【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般地涉及压力传感器。更具体地说涉及一种可变电容式压敏元件和一居中安装在周边安装的膜片上的可移动的电极。已知有种类广泛的传感器能将流体的压力或力转变为膜片的运动，再转变为对应于并可测量压力或力的电信号。有一种传感器已被证实用之有效，它能在所施压力的广阔范围内，牢固而高度准确地用电容方法测量膜片的运动。膜片形成间隙可变电容器的一块板，而一或多个电极形成另一块板或另外几块板。授予本申请人及其共同专利技术人的美国专利3,859,575号(1988.05.03的复审证号为B1 3,859,575号)中曾说明一种电容式传感器用的成功的敏感元件，其中有一块电极板以其中心安装在膜片的中心上。这种布置对给定的膜片运动，可促进电容的变化，提高传感器的准确度。这种布置并可改善热响应，防止由于热应力而造成的电容漂移。因为它具有较短的传热途径，可对温度改变作出快速响应。除了这些优点外，同时还能满足其他的重要设计目标如对机械冲击和振动的抗力以及低的磁滞。虽然’575敏感元件已被证实是成功的，但它不能有效地满足需要，我们需要的是一种准确、牢固而又可靠的敏感元件，并且制造费用要...
【技术保护点】
一种能将液体的压力转变为相应电容值的可变电容式传感器用的敏感元件具有：一个压力连接件和一个沿轴向延伸的通道用来将液体从第一端导引到第二端；一个膜片以其周边固定在所说连接件的所说第二端上成为第一接头；一个组合件具有：第一金属件以其一端固定在所说膜片的中心，一个与所说第一金属件间隔开并且至少有一部分位在所说第一金属件沿径向的外侧的第二金属件，以及一个固定在所说第一和第二金属件之间的无机介电质的间隔环；用来将第一金属件固定到所说膜片的中心成为第二接头的装置；一个电极；以及用来将所说电极固定到所说第二金属件上的装置，使在所说电极和所说膜片之间建立起一般为平行而间隔开的关系以便形成一...
【技术特征摘要】
US 1994-1-24 08/186,0031.一种能将液体的压力转变为相应电容值的可变电容式传感器用的敏感元件具有一个压力连接件和一个沿轴向延伸的通道用来将液体从第一端导引到第二端；一个膜片以其周边固定在所说连接件的所说第二端上成为第一接头；一个组合件具有第一金属件以其一端固定在所说膜片的中心，一个与所说第一金属件间隔开并且至少有一部分位在所说第一金属件沿径向的外侧的第二金属件，以及一个固定在所说第一和第二金属件之间的无机介电质的间隔环；用来将第一金属件固定到所说膜片的中心成为第二接头的装置；一个电极；以及用来将所说电极固定到所说第二金属件上的装置，使在所说电极和所说膜片之间建立起一般为平行而间隔开的关系以便形成一个可变电容器，从而当所说膜片在响应液体压力而弯曲时，在电极到膜片的间隙内所产生的间距的变化可提供液体压力在电容方面的量度。2.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说膜片具有足够的厚度可以抵挡高压，并且所说膜片在其中心具有加厚的区域借以抵制由于所说弯曲而在所说膜片内产生的应力被传送到所说第二接头上。3.权利要求2的敏感元件，其特征为，所说连接件在所说第二端具有一个一般为圆筒形而减厚的壁部，从而弯曲应力可使所说减厚壁部变形来减小在所说第一接头的应力。4.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说膜片足够薄以便响应液体压力的低压值和中压值而运动，并且所说膜片具有一个中心的机械变形。5.权利要求4的敏感元件，其特征为，所说膜片是由金属片制成的，并且所说机械变形为一中心的杯状凹坑。6.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说金属片为高质量的弹簧钢。7.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说无机介电质间隔环是由玻璃制成的，并且所说第一和第二金属件具有可与所说玻璃兼容的热膨胀系数。8.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说环及所说第一和第二金属件的热膨胀系数是这样选定的，使所说环受到预加的压缩应力以资在所说金属件和所说环之间形成一个牢固的接头。9.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说无机介电质间隔环在轴向上的位置和尺寸是这样选定的，使在所说第一金属件内从所说环到并包括所说膜片在内的第一热运动途径的轴向长度通常等于在所说第二金属件内从所说间隔环到并包括电极在内的第二热运动途径的轴向长度，从而温度的变化能在所说第一和第二热运动途径的轴向长度上产生自我补偿的变化，从而将所说电容间隙保持在一个通常为恒定的值。10.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说第一金属件固定装置包括一个与所说膜片对接的头部和一个从所说头部向所说膜片突出的金属突起，该突起可熔化以便用焊接得到所说固定。11.权利要求1的敏感元件，其特征为，所说电极固定装置为一层胶粘材料。12.权利要求11的敏感元件，其特征为，所说胶粘材料为一有机胶粘剂。13.权利要求11的敏感元件，其特征为，所说胶粘材料为一金属软焊料。14.权利要求5的敏感元件，其特征为，所说膜片包括一个在其周边上整体制出的裙部，该裙部终止在所说第...
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