【技术实现步骤摘要】
技术介绍
本专利技术涉及具有静电极和振膜的电容压力传感器，且尤其涉及能够补偿由于受热引起的灵敏度和初始电容的变化的电容压力传感器。电容压力传感器通常包含固定元件，其具有刚性的平坦的导电表面，用来形成基本上平行的平板电容器的一个极板；和可变形导电部件，例如金属箔膜，其形成电容器的另一个极板。通常地，膜片的边缘受到支撑，具有可振动的中心部分而且安置在基本上平行于且正对于固定极板的位置上。因为这种传感器通常采用平行板电容器的形式，传感器的特征电容与位于膜片的中心部分和固定元件的导电表面之间的间距d成反比。为了提供跨越膜的压差，膜一边的区域是密封的或由空气作用地与对面的区域隔离开。实际上，通过选择膜的几何和物理特性，以便在感兴趣的特定范围内的跨越膜的压差引起膜中心部分的预定位移量。这些压差引起的位移量导致两个电容器极板之间的间距d相应地变化，并且因此导致传感器产生电容变化。为了得到相对高的灵敏度，这种传感器需要相对于较小的间距变化得到较大的电容变化。为了获取这种从元件到元件的灵敏度，标称间距尺寸需要非常小，并且通常需要它们的组成部分制造得非常紧逼公差，以建立需要的尺寸关系。另...
【技术保护点】
一种电容压力传感器，包括第一凹面壳体部件围绕中心轴线延伸并具有安置在第一平面上的外围缘边，所述第一平面基本上垂直于所述中心轴线，所述第一凹面壳体部件具有第一热膨胀系数；具有导电性的、可替换部分的膜，所述膜的外围部分固定地接合到所述第 一凹面壳体部件的外围缘边上，借此至少所述膜的一部分是基本上安置在所述第一平面上，并且和所述第一壳体部件组成了第一腔室；电极，安置在所述第一腔室中并且以距所述第一平面的预定距离接近膜的导电部分，所述电极具有第二热膨胀系数；和热补偿装置 ，接合在所述第一凹面壳体部件和所述电极中的至少一个上，以补偿温度引起的所述传感器的特...
【技术特征摘要】
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