致的光学常数的畸变,一般采取反应气体来补充氟离子,如果采取氟气,则有剧毒。如果采用全氟化碳则会在薄膜中引入C等杂质离子,严重恶化氟化钇薄膜的光学性能。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种氟化钇薄膜的制备方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氟化钇薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:将水合硝酸钇、氟化铵按照摩尔配比1:3.05-1:3.75混合均匀,在研钵中研磨发生固相反应,反应完全后得到胶状物;步骤2:将胶状物转移至耐高温坩埚中,置于烘箱中干燥3-22h,得到胶态物质;步骤3:将胶态物质置于高温炉中,保温1-4h;步骤4:胶态物质随炉冷却至室温后取出,研磨得到粉末;步骤5:将粉末在惰性气体保护下,350-450℃下保温4-5.5h,得到纳米级粉末;步骤6:将纳米级粉末采取浸渍提拉法或旋转涂覆法制膜;步骤7:将湿膜在室温下晾15-25min,再置于干燥箱中烘干,自然冷却至室温,得到薄膜;步骤8:将薄膜放入高温炉中进行退火处理,随炉冷却后得到氟化钇...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈如明姜蕻蔡勇
申请(专利权)人:英迪那米徐州半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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