下载具有温度补偿的传感器的技术资料

文档序号:2560243

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一种电容压力传感器(110)包含导电膜(140)和热补偿元件,后者具有和压力传感器内其它元件不同的热膨胀系数。...
该专利属于塞特拉系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过塞特拉系统有限公司授权不得商用。

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