一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备制造技术

本实用新型专利技术属于ITO靶材烘干设备技术领域，尤其为一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备，包括机体和转动杆，所述机体的外部安装有烧结炉，且机体的内壁安装有螺栓，所述机体的内部安装有烘干仓，且烘干仓的内壁安装有热风机，并且热风机的中间位置安装有第一转轴，所述转动杆位于热风机的下方，且转动杆的两侧均固定有加热管，所述转动杆的外壁右侧安装有第二转轴，且第二转轴的外部预留有滑槽，所述滑槽的内部安装有滑块，且滑块的上方安装有限位块。该高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备，与现有的ITO靶材烘干设备相比，可以使机体固定的更加牢固，螺纹的方式使得安装更加的便利，增加烘干仓内部的温度，能够提高ITO靶材烘干的工作效率。高ITO靶材烘干的工作效率。高ITO靶材烘干的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备


[0001]本技术涉及ITO靶材烘干设备
，具体为一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备。

技术介绍

[0002]ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结形成的黑灰色陶瓷半导体，在ITO靶材制作的过程，都会利用烧结装置，ITO靶材因其具有较高的耐热冲击性能、导热率和机械强度，并且电阻率较低，还能够提高电子产品的使用寿命，因此，在这里我们提出一种便于固定的ITO靶材烘干设备。
[0003]现在市场上的ITO靶材烘干设备安装复杂，实用性差，易松动，烘干效率低，针对上述情况，在现有的ITO靶材烘干设备基础上进行技术创新，为此我们提出一种具有可以使得机体固定的更加牢固，螺纹的方式使得安装更加的便利，拆卸更换和维修更加方便，增加烘干仓内部的温度，能够提高加热管对ITO靶材进行烘干的速度，提高ITO靶材烘干的工作效率的高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备。
[0004]针对上述问题，急需在原有ITO靶材烘干设备的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备，以解决上述
技术介绍
中提出一般的ITO靶材烘干设备安装复杂，实用性差，易松动，烘干效率低的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备，包括机体和转动杆，所述机体的外部安装有烧结炉，且机体的内壁安装有螺栓，所述机体的内部安装有烘干仓，且烘干仓的内壁安装有热风机，并且热风机的中间位置安装有第一转轴，所述转动杆位于热风机的下方，且转动杆的两侧均固定有加热管，所述转动杆的外壁右侧安装有第二转轴，且第二转轴的外部预留有滑槽，所述滑槽的内部安装有滑块，且滑块的上方安装有限位块，所述转动杆的下方安装有夹紧杆，且夹紧杆的内部固定有摩擦块，所述夹紧杆的下方安装有弹簧杆，且弹簧杆的底部安装有第三转轴，并且第三转轴的下方安装有固定杆，所述固定杆的外部预留有出风口，且出风口的外侧安装有电机。
[0007]优选的，所述机体与烧结炉之间为螺纹连接，且机体与螺栓之间为紧密贴合。
[0008]优选的，所述热风机通过第一转轴与烘干仓构成转动结构，且热风机关于烘干仓的中轴线对称设置。
[0009]优选的，所述转动杆通过第二转轴与烘干仓构成转动结构，且转动杆与加热管之间为紧密贴合。
[0010]优选的，所述转动杆通过滑块与滑槽构成滑动结构，且转动杆与滑槽之间为相互垂直设置。
[0011]优选的，所述夹紧杆通过第三转轴与弹簧杆构成转动结构，且夹紧杆与摩擦块之
间为紧密贴合。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]1.本技术通过螺栓的设置，可以使得机体固定的更加牢固，螺纹的方式使得安装更加的便利，拆卸更换和维修更加方便，可以通过转动的方式向烘干仓的内部输入热风，增加烘干仓内部的温度，对放置在夹紧杆上的ITO靶材进行烘干干燥；
[0014]2.本技术通过转动杆的设置，电机作为驱动，带动第一转轴旋转，从而转动杆会随即转动，增加加热管与热风的接触面积，烘干均匀，有助于增加烘干的效果，烘干效果好，可以通过滑动的方式调节转动杆的垂直位置，通过调节不同的高度，能够提高加热管对ITO靶材进行烘干的速度，提高ITO靶材烘干的工作效率；
