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本发明公开了一种蓝宝石化学机械抛光液及其应用，所述抛光液由按重量百分比计的下列组分构成：硅溶胶10～50％、pH调节剂1％～10％、表面活性剂0.1％～3％、含锰络合物0.1％～5％、其余部分为去离子水，所述抛光液的pH值范围为8～12。该...
该专利属于万华化学集团电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过万华化学集团电子材料有限公司授权不得商用。

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