蓝宝石化学机械抛光液及其应用制造技术

本发明专利技术公开了一种蓝宝石化学机械抛光液及其应用，所述抛光液由按重量百分比计的下列组分构成：硅溶胶10～50％、pH调节剂1％～10％、表面活性剂0.1％～3％、含锰络合物0.1％～5％、其余部分为去离子水，所述抛光液的pH值范围为8～12。该抛光液组合物通过添加含锰络合剂，具有抛光速率快、表面质量好、易于清洗和存放稳定性好等特点。存放稳定性好等特点。

【技术实现步骤摘要】
蓝宝石化学机械抛光液及其应用


[0001]本专利技术涉及蓝宝石平坦化技术，特别是涉及一种蓝宝石化学机械抛光液组合物及其在蓝宝石晶片加工中的应用。

技术介绍

[0002]单晶蓝宝石(主要成分为α-Al2O3)，因其优良的机械性能、介电性能、化学稳定性、热传导性和高表面平滑度等特点而被广泛应用于军事、航天、信息、光学、超导等
，成为制备高温超导薄膜、红外光学材料、微电子器件等的最优质基片和衬底材料。现如今，无论是军用高性能红外探测器的蓝宝石窗口，还是氮化镓基蓝色LED及激光二极管的衬底，其表面加工质量(如表面粗糙度、微裂纹、划痕、位错)和加工精度，对材料外延生长质量和器件性能都有至关重要的影响。蓝宝石材料由于硬度极高，莫氏硬度达到9，仅次于金刚石，其脆性大，是典型的难加工材料。因此，为了满足国防尖端技术和电子信息制造业的重大需求，实现蓝宝石高效、超精密加工制造便显得至关重要。
[0003]目前工业化生产蓝宝石的加工工序分为晶棒切割、双面研磨、单面研磨、铜抛和化学机械抛光(CMP)等，其中CMP作为衬底加工的最后一道工序，其抛光质量的好本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于，所述抛光液由按重量百分比计的下列组分构成：2.根据权利要求1所述的蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于：所述硅溶胶为二氧化硅在水中的分散液，所述硅溶胶的含量为20％～40％。3.根据权利要求1或2所述的蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于：所述硅溶胶的粒径为50～150nm。4.根据权利要求1所述的蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于：所述pH调节剂的含量为3％～8％。5.根据权利要求1或4所述的蓝宝石化学机械抛光液，其特征在于，所述pH调节剂选自乙二胺、羟乙基乙二胺或四甲基氢氧化铵中的任一种或几种。6.根据权利要求5所述的蓝宝...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔晓坤，卞鹏程，
申请(专利权)人：万华化学集团电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：