[0015]3.本技术通过第三转轴的设置，可以通过转动的方式将ITO靶材得以旋转，增加ITO靶材的受热面积，便于ITO靶材全方位的烘干，同时摩擦块可以防止ITO靶材滑落，造成损坏。
附图说明
[0016]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0017]图2为本技术转动杆侧视结构示意图；
[0018]图3为本技术夹紧杆正视结构示意图。
[0019]图中：1、机体；2、烧结炉；3、螺栓；4、烘干仓；5、热风机；6、第一转轴；7、转动杆；8、加热管；9、第二转轴；10、滑槽；11、滑块；12、限位块；13、夹紧杆；14、摩擦块；15、弹簧杆；16、第三转轴；17、固定杆；18、出风口；19、电机。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备，包括机体1、烧结炉2、螺栓3、烘干仓4、热风机5、第一转轴6、转动杆7、加热管8、第二转轴9、滑槽10、滑块11、限位块12、夹紧杆13、摩擦块14、弹簧杆15、第三转轴16、固定杆17、出风口18和电机19，机体1的外部安装有烧结炉2，且机体1的内壁安装有螺栓3，机体1的内部安装有烘干仓4，且烘干仓4的内壁安装有热风机5，并且热风机5的中间位置安装有第一转轴6，转动杆7位于热风机5的下方，且转动杆7的两侧均固定有加热管8，转动杆7的外壁右侧安装有第二转轴9，且第二转轴9的外部预留有滑槽10，滑槽10的内部安装有滑块11，且滑块11的上方安装有限位块12，转动杆7的下方安装有夹紧杆13，且夹紧杆13的内部固定有摩擦块14，夹紧杆13的下方安装有弹簧杆15，且弹簧杆15的底部安装有第三转轴16，并且第三转轴16的下方安装有固定杆17，固定杆17的外部预留有出风口18，且出风口18的外侧安装有电机19。
[0022]进一步的，机体1与烧结炉2之间为螺纹连接，且机体1与螺栓3之间为紧密贴合，这样的设置可以使得机体1固定的更加牢固，螺纹的方式使得安装更加的便利，拆卸更换和维
修更加方便；
[0023]进一步的，热风机5通过第一转轴6与烘干仓4构成转动结构，且热风机5关于烘干仓4的中轴线对称设置，这样的设置可以通过转动的方式向烘干仓4的内部输入热风，增加烘干仓4内部的温度，对放置在夹紧杆13上的ITO靶材进行烘干干燥；
[0024]进一步的，转动杆7通过第二转轴9与烘干仓4构成转动结构，且转动杆7与加热管8之间为紧密贴合，这样的设置电机19作为驱动，带动第一转轴6旋转，从而转动杆7会随即转动，增加加热管8与热风的接触面积，烘干均匀，有助于增加烘干的效果，烘干效果好；
[0025]进一步的，转动杆7通过滑块11与滑槽10构成滑动结构，且转动杆7与滑槽10之间为相互垂直设置，这样的设置可以通过滑动的方式调节转动杆7的垂直位置，通过调节不同的高度，能够提高加热管8对ITO靶材进行烘干的速度，提高ITO靶材烘干的工作效率；
[0026]进一步的，夹紧杆13通过第三转轴16与弹簧杆15构成转动结构，且夹紧杆13本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯度ITO靶材生产用便于固定的烘干设备，包括机体(1)和转动杆(7)，其特征在于：所述机体(1)的外部安装有烧结炉(2)，且机体(1)的内壁安装有螺栓(3)，所述机体(1)的内部安装有烘干仓(4)，且烘干仓(4)的内壁安装有热风机(5)，并且热风机(5)的中间位置安装有第一转轴(6)，所述转动杆(7)位于热风机(5)的下方，且转动杆(7)的两侧均固定有加热管(8)，所述转动杆(7)的外壁右侧安装有第二转轴(9)，且第二转轴(9)的外部预留有滑槽(10)，所述滑槽(10)的内部安装有滑块(11)，且滑块(11)的上方安装有限位块(12)，所述转动杆(7)的下方安装有夹紧杆(13)，且夹紧杆(13)的内部固定有摩擦块(14)，所述夹紧杆(13)的下方安装有弹簧杆(15)，且弹簧杆(15)的底部安装有第三转轴(16)，并且第三转轴(16)的下方安装有固定杆(17)，所述固定杆(17)的外部预留有出风口(18)，且出风口(18)的外侧安装有电机(19)。2.根据权利要求1所述的一种高纯度ITO...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：徐州金琳光电材料产业研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